KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 90393793

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1. 精密加工へ用いる時空間波形歪が補償された超短パルスビームアレイの生成法の研究

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
審査区分	小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関	東洋大学
研究代表者	尼子淳東洋大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2019-04-01 – 2022-03-31完了
キーワード	超短パルスレーザー / ビームアレイ / 回折光学 / パルス波形整形 / 分散補償 / 色収差補正 / 波形整形 / 超短パルス / ビーム搬送光学系 / 光学設計
研究開始時の研究の概要	超短パルスレーザーを用いた生産性に優れた加工技術への期待が大きい。高スループットの鍵となる超短パルスビームアレイを回折を利用して生成する光学系が国内外で研究されているが実用に至っていない。光学系の色収差と分散により生じる時空間のパルス波形歪を除く方法が確立していないためである。本研究では回折光学素子 ...
研究成果の概要	時空間における波形歪がない超短パルスビームアレイをつくる光学系を開発した。回折ビームスプリッタでパルスビームを分岐し、光学系の諸分散を調整して波形歪を除き、実用十分な長さのパルスビームアレイをつくる。このパルスビームアレイで材料の複数部位を並列に加工すれば、製造ラインで要求される加工スループットを達 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (2件うち査読あり 2件、オープンアクセス 2件) 学会発表 (4件)

2. ナノマイクロ加工へ用いる時空間歪が補償された超短パルスビーム列の発生

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東洋大学
研究代表者	尼子淳東洋大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31完了
キーワード	超短パルス / ビーム列 / 回折光学 / 光学設計 / 光線行列解析 / ビームアレイ / 色収差補正 / 分散補償 / 回折光学素子 / 自己相関計 / 非線形光学結晶 / 自己相関器 / 第二高調波 / フリンジ分解
研究成果の概要	時空間における波形歪のない超短パルスビーム列を生成するカスケード光学系を開発した。回折系の後に屈折系がカスケードに接続され、両者の間に位相差板が配置されている。パルスビームを回折光学素子で分岐すると、波形歪の主要因である色収差が生じる。この色収差を回折系と屈折系で補正し、角度分散を位相差板で補償する ...

この課題の研究成果物	学会発表 (5件) 産業財産権 (1件)

3. 高次高調波表面光電子分光法によるグラフェン電子系の超高速ダイナミクスの解明

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	ナノ材料・ナノバイオサイエンス
研究機関	日本電信電話株式会社ＮＴＴ物性科学基礎研究所
研究代表者	小栗克弥日本電信電話株式会社ＮＴＴ物性科学基礎研究所, 量子光物性研究部, 主任研究員
研究期間 (年度)	2011-04-01 – 2014-03-31完了
キーワード	グラフェン / 超高速ダイナミクス / 時間分解光電子分光 / 表面増強ラマン散乱 / 電子位相緩和 / 高次高調波 / 時間分解ARPES / エピタキシャルグラフェン
研究概要	我々は、次世代の超高速デバイス材料として有望な大面積エピタキシャルグラフェンの超高速緩和ダイナミクスを明らかにすることを目的として、原子層一層レベルの表面の光励起キャリア緩和ダイナミクス計測が可能な高次高調波光源を用いたフェムト秒時間分解表面光電子分光法を実現した。また、30倍程度の信号強度増強効果 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (6件うち査読あり 2件) 学会発表 (25件うち招待講演 7件) 備考 (3件)

4. 六方晶BN窒化物半導体に関する研究

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	応用物性・結晶工学
研究機関	日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所
研究代表者	小林康之日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 機能物質科学研究部・薄膜材料研究グループ, 主幹研究員
研究期間 (年度)	2006 – 2009完了
キーワード	半導体 / 結晶成長 / 半導体物性 / 光物性 / エピタキシャル成長
研究概要	我々は、有機金属気相成長法により、(0001)六方晶窒化ホウ素薄膜が、ニッケル(111)基板とサファイア(0001)基板上にエピタキシャル成長することを見出した。六方晶窒化ホウ素エピタキシャル薄膜は、カソードルミネッセンス測定から室温において227nm付近のバンド端近傍の発光を示し、その光学バンドギ ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (20件うち査読あり 15件) 学会発表 (23件) 産業財産権 (2件)

5. 高強度レーザー誘起硬X線パルスの高効率発生と応用

研究課題

研究種目	特定領域研究
審査区分	理工系
研究機関	東京工業大学
研究代表者	中村一隆東京工業大学, 応用セラミックス研究所, 助教授
研究期間 (年度)	2002 – 2005完了
キーワード	放射線・X線・粒子線 / 量子ビーム / 光物性 / 光源技術 / 高性能レーザー / フェムト秒レーザー / パルスX線 / 時間分解X線回折 / 量子放出 / イオン加速 / 強光子場 / 高速電子 / 電子線シャドーグラフ / フェムト秒 / ピコ秒 / レーザー / 高エネルギー電子 / プラズマ / 時間分解 / X線 / イメージング / ピコ秒時間分解X線回折 / 結晶格子ダイナミクス
研究概要	高強度フェムト秒レーザー光を真空中で金属ターゲットに集光照射することにより、超短パルス硬X線を発生し、これを用いたフェムト秒時間分解X線回折を用いた物質ダイナミクスの研究を行った。本年度は、50フェムト秒レーザー光励起によるCdTe単結晶のコヒーレント光学フォノン計測に成功した。光学フォノンは重心が ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (10件) 文献書誌 (15件)