KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 00401258

検索結果: 1件 / 研究者番号: 00401258

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研究種目	基盤研究(S)
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東北大学
研究代表者	江刺正喜東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 教授
研究期間 (年度)	2007 – 2011完了
キーワード	MEMS / 電子描画装置 / 並列電子線描画 / 光制御電子源 / セルフアセンブル / マスクレス露光 / カーボンナノチューブ / 電子線描画 / マイクロマシニング / 電子線描画装置 / ダイアモンド / MEHS
研究概要	本研究では超並列電子線直接描画に関する要素技術として、カーボンナノチューブ(CNT)を先端に成長させた電子源の作製方法、光によるスイッチングが可能な微小冷陰極、微小ステージの開発、静電レンズの新しい作製法の開発、などをおこなった。また、これらを組み合わせ、電子ビームをスキャンせず、ビームをスイッチン ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (17件うち査読あり 15件) 学会発表 (20件) 図書 (6件) 備考 (14件) 産業財産権 (3件)