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検索結果: 1件 / 研究者番号: 30516357
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1.
固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
審査区分
小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関
立命館大学
研究代表者
村田 順二
立命館大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)
2023-04-01 – 2026-03-31
交付
キーワード
電気化学機械研磨
/
固体電解質
/
陽極酸化
研究開始時の研究の概要
高性能パワーデバイスへの応用が進む単結晶 SiC の高能率な研磨法として、電解酸化を援用した電気化学機械研磨 (ECMP) が期待されている。研究代表者が提唱する薬液による環境負荷が全くない新たな環境調和型ECMPについて、そのメカニズム解明とそれに基づく加工技術体系の構築を行う。これにより60分以
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