KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 00411413

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検索結果: 5件 / 研究者番号: 00411413

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1. 磁場・パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
研究分野	無機材料・物性
研究機関	近畿大学
研究代表者	松谷貴臣近畿大学, 理工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31完了
キーワード	環境セル / 隔膜 / 磁場 / パルスプラズマ / 化学気相成長法 / 窒化物薄膜 / アモルファス / 雰囲気内顕微鏡観察 / 電子顕微鏡 / 磁場援用 / 化学気相成長 / 金ナノ触媒 / 透過電子顕微鏡 / 触媒反応観察 / プラズマ / 透過型電子顕微鏡
研究成果の概要	環境セル型透過電子顕微鏡に用いる高強度隔膜としてa-SiCN隔膜に着目し、その作製手法として磁場・パルスプラズマ援用化学気相成長法（MPECVD）を開発した。a-SiCN隔膜作製のための原料ガスとして、大気中で安定なヘキサメチルジシラザンと窒素およびアルゴンを用いて作製した。磁場を印加することにより ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (5件うち謝辞記載あり 4件、査読あり 3件) 学会発表 (16件うち国際学会 8件)

2. 円環状対物瞳と近接補助電極を用いる電子光学系用球面収差補正技術の開発

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	薄膜・表面界面物性
研究機関	大阪電気通信大学
研究代表者	生田孝大阪電気通信大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2015-03-31完了
キーワード	電子顕微鏡 / 走査型透過電子顕微鏡 / 球面収差補正 / 静電型Csコレクター / 円環状対物瞳 / 3次元収束プロファイル / 電子ビーム露光 / 微細加工技術 / 走査型電子顕微鏡 / 電子光学系 / ３次元収束プロファイル
研究成果の概要	電子顕微鏡においてサブオングストロームの分解能を達成するには球面収差の補正が不可欠である。今日多極子電子レンズで構成される球面収差補正装置（Csコレクター）が用いられているが、きわめて高価である。本研究では、円環状対物瞳と補助近接円孔電極間の軸対象静電場による、シンプルかつ安価なCsコレクターを設計 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (9件うち査読あり 4件) 学会発表 (28件)

3. パルスプラズマ化学気相成長法を用いた環境セル透過電子顕微鏡用隔膜の開発

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
研究分野	無機材料・物性
研究機関	近畿大学
研究代表者	松谷貴臣近畿大学, 理工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2013完了
キーワード	化学気相成長法 / 隔膜 / 環境セル / 透過型電子顕微鏡 / プラズマ / 触媒反応 / アモルファス / 金ナノ粒子 / 電子顕微鏡 / 炭窒化ケイ素 / プラズマCVD / 質量分析 / ヘキサメチルジシラザン / 環境セル型透過電子顕微鏡 / パルスプラズマ援用CVD / a-BCN薄膜 / a-SiCN薄膜
研究概要	近年、透過電子顕微鏡を使用し、金属酸化物に担持された金ナノ粒子の触媒の反応機構や生体試料等を各雰囲気化で観察する試みがなされている。この方法は、試料ホルダーに環境セルと呼ばれる容器を取り付けで行われる。電子線の発生は、高真空で行われるため、電子顕微鏡鏡筒内と環境セルの間には、電子線を透過し、かつ雰囲 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (9件うち査読あり 7件) 学会発表 (33件うち招待講演 1件)

4. レーザー光を用いた高品位生体親和性薄膜形成法の開発とインプラント材への応用

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
研究分野	量子ビーム
研究機関	近畿大学
研究代表者	中山斌義近畿大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2008 – 2010完了
キーワード	表面改質 / 生体親和性材料 / ハイドロキシアパタイト / チタン / インプラント材料 / コーティング / パルスレーザーアブレーション / レーザーアシストレーザーアブレーション / レーザーアシスレーザーアブレーション
研究概要	2本のレーザービームを用いた新しいハイドロキシアパタイト(HAp)薄膜形成法(LALA法)を開発した。生体硬組織代替材料であるTiの生体親和性を向上させるためにコーティングするHAp被膜は次の3点が要求される。すなわち、(1)高い密着性、(2)結晶性および(3)1μm以下の薄膜であることである。本研 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (10件うち査読あり 6件) 学会発表 (14件)

5. ナノ位相トモグラフィー走査型透過電子顕微鏡の開発

研究課題

研究種目	学術創成研究費
研究機関	大阪電気通信大学
研究代表者	生田孝大阪電気通信大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2006 – 2010完了
キーワード	走査型透過電子顕微鏡 / 位相コントラスト / FE電子銃 / Csコレクター / 電子顕微鏡 / CT / ナノ材料 / ナノデバイス / 位相CT
研究概要	走査型透過電子顕微鏡によるナノ位相トモグラフィー実現を目指し、長焦点深度の振幅・位相像分離再生手法を提案している。これに必要な4技術要素である、磁場界浸型電界放出電子銃、小型収差補正システム、円環状対物絞りと円環状アレイ型検出器の研究・開発を行い、試作走査型透過電子顕微鏡を用いてこの新結像手法を評価 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (55件うち査読あり 33件) 学会発表 (39件) 備考 (3件) 産業財産権 (4件)