KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 30283724

1. 3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
審査区分	小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関	東京大学
研究代表者	道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授
研究期間 (年度)	2023-04-01 – 2026-03-31交付
キーワード	光周波数コム / 計測基準点 / 内面構造 / 回折格子 / 内面形状 / 計測理論 / 寸法計測
研究開始時の研究の概要	本研究は、内面構造の寸法・形状を高精度に計測する原理の確立を目指すものである。3次元形状計測において、基準点は不動であるべきであるが、現実的には揺らぎ、それが計測不確かさにつながる。そこで、内面構造の狭空間においてこの座標原点の揺らぎをナノスケールで計測しつつ、測定面までの形状を超高精度に計測するこ ...

2. 次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
審査区分	小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
研究期間 (年度)	2022-04-01 – 2025-03-31交付
キーワード	微細穴加工 / 高アスペクト比 / レーザー加工 / ウォータジェットレーザ加工 / ウォータジェットレーザー加工
研究開始時の研究の概要	次世代機能デバイスを実現する上で要求されている，先進的な硬脆材をふくむ金属基複合材料などの次世代複合材料の基本加工技術要素として
研究実績の概要	次世代機能デバイスを実現する上で要求されている，先進的な硬脆材をふくむ金属基複合材料などの次世代複合材料の基本加工技術要素として，特に高アスペクト比深穴微細加工を，熱影響層やクラック，デブリ付着等のない高品位な形態で実現する新しい加工法の開発を目指す。本年度は、インプロセスにおけるウォータジェット挙 ...
現在までの達成度 (区分)	2: おおむね順調に進展している

この課題の研究成果物	学会発表 (7件うち国際学会 2件) 産業財産権 (2件)

3. 破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立

研究課題

研究種目	挑戦的研究(萌芽)
審査区分	中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究機関	東京大学
研究代表者	道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授
研究期間 (年度)	2022-06-30 – 2024-03-31完了
キーワード	ナノファイバー / マイクロファイバー / 干渉照明 / テーパ光ファイバー / 細径光ファイバー / Mie散乱 / 近接場 / インプロセス計測 / 光ファイバ / 直径計測 / 細径ファイバー / 定在波
研究開始時の研究の概要	本研究では、光学手法による次世代極細光ファイバ (直径100 nmから数μm)の直径を10 nm以下の精度で“その場”計測する新規原理を提案し、その計測原理の実験検証および精度評価を目的とする。Mie散乱理論を基にした従来の光学計測手法は、光ファイバの直径が光波長以下になると、直径推定は難しい。我々 ...
研究成果の概要	本研究では、サブマイクロメートルファイバの直径を、対向伝搬ビームによって形成される定在波照明を用いて評価する新しい光計測技術を提案した。定在波の空間位相を積極的に制御することで、散乱光強度分布が変化した。その変化傾向の解析から、直径約500 nmの光ファイバの直径を30nmのばらつきで測定すること ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (1件うち査読あり 1件) 学会発表 (4件うち国際学会 2件、招待講演 1件)

4. 1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法

研究課題

研究種目	挑戦的研究(萌芽)
審査区分	中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
研究期間 (年度)	2021-07-09 – 2024-03-31完了
キーワード	異物検出 / ナノ欠陥 / ナノ異物 / 表面欠陥 / シリコンウエハ / 表面検査
研究開始時の研究の概要	従来半導体プロセスにおいて現場適用されていた光学的散乱型計測法原理では物理的検出限界となっていた超平滑加工表面のナノ付着異物計測法について新光学システムの提案，開発を目指す．具体的には，基板上に滴下した揮発性不活性溶媒の液相界面とナノ異物との近接場における力学的・光学的相互作用を，並列情報処理性，現 ...
研究成果の概要	従来光学的散乱型計測法原理では20 nm　程度が物理的検出限界となっていた半導体加工表面のナノ付着異物計測法について新光学システムの提案，開発を目指す．具体的には，基板上に滴下した揮発性不活性溶媒の液相界面とナノ異物との近接場における力学的・光学的相互作用を，並列情報処理性，現場適用性の高い遠隔場光 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (1件うち査読あり 1件、オープンアクセス 1件) 学会発表 (5件うち国際学会 4件、招待講演 3件)

5. 質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
審査区分	小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関	東京大学
研究代表者	道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授
研究期間 (年度)	2020-04-01 – 2023-03-31完了
キーワード	Whispering gallery mode / テーパ光ファイバー / 球 / 直径 / 伝搬定数 / 光ファイバー / 近接場 / 光共振 / ビート周波数 / WGM共振 / 球体 / 屈折率 / 自律校正 / Goos-Haenchenシフト / 偏光 / SNOM / 有限要素解析 / 近接場プローブ / 定在波 / テーパ光ファイバ
研究開始時の研究の概要	質量の基準となる高精度な計測原理を構築するため、直径94 mmから94 μmのシリコン球の計測が求められている。本研究では、球の中を周回共振する光の伝搬形態であるWGMという光学現象を用いて計測する原理を提案している。球の円周長を測定し、そこからシリコン球の直径を計測する。円周長は共振する光波長の倍 ...
研究成果の概要	本研究では、高精度な質量トレーサビリティ体系構築に向け、φ94 mmからφ94 μmの幅広いシリコン球体に対して、同一測定原理でその直径を相対精度1.0×10-6で測定可能な技術確立を目的とした。そのために、Whispering gallery mode (WGM)共振という光共振現象を用いた手法 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (5件うち査読あり 5件、オープンアクセス 2件) 学会発表 (13件うち国際学会 3件) 備考 (1件)

6. 空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦

研究課題

研究種目	挑戦的研究(萌芽)
審査区分	中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2019-06-28 – 2022-03-31完了
キーワード	ナノ・マイクロ加工 / レーザートラップ / 空間局在光場制御 / 放射圧並列制御 / 空間局在光場 / 並列制御 / 光トラップ / 放射圧制御 / 光触媒ナノ粒子 / マイクロレジン / ナノ除去加工
研究開始時の研究の概要	光エネルギーが本質的に有している，優れた空間エネルギー分布のリモート制御性，並列制御性，高速制御性に，光触媒ナノ粒子を先端チップとする新しい概念のフォトン励起型マイクロ加工工具を融合させ，「究極の微小加工エネルギー媒体」といえる電子を，三次元空間内の所望位置に，直接作用させることが可能な空間光場制御 ...
研究成果の概要	レジスト微細形状やソフトマテリアルに対して10nmスケールの微小加工分解能での除去修正加工が実現できれば，マイクロマシニング分野に大きな波及効果が期待できる．本研究ではそのような新しい加工法の実現を目指して，空間光場制御・フォトン励起型マイクロ加工ツールの作成方法を検討した．新しくマイクロレジンを光 ...

この課題の研究成果物	学会発表 (6件うち国際学会 2件、招待講演 1件)

7. 動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
審査区分	小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2019-04-01 – 2022-03-31完了
キーワード	超解像 / ナノ計測 / 微細機能構造 / コヒーレント結像
研究開始時の研究の概要	本申請研究は，バイオ分野で発展著しい螢光超解像技術をベースにして，原理的に螢光修飾が不要で製造現場適用が可能な新しい光学的超解像計測評価技術の実現を目指す．具体的には，実用性の高い超解像法として確立されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント ...
研究成果の概要	従来，実用性の高い超解像法として開発されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント結像下においても超解像観察機能を発現可能な次世代微細機能構造の超解像欠陥計測技術の確立を目指した．結果，振幅一定で位相のみが周期的に変動する次世代光学デバイスの微 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (5件うち査読あり 5件、オープンアクセス 1件) 学会発表 (23件うち国際学会 11件、招待講演 3件) 図書 (3件)

8. 微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦

研究課題

研究種目	挑戦的研究(萌芽)
審査区分	中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究機関	東京大学
研究代表者	道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授
研究期間 (年度)	2018-06-29 – 2021-03-31完了
キーワード	WGM / 光共振器 / 球体 / 直径 / テーパ光ファイバー / Whispering gallery mode / 光共振 / 屈折率 / 標準計測 / 微小球共振 / 微小球 / 直径計測 / モード解析 / テーパファイバー / 伝搬定数
研究成果の概要	本研究では、従来にない全く新規な測定原理を提案・確立し、従来精度を遥かに上回る1 mm以下のマイクロ球径を10 nm以下の測定不確かさで計測・評価可能な標準計測技術の構築を目指している。本研究では、Whispering gallery mode共振を用いて手法を提案している。本研究課題では、直径計測 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (3件うち査読あり 3件、オープンアクセス 2件) 学会発表 (19件うち国際学会 7件、招待講演 5件)

9. 自律的欠陥探索・分裂型マルチ近接場プローブによる超平滑加工表面ナノ異物一括計測

研究課題

研究種目	挑戦的萌芽研究
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31完了
キーワード	ナノ欠陥 / ナノ計測 / 光計測 / シリコンウエハ / ナノ異物 / 欠陥検査 / シリコンウエハ基板
研究成果の概要	従来半導体プロセスにおいて現場適用されていた光学的散乱型計測法原理では物理的検出限界となっていた超平滑加工表面のナノ付着異物計測法について新概念手法の提案，開発を目指した．具体的には，基板上に滴下した揮発性不活性溶媒の液相界面とナノ異物との近接場における力学的・光学的相互作用を，並列情報処理性，現場 ...

この課題の研究成果物	学会発表 (11件うち国際学会 5件)

10. 複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2019-03-31完了
キーワード	マイクロファクトリ / セルインマイクロファクトリ / ナノマイクロ加工 / マクロファクトリ
研究成果の概要	光エネルギーが本来有している遠隔制御性・並列処理性・多重情報伝搬性と対象物体との相互作用で局在生成される近接場フォトンの能動的作用・受動的応答を利用して、数マイクロメートル程度の精密機能部品・デバイスを自律的に製造可能な数mm～数10mmスケールの超小型工場（セルインマイクロファクトリ）コンセプトの ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (7件うち査読あり 7件、オープンアクセス 3件) 学会発表 (38件うち国際学会 20件、招待講演 4件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件うち外国 1件)

11. 局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦

研究課題

研究種目	挑戦的萌芽研究
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2015-03-31完了
キーワード	欠陥計測 / ナノ欠陥 / 光計測 / 超解像計測 / 加工計測 / 局在光 / 超解像
研究成果の概要	検査面上に照射した集光ビームスポットを，そのスポット分布が重複する形でナノシフト（局在光動的制御）させた際に検出される複数の遠隔場検出光散乱像群に対して，集光ビームスポット強度分布の重みと光学系の点像分布関数を考慮した逆演算を施すことで，通常の遠隔場応用光学的手法では困難な集光ビームスポット内の情報 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (2件うち査読あり 2件、オープンアクセス 2件、謝辞記載あり 2件) 学会発表 (8件うち招待講演 2件) 備考 (1件)

12. 次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高増潔東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2019-03-31完了
キーワード	座標計測 / ナノメートル計測 / 光計測 / 三次元形状測定 / 不確かさ推定
研究成果の概要	次世代ものづくりにおいて，製作する部品の形状精度を向上するためには，ナノスケールでの三次元形状測定が不可欠となる． ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (32件うち国際共著 7件、査読あり 32件、オープンアクセス 6件、謝辞記載あり 2件) 学会発表 (74件うち国際学会 69件、招待講演 9件) 備考 (5件)

13. 動的局在光場並列制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究

研究課題

研究種目	挑戦的萌芽研究
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2014-03-31完了
キーワード	マイクロファクトリ / 微小生産科学 / マイクロマシン
研究概要	本申請研究においては，デスクトップサイズに小型化されたマイクロファクトリ概念をさらに拡張し，マイクロメートルスケール部品への加工・アセンブリシステムを実現する超小型工場（セルインマイクロファクトリ）を提案した．これは，数umから数10um程度のマイクロ機能部品・デバイスを自律的に製造可能な数mmから ...

この課題の研究成果物	学会発表 (4件) 備考 (1件)

14. 高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測に関する

研究課題

研究種目	挑戦的萌芽研究
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012完了
キーワード	精密位置決め / 加工計測 / 微細構造 / 非破壊計測 / 内部情報計測 / 高分解能計測 / 回折限界超越 / 回折限界
研究概要	従来,断面を切りだした後,電子顕微鏡等で高分解能観察するといった破壊計測をせざるをえなかったナノインプリント加工表面等の高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測を目指した.プラズモン共鳴を利用した近接場光応答を検出することで,ナノインプリント加工表面内部情報(残膜厚)の定量評価が可 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (4件うち査読あり 4件) 学会発表 (24件うち招待講演 1件) 備考 (1件) 産業財産権 (4件うち外国 2件)

15. 全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2011-04-01 – 2015-03-31完了
キーワード	超精密加工 / ナノ修正加工 / ソフトマテリアル / マイクロマシン / マイクロ・ナノデバイス / 精密微細加工
研究成果の概要	ナノ生産工学においてその重要度が高まっているレジスト，高分子，バイオ素材等のソフトマテリアルを加工対象として，50nm以下の空間加工分解能でナノ修正加工が可能な新しい概念の光触媒ナノ粒子工具チップ・マイクロ加工工具の提案およびその有効性検証を目的とした．まず，理論的側面から光放射圧に基づいた提案全方 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (4件うち査読あり 4件、オープンアクセス 2件、謝辞記載あり 2件) 学会発表 (32件うち招待講演 4件) 備考 (1件)

16. ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高増潔東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
研究期間 (年度)	2010-04-01 – 2015-03-31完了
キーワード	ナノメートル計測 / 三次元計測 / 不確かさ推定 / 形状測定
研究成果の概要	ナノスケールものづくりにおけるナノ三次元計測の不確かさ体系化のために，以下に示す4つの研究を行い，ナノメートル三次元計測における不確かさ推定手法の体系化を行った． ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (32件うち査読あり 32件) 学会発表 (59件うち招待講演 13件) 図書 (2件) 備考 (4件)

17. 局在フォトン相互作用と酸化チタンナノ光触媒を利用したマイクロ三次元金属構造の創製

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2008 – 2010完了
キーワード	精密位置決め / 加工計測 / 局在フォトン / 酸化チタン / 三次元マイクロ加工 / マイクロマシン / イクロ・ナノデバイス / マイクロ・ナノデバイス / 高速プロトタイピング
研究概要	本研究では,酸化チタン半導体の光触媒作用に着目し,金属イオン溶液に分散させた酸化チタンナノ粒子に局在制御された光エネルギーを適用する金属マイクロ三次元機能構造創製法を提案し,その確立を目指した.硝酸銀水溶液とブルッカイト型酸化チタンナノ粒子を用いた実験により,金属銀と酸化チタンで構成されたマイクロ三 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (12件うち査読あり 10件) 学会発表 (8件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

18. エバネッセント・マルチフォトンプローブによる超精密平坦加工面のナノ欠陥高速計測法

研究課題

研究種目	萌芽研究
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教接
研究期間 (年度)	2006 – 2007完了
キーワード	エバネッセント光 / 超精密平坦加工面 / ナノ欠陥 / 欠陥計測 / マルチフォトンプローブ
研究概要	本申請研究は,近接場光計測技術の特徴である高分解能計測特性と遠隔伝搬光計測技術の最大の利点である面内-括並列処理特性を高度に融合することによって,回折限界に制限を受けない,全く新しい光学的超精密加工平坦面欠陥計測技術の確立を目指したものであり,平成19年度は,前年度に構築した提案計測原理の実験的検証 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (7件うち査読あり 3件) 学会発表 (4件)

19. 赤外エバネッセント光による次世代半導体ウエハ機能薄膜のナノ欠陥計測法に関する研究

研究課題

研究種目	若手研究(A)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 大学院工学系研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2004 – 2006完了
キーワード	エバネッセント光 / 近接場光 / 半導体機能薄膜 / 膜厚計測 / エパネッセント光 / Low-k / 欠陥検査 / 半導体
研究概要	本研究は,次世代半導体デバイス用半導体機能薄膜層欠陥の計測技術の開発を行うものである.具体的には,半導体機能薄膜表面近傍に生成されるエバネッセント光を,数10nm程度の微小開口を有するファイバプローブ探針を用いて計測しエバネッセント光を乱す元となった薄膜厚異常等の欠陥や薄膜層表面および内部に存在する ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (17件)

20. エバネッセント局在フォトンを利用したナノ光造形法に関する基礎的研究

研究課題

研究種目	萌芽研究
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2004 – 2005完了
キーワード	エバネッセント光 / 光造形 / マイクロ光造形 / 光硬化性樹脂 / マイクロ光造形法
研究概要	本申請研究は,原理的に光エネルギー局在特性を有しているエバネッセント光(局在フォトン)と生産性に優れ工業的価値の高い一括面露光型光造形法を融合することによって,200nm程度の最小硬化単位を有しつつ,mmスケールまでの造形物サイズを創成可能な,全く新しいナノ光造形法の確立を目的としたものである.

この課題の研究成果物	雑誌論文 (12件)

研究期間 (開始年度)

1. 3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測 研究課題

道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

2. 次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発 研究課題

高橋 哲 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授

3. 破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立 研究課題

道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

4. 1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法 研究課題

高橋 哲 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授

5. 質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測 研究課題

道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

6. 空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦 研究課題

高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

7. 動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測 研究課題

高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

8. 微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦 研究課題

道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

9. 自律的欠陥探索・分裂型マルチ近接場プローブによる超平滑加工表面ナノ異物一括計測 研究課題

高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

10. 複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発 研究課題

高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

11. 局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦 研究課題

高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

12. 次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化 研究課題

高増 潔 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授

13. 動的局在光場並列制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究 研究課題

高橋 哲 東京大学, 工学系研究科, 教授

14. 高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測に関する 研究課題

高橋 哲 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授

15. 全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発 研究課題

高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

16. ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化 研究課題

高増 潔 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授

17. 局在フォトン相互作用と酸化チタンナノ光触媒を利用したマイクロ三次元金属構造の創製 研究課題

高橋 哲 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授

18. エバネッセント・マルチフォトンプローブによる超精密平坦加工面のナノ欠陥高速計測法 研究課題

高橋 哲 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教接

19. 赤外エバネッセント光による次世代半導体ウエハ機能薄膜のナノ欠陥計測法に関する研究 研究課題

高橋 哲 東京大学, 大学院工学系研究科, 助教授

20. エバネッセント局在フォトンを利用したナノ光造形法に関する基礎的研究 研究課題

高橋 哲 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授

1. 3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測

研究課題

道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

2. 次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発

研究課題

高橋哲東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授

3. 破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立

研究課題

道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

4. 1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法

研究課題

高橋哲東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授

5. 質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

研究課題

道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

6. 空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦

研究課題

高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

7. 動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測

研究課題

高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

8. 微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦

研究課題

道畑正岐東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授

9. 自律的欠陥探索・分裂型マルチ近接場プローブによる超平滑加工表面ナノ異物一括計測

研究課題

高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

10. 複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発

研究課題

高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

11. 局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦

研究課題

高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

12. 次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化

研究課題

高増潔東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授

13. 動的局在光場並列制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究

研究課題

高橋哲東京大学, 工学系研究科, 教授

14. 高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測に関する

研究課題

高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授

15. 全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発

研究課題

高橋哲東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授

16. ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化

研究課題

高増潔東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授

17. 局在フォトン相互作用と酸化チタンナノ光触媒を利用したマイクロ三次元金属構造の創製

研究課題

高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授

18. エバネッセント・マルチフォトンプローブによる超精密平坦加工面のナノ欠陥高速計測法

研究課題

高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教接

19. 赤外エバネッセント光による次世代半導体ウエハ機能薄膜のナノ欠陥計測法に関する研究

研究課題

高橋哲東京大学, 大学院工学系研究科, 助教授

20. エバネッセント局在フォトンを利用したナノ光造形法に関する基礎的研究

研究課題

高橋哲東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授