| 研究課題/領域番号 |
23656112
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
金井 理 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 教授 (90194878)
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| 研究分担者 |
伊達 宏昭 北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (20374605)
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| 連携研究者 |
柴田 隆行 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10235575)
川島 貴弘 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50378270)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2011年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | MEMS, 工程設計 / 形状モデリング / ソリッドモデル / メッシュモデル / MEMS / 工程設計 |
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| 研究概要 |
MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)の製造に精通していない設計者でも,MEMSデバイスを低コストに製造可能な工程を容易に推定できるようにするため,異なる解像度の三角形集合体とソリッドモデルの融合である多重解像度メッシュモデルでMEMSデバイスの理想形状や製造誤差を含む形状を精密に表現し,これに基づき,(1)デバイスを製造可能な全工程順序の探索,(2)より製造容易なデバイス形状への修正,などを可能とするMEMS工程設計支援システムのソフトウエアを試作した.
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