KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 20394421

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1. Si微細加工プロセスによる量産型コンパクト超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
審査区分	小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関	名古屋大学
研究代表者	元廣友美名古屋大学, 未来社会創造機構, 客員教授
研究期間 (年度)	2019-04-01 – 2022-03-31完了
キーワード	超電導磁気エネルギー貯蔵 / シリコン微細加工技術（MEMS） / 銅めっき / スパッタ成膜技術 / MOD成膜技術 / 極低温冷凍機 / 化学機械研磨(CMP) / 磁場計算 / 超電導コイル / 電力貯蔵 / シリコンウェハ / トレンチ / MOD法 / 銅酸化物高温超電導薄膜 / シリコン微細加工プロセス / 超電導蓄電コイル / MEMS / めっき / Siウェハ / 超電導 / コイル / 蓄電 / Si微細加工技術 / 小型化
研究開始時の研究の概要	Siウェハに形成した螺旋状溝内に形成したc-軸配向YBCO膜による１ウェハ螺旋状超電導コイルを完成させた後、二つの異なるSiウェハに形成した、逆巻のコイルを貫通孔を通して、ウェハ接合技術を用いて、直列接続する。貫通孔を介した異なるＳｉウェハ上の回路の接続はＣｕ配線では確立されているが、超電導薄膜では ...
研究成果の概要	4インチSiウェハに断線率低減を狙い、3段溝/横連結構造144角平面螺旋溝(全長100m)を作成した。この溝に埋め込むYBa2Cu3O7-δ(Y123)を腐食しない均熱化用Cuめっき法を開発した。Y123を埋め込んだ平面螺旋溝超電導コイル積層体につき、磁場計算で、従来の超電導コイルの10倍以上、スー ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (7件うち査読あり 5件、オープンアクセス 3件) 学会発表 (6件うち国際学会 4件)

2. MEMS技術を用いた超小型超電導磁気エネルギー貯蔵素子

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	電力工学・電力変換・電気機器
研究機関	名古屋大学
研究代表者	元廣友美名古屋大学, 未来社会創造機構, 教授
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31完了
キーワード	超電導磁気エネルギー貯蔵（SMES） / MEMS / 螺旋コイル / 超電導薄膜・ / シリコンウェハ / 銅めっき / 極低温冷凍機 / 化学機械研磨（CMP） / 蓄電 / コイル / 超電導 / シリコン / 磁気エネルギー / 電気エネルギー / 極低温 / 電気エネルギー工学 / 超電導磁気エネルギー貯蔵 / 電気エネルギー貯蔵 / 超伝導 / 薄膜 / SMES / 電力機器 / Li二次電池
研究成果の概要	従来の巨大な超電導磁気エネルギー貯蔵装置（SMES）を小型化し、超電導薄膜でできた螺旋状コイルの埋め込まれたSiウェハの積層体でSMESを作る新しい方法を提案した。 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (1件うち査読あり 1件、オープンアクセス 1件、謝辞記載あり 1件) 学会発表 (5件うち国際学会 5件、招待講演 1件) 備考 (1件) 産業財産権 (2件)