• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

金属薄膜メッシュを用いた高効率半導体テラヘルツ波放射源の研究

研究課題

研究課題/領域番号 16560288
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関北海道大学

研究代表者

赤澤 正道  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 助教授 (30212400)

研究分担者 佐野 栄一  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 教授 (10333650)
研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
2005年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2004年度: 2,900千円 (直接経費: 2,900千円)
キーワードテラヘルツ / 金属メッシュ / 金属開口配列 / ガリウム砒素 / インジウム砒素 / 表面プラズモン / TDS / エミッター / LT-GaAs
研究概要

適切な構造の金属メッシュについて、テラヘルツ領域においても高い透過特性が得られることを実験的に確認した。特に、薄い金属メッシュにおいては、個々の孔の導波管的特性が消失して遮断周波数が無くなり、斜め方向の入射に対しても高い透過率が得られる。その透過特性には表面プラズモンが関与していることをシミュレーションと実験により確かめた。したがって、半導体THz波エミッタ表面に金属薄膜で構成された金属メッシュを形成することで、表面プラズモンを含む表面波モードの寄与により、電磁波に対する境界条件の変化を実現できることが予測された。
実際に、新しいTHz波エミッタの基本構造を試作し、その特性を評価した。半導体内部で発生するテラヘルツ波は大きな放出角への強度が強いが、スネルの法則による臨界角により強度が制限される。金属メッシュは、予測の通り誘電体界面での電磁波に対する境界条件を変化させ、臨界角を超える角度への放射を取り出せることがわかった。さらに構造を最適化することにより、半導体からのテラヘルツ放射を増強でき、高効率の放射が可能となる見込みを得た。
テラヘルツ放射源の1つとして期待される量子構造については、実際の使用には表面の不活性化が重要となる。本研究においては、ガリウム砒素系の量子構造について有効な表面不活性化法を最適化し、良好な特性が実現されることも見出した。
半導体THz波エミッタの特性を向上させる鍵は、半導体の表面・界面の適切な制御とその応用にかかっている。

報告書

(3件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 (26件)

  • [雑誌論文] Transmission Characteristics through Two-Dimensional Periodic Hole Arrays Perforated in Perfect Conductors2006

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, M.Akazawa, E.Sano, M.Tanaka, F.Miyamaru, M.Hangyo
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45・5A

      ページ: 4058-4063

    • NAID

      40007248579

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Silicon Interlayer Based Surface Passivation for AlGaAs/GaAs Quantum Structures on (111) B Surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, N.Shiozaki, H.Hasegawa
    • 雑誌名

      Journal of Physique IV 132

      ページ: 95-99

    • NAID

      120000958460

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] THz Transmission Properties of Metal Hole-Array Filters2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamazaki, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2006 RCIQE International Seminar (Sapporo, February 9-10, 2006) 1

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Transmission Characteristics through Two-Dimensional Periodic Hole Arrays Perforated in Perfect Conductors.2006

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, M.Akazawa, E.Sano, M.Tanaka, F.Miyamaru, M.Hangyo
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.45, No.5A

      ページ: 4058-4063

    • NAID

      40007248579

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Silicon Interlayer Based Surface Passivation for AlGaAs/GaAs Quantum Structures on (111)B Surfaces.2006

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, N.Shiozaki H.Hasegawa
    • 雑誌名

      Journal de Physique IV Vol.132

      ページ: 95-99

    • NAID

      120000958460

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] THz Transmission Propertiess of Metal Hole-Array Filters.2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamazaki, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2006 RCIQE International Seminar (Sapporo, February 9-10,2006)

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Transmission Characteristics through Two-Dimensional Periodic Hole Arrays Perforated in Perfect Conductors2006

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, M.Akazawa, E.Sano, M.Tanaka, F.Miyamaru, M.Hangyo
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45・5A(accepted for publication)(印刷中)

    • NAID

      40007248579

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Silicon Interlayer Based Surface Passivation for AlGaAs/GaAs Quantum Structures on (111) B Surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, N.Shiozaki, H.Hasegawa
    • 雑誌名

      Journal de Physique IV 1(accepted for publication)(印刷中)

    • NAID

      120000958460

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] THz Transmission Properties of Metal Hole-Array Filters2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamazaki, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2006 RCIQE International Seminar (Sapporo, February 9-10) 1

      ページ: 129-130

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Terahertz Transmission Property of a Thin Metal Hole-Array Filter2005

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, Y.Yamazaki, E.Sano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44・49

    • NAID

      10016873536

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Silicon Interlayer Based Surface Passivation for AlGaAs/GaAs Quantum Structures on (111) B Surfaces2005

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, N.Shiozaki, H.Hasegawa
    • 雑誌名

      Abstracts of 10th International Conference on the Formation of Semiconductor Interfaces (Aix-en-Provence, July, 2005) 1

    • NAID

      120000958460

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] GaAs(111)B基板上に形成されたAlGaAs/GaAs量子構造のSi界面制御層による表面不活性化2005

    • 著者名/発表者名
      赤澤正道, 塩崎奈々子, 佐藤威友, 長谷川英機
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術報告 ED2005-62

      ページ: 25-30

    • NAID

      110003205129

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] コプレーナ伝送線路を用いたサブテラヘルツ1次元周期構造の評価2005

    • 著者名/発表者名
      山崎雄介, 稲船浩司, 赤澤正道, 佐野栄一
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術報告 MW2005-133

      ページ: 41-46

    • NAID

      110003205119

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Transmission Characteristics of THz Perfect-Conductor PerforatedPlate Filters with Two-Dimensional Periodic Holes2005

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2005 RCIQE International Seminar (Sapporo, February 8-10, 2005) 1

      ページ: 145-145

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photoconductive Sampling of Electromagnetic Periodic Structures in Subterahertz Coplanar Striplines2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamazaki, K.Inafune, M.Akazawa, J.Motohisa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2005 RCIQE International Seminar (Sapporo, February 8-10, 2005) 1

      ページ: 144-144

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Terahertz Transmission Property of a Thin Metal Hole-Array Filter.2005

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, Y.Yamazaki, E.Sano
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. Vol.44, No.49

    • NAID

      10016873536

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Silicon Interlayer Based Surface Passivation for AlGaAs/GaAs Quantum Structures on (111)B Surfaces.2005

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, N.Shiozaki, H.Hasegawa
    • 雑誌名

      Abstracts of 10th International Conference on the Formation of Semiconductor Interfaces (Aix-en-Provence, France, ICFSI-10,July 3-8,2005)

    • NAID

      120000958460

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Transmission Characteristics of THz Perfect-Conductor Perforated Plate Filters with Two-Dimensional Periodic Holes.2005

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2005 RCIQE International Seminar (Sapporo, February 8-10,2005)

      ページ: 145-145

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photoconductive Sampling of Electromagnetic Periodic Structures in Subterahertz Coplanar Striplines.2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamazaki, K.Inafune, M.Akazawa, J.Motohisa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2005 RCIQE International Seminar (Sapporo, February 8-10,2005)

      ページ: 144-144

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] コプレーナ伝送線路を用いたサブテラヘルツ1次元周期構造の評価2005

    • 著者名/発表者名
      山崎雄介, 稲船浩司, 赤澤正道, 佐野栄一
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術報告 MW2005

      ページ: 61-66

    • NAID

      110003205119

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Transmission Characteristics of THz Perfect-Conductor Perforated Plate Filters with Two-Dimensional Periodic Holes2005

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2005 RCIQE International Seminar (February 8th-10th,2005,Sapporo)

      ページ: 145-145

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Photoconductive Sampling of Electromagnetic Periodic Structures in Subterahertz Coplanar Striplines2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamazaki, K.Inafune, M.Akazawa, J.Motohisa, E.Sano
    • 雑誌名

      Collected Abstracts of 2005 RCIQE International Seminar (February 8th-10th,2005,Sapporo)

      ページ: 144-144

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 金属薄膜による表面周期構造を利用したTHz波フィルタ2004

    • 著者名/発表者名
      田中毅, 赤澤正道, 佐野栄一
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術報告 MW2004-133

      ページ: 51-56

    • NAID

      110003179773

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Surface Passivation Using a Si Interface Control Layer for AlGaAs/GaAs Quantum Structures Fabricated on GaAs(111)B Substrates.

    • 著者名/発表者名
      M.Akazawa, N.Shiozaki, T.Sato, H.Hasegawa
    • 雑誌名

      Technical Report of IEICE ED2005-62

      ページ: 25-30

    • NAID

      110003205129

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Evaluation of Sub-Terahertz Periodic Structure in a Coplanar Stripline.

    • 著者名/発表者名
      Y.Yamazaki, K.Inafune, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Technical Report of IEICE ED2004-248

      ページ: 41-46

    • NAID

      110003205119

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] THz-Wave Filters Using Surface Periodic Structures Composed of the Metal Films.

    • 著者名/発表者名
      T.Tanaka, M.Akazawa, E.Sano
    • 雑誌名

      Technical Report of IEICE MW2004-133

      ページ: 51-56

    • NAID

      110003179773

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要

URL: 

公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi