| 研究課題/領域番号 |
24510125
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
篭島 靖 兵庫県立大学, 物質理学研究科, 教授 (10224370)
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| 連携研究者 |
高野 秀和 兵庫県立大学, 大学院物質理学研究科, 助教 (50366548)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2013年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | Ｘ線光学 / Ｘ線ナノビーム / Ｘ線顕微鏡 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は申請者の研究グループが開発したＸ線円形多層膜ゾーンプレート（CMZP）の高性能化を図り、その集光ビームサイズを25 nm程度まで縮小することを目的とした。初年度はCMZP作製工程の最適化とマニュアル化、Coupled-Wave Theoryに基づく光学特性計算プログラムを用いたCMZPのパラメータの決定法を確立した。2年目、3年目では、設計集光性能を30 nm、25 nmと段階を踏んで高度化を進めた。設計性能30 nmのCMZPでは集光サイズ30.0 nmを、設計性能25 nmのCMZPでは集光サイズ24.2 nmを得た。以上の結果より当初の目的とした25 nm程度の集光を実現できた。
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