| 研究課題/領域番号 |
26420004
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 秋田大学 |
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研究代表者 |
山口 誠 秋田大学, 理工学研究科, 准教授 (90329863)
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| 研究分担者 |
川手 悦男 国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (80344216)
相浦 義弘 国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (80356328)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2014年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | ラマン分光 / 全反射ラマン分光 / 表面層 / 回転楕円鏡 / ラマン散乱 / 全反射 / 楕円面鏡 / 加工変質層 / 分光分析 / 材料評価 |
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| 研究成果の概要 |
様々な機能性薄膜の製膜技術の発展により，極表面層の評価が課題として挙げられている．表面層を評価する手法の一つにラマン散乱分光法がある．ラマン散乱分光法は，非破壊，非接触で測定可能という利点を有し，分子構造や化学結合など物質の同定が可能であるが，励起光に対して透明な試料では，励起光が試料内部まで侵入してしまうことから，表面層のラマン散乱光のみを取得することが困難という課題がある．本研究は，複数の回転楕円鏡からなる入射・集光光学系によるラマン散乱分光システムの構築を行った．光学系の検証のため，ダイヤモンド等のスペクトルが既知の試料について測定し，それらスペクトルを明確に観測することができた．
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