KAKEN — Research Projects | Researcher Number: 70322683

Search Results: 6 results / Researcher Number: 70322683

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1. 遷移金属の新しい低温化学反応エッチングメカニズムの提案

Research Project

Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Research Field	Plasma electronics
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	久保田智広東北大学, 流体科学研究所, 准教授
Project Period (FY)	2015-04-01 – 2017-03-31Discontinued
Keywords	遷移金属エッチング / 中性粒子ビーム / 遷移金属錯体 / 鉄 / 第一原理理論計算 / プラズマ・ビーム誘起錯体反応 / 第一原理計算 / 密度汎関数法 / 酸性度 / 活性化エネルギー / 結合次数解析
Outline of Annual Research Achievements	有機分子（プリカーサー）と酸素・アルゴン中性粒子ビームを用いた遷移金属錯体生成による遷移金属エッチングプロセスのメカニズム解明のため、密度汎関数理論に基づく第一原理理論計算を行った。

Research Products of this project	Presentation (9 results, of which Int'l Joint Research: 4 results, Invited: 1 results)

2. Modeling of plasma process surface reaction mechanism using energy-controllable particle beams

Research Project

Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Research Field	Applied physics, general
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	KUBOTA Tomohiro 東北大学, 流体科学研究所, 准教授
Project Period (FY)	2011-04-01 – 2014-03-31Completed
Keywords	中性粒子ビーム / エッチング形状予測 / オンウェハモニタリング / 紫外光照射損傷 / イオンシース / 第一原理計算 / ワイヤレス測定 / 欠陥生成 / 共鳴遷移 / オージェ遷移 / 紫外光スペクトル / 塩素
Research Abstract	To understand influence of electric charge and ultraviolet photons in plasma etching, investigation was performed by separating different types of inc ...

Research Products of this project	Journal Article (11 results, of which Peer Reviewed: 11 results) Presentation (58 results, of which Invited: 5 results)

3. 単電子デバイスのための積層量子ナノディスク構造の精密作製と量子特性制御

Research Project

Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Research Field	Electronic materials/Electric materials
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	久保田智広東北大, 流体科学研究所, 助教
Project Period (FY)	2008Completed
Keywords	ナノディスク / 量子ドット / 中性粒子ビーム / 積層ナノディスク / X線光電子分光法 / バイオナノプロセス / 原子間力顕微鏡 / 量子井戸
Research Abstract	積層ナノディスク構造の作製を行った。まず、シリコン基板上にSiO2層とpoly-Si層を交互に積層した。このとき、SiO2層の作製方法としては中性粒子ビーム酸化を用いた。次に基板表面にフェリティン分子を配置し、熱処理によりフェリティン分子のタンパク質部分のみを除去して内部の鉄コアを残した。NF3ガス ...

Research Products of this project	Journal Article (1 results, of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (1 results)

4. 単一サブ10nm微細構造のためのマルチ同時解析装置の開発

Research Project

Research Category	Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Research Field	Applied physics, general
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	久保田智広 Tohoku University
Project Period (FY)	2006 – 2007Completed
Keywords	ナノディスク / 中性粒子ビーム / 電気特性 / 量子ドット / 原子間力顕微鏡 / バイオナノプロセス / 量子井戸 / 自然酸化膜 / クーロン階段 / ケルビン力顕微鏡(KFM) / 原子間力顕微鏡(AFM) / 導電性探針(プローブ)
Research Abstract	昨年度に作製した円盤状シリコン微細構造につき、直径および厚さを変化させたものを作製し、電気特性に現れる階段構造の幅がどのように変化するかを検討した。

Research Products of this project	Journal Article (3 results, of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (2 results)

5. サブ10nm量子ドットの超解像近接場分光

Research Project

Research Category	Grant-in-Aid for Exploratory Research
Research Field	Applied physics, general
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	寒川誠二東北大学, 流体科学研究所, 教授
Project Period (FY)	2004 – 2005Completed
Keywords	量子ドット / 中性粒子ビーム / フェリチン / 低ダメージエッチング / Pbセンター / 近接場光 / Bow-tieアンテナ / 表面プラズモン / エッチング / Bow-tieアンテナ型 / マイクロマシンプローブ
Research Abstract	昨年度に作製したサブ10nm量子ドット(ナノカラム)の作製条件最適化を行った。ナノカラムの直径は、シリコン基板表面に存在する自然酸化膜の影響で、エッチングマスクであるフェリチン鉄コアの直径(7nm)よりも大きくなってしまう傾向があった。しかし、エッチングに用いる中性粒子ビームのエネルギーやガスケミス ...

Research Products of this project	Journal Article (6 results)

6. Nanometer-scale processing and creation of novel functional materials using low energy high flux neutral beams

Research Project

Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Research Field	Thin film/Surface and interfacial physical properties
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	SAMUKAWA Seiji Tohoku University, Institute of Fluid Science, Professor
Project Period (FY)	2003 – 2005Completed
Keywords	neutral beam / etching / negative ion / silicon oxynitride / gate electrode etching / low-k film / fin-type vertical MOSFET / nanocolumn
Research Abstract	We have developed a high-performance neutral beam (NB) system. It achieved high neutralization efficiency and high flux by utilizing negative ions for ...

Research Products of this project	Journal Article (33 results) Patent(Industrial Property Rights) (8 results) Publications (2 results)