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単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法

研究課題

研究課題/領域番号 25540069
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 知覚情報処理
研究機関新潟大学

研究代表者

寒川 雅之  新潟大学, 自然科学系, 助教 (70403128)

連携研究者 野間 春生  立命館大学, 情報理工学部, 教授 (00374108)
奥山 雅則  大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 名誉教授 (60029569)
研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2014年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
キーワード触覚センサ / 近接センサ / マルチモーダルセンサ / MEMS / 複合センシング / マルチモーダル計測 / インピーダンス
研究成果の概要

物体の近接と接触力を一つの微小センサで検出する手法について検討した。接触力は柔軟なシリコーンゴムに埋め込んだ微小立体構造の変形により検知する。一方、近接は物体の接近によるセンサに入射する反射光の変化を、半導体の導電性の変化として検知できる。また、光を用いた検知手法では、ごく近傍では光が入射しにくくなるため、接触直前の状況では検知しにくく、また、透明な物体は検知が困難であるが、物体接近によるセンサ近傍の電界分布の変化を静電容量の変化として検知する方法を組み合わせることでそれらの場合でも検知を可能とした。

報告書

(3件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (14件) (うち招待講演 1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討2015

    • 著者名/発表者名
      三原雅人, 野沢瑛斗, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 135

    • NAID

      130005067826

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測2014

    • 著者名/発表者名
      横山輔久登, 金島岳, 奥山雅則, 安部隆, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 134 号: 7 ページ: 229-234

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.134.229

    • NAID

      130004849031

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測2014

    • 著者名/発表者名
      横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 134

    • NAID

      130004849031

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Active Touch Sensing by Multi-axial Force Measurement Using High-Resolution Tactile Sensor with Microcantilevers2014

    • 著者名/発表者名
      Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma, Masayuki Sohgawa
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 134 号: 3 ページ: 58-63

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.134.58

    • NAID

      130003391587

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication and Noise Reduction of the Miniature Tactile Sensor Using Through-Silicon-Via Connection with Signal Amplifier2013

    • 著者名/発表者名
      Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Teruaki Azuma, Masanori Okuyama, Haruo Noma
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 6S ページ: 06GL08-06GL08

    • DOI

      10.7567/jjap.52.06gl08

    • NAID

      210000142410

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 傾斜マイクロカンチレバー型触覚センサによる物体表面質感の計測法に関するレビュー2013

    • 著者名/発表者名
      寒川 雅之, 渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 133 号: 5 ページ: 147-154

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.133.147

    • NAID

      10031167010

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] MEMS多軸触覚センサを用いた定量的質感計測のための基礎検討2015

    • 著者名/発表者名
      髙橋賢太, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 寒川雅之
    • 学会等名
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2015
    • 発表場所
      京都市勧業館「みやこめっせ」
    • 年月日
      2015-05-17 – 2015-05-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス2015

    • 著者名/発表者名
      寒川雅之, 安部隆
    • 学会等名
      交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • 年月日
      2015-03-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 褥瘡管理用装置のためのマイクロメカニカルセンサ2015

    • 著者名/発表者名
      寒川雅之, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 縄田厚
    • 学会等名
      日本機械学会北陸信越部 第52期 総会・講演会
    • 発表場所
      新潟工科大学
    • 年月日
      2015-03-07
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Texture measurement and identification of object surface by MEMS tactile sensor2014

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2014
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2014-11-03 – 2014-11-05
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Multimodal Measurement of Proximity and Touch Force by Light-and Strain-Sensitive Multifunctional MEMS Sensor2014

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2014
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2014-11-03
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析2014

    • 著者名/発表者名
      野沢瑛斗, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • 学会等名
      第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県立産業交流会館)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers2014

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Sohgawa
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference (IEEE INEC 2014)
    • 発表場所
      Sapporo, Hokkaido, Japan
    • 年月日
      2014-07-28 – 2014-07-31
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討2014

    • 著者名/発表者名
      三原雅人, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • 学会等名
      平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2014-05-27 – 2014-05-28
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書 2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 光・ひずみ複合MEMSセンサを用いた近接覚・触覚マルチモーダル計測2014

    • 著者名/発表者名
      野沢瑛斗, 横山輔久登, 金島岳, 奥山雅則, 安部隆, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • 学会等名
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2014
    • 発表場所
      富山市総合体育館
    • 年月日
      2014-05-25 – 2014-05-29
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書 2013 実施状況報告書
  • [学会発表] MEMS触覚センサによる物体表面質感の計測法2014

    • 著者名/発表者名
      渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 安部 隆, 寒川 雅之
    • 学会等名
      平成26年電気学会全国大会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法の検討2013

    • 著者名/発表者名
      横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      仙台国際センター
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] High Resolution Measurement of Multi-axial Force in Real Time Using Miniature Tactile Sensor with Microcantilevers Embedded in PDMS2013

    • 著者名/発表者名
      Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2013
    • 発表場所
      Baltimore, MD USA
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilever Embedded in Hemispherical Elastomer for Surface Texture Measureme nt2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Teruaki Azuma
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013 & Eurosenso rs XXVII)
    • 発表場所
      Barcelona, Spain
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Identification of Various Kinds of Papers Using Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers2013

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
    • 学会等名
      The IEEE World Haptics Conference 2013
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [産業財産権] MEMSセンサ2013

    • 発明者名
      寒川 雅之, 奥山 雅則, 野間 春生
    • 権利者名
      新潟大学、立命館大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-223626
    • 出願年月日
      2013-10-28
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2014-07-25   更新日: 2019-07-29  

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