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検索結果: 4件 / 研究者番号: 90579731
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1.
化学反応場における二次元材料を対象とした荷電粒子プロセスシミュレータの開発
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
審査区分
小区分28010:ナノ構造化学関連
研究機関
富山高等専門学校
研究代表者
多田 和広
富山高等専門学校, その他部局等, 准教授
研究期間 (年度)
2019-04-01 – 2022-03-31
完了
キーワード
分子動力学
/
二次元材料
/
表面物理
/
加工プロセス
/
イオン照射
/
電子線照射
/
分子シミュレーション
/
荷電粒子
/
分子動力学法
/
ナノプロセス
/
計算物理
/
照射効果
/
荷電粒子ビーム
研究開始時の研究の概要
ポストシリコン世代のエレクトロニクス材料として有力視されるグラフェン等の二次元材料の加工プロセス技術を確立することは、同材料の実用化へ向けた最重要課題の一つである。本研究は、荷電粒子ビーム全般を用いた二次元材料のナノ加工プロセスを再現できる新規なシミュレーションモデルの開発を行なうものである。これに
...
研究成果の概要
これまで開発した電子線照射の分子シミュレーションをイオンビームに拡張し、二次元MoS2のグラフェン被膜による荷電粒子ビームからの保護効果について、被膜条件を変え、バリア性能を決める要因について調べた。被膜条件として、二次元MoS2の片面もしくは両面をグラフェンで被膜することとした。結果として、試料膜
...
この課題の研究成果物
学会発表 (8件 うち国際学会 2件)
2.
電子線ナノプロセスのマルチフィジックスシミュレーション
研究課題
研究種目
基盤研究(A)
研究分野
電子デバイス・電子機器
研究機関
大阪府立大学
研究代表者
安田 雅昭
大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
研究期間 (年度)
2013-05-31 – 2016-03-31
完了
キーワード
電子ビーム
/
ナノプロセス
/
マルチフィジックス
/
分子動力学
/
モンテカルロ法
/
計算物理
/
分子動力学法
研究成果の概要
モンテカルロ法と分子動力学法を融合した理論解析手法を用いて、電子ビームによるナノプロセスを対象としたマルチフィジックスシミュレーションを実施した。電子ビーム加工、改質、リソグラフィなどの応用技術を対象に電子ビームが誘起する構造変化、応力発生、損傷、昇温、帯電などの多様な物理現象の複合解析を行い、電子
...
この課題の研究成果物
国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (7件 うち査読あり 6件、オープンアクセス 1件、謝辞記載あり 5件) 学会発表 (90件 うち国際学会 20件、招待講演 6件) 図書 (1件)
3.
素子のナノ構造化・単結晶化による新型有機半導体放射線検出器の開発
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
原子力学
研究機関
富山高等専門学校
研究代表者
高田 英治
富山高等専門学校, 専攻科, 教授
研究期間 (年度)
2011 – 2013
完了
キーワード
原子力計測・放射線物理
/
有機半導体
/
X線
/
測定
/
ナノ構造
/
結晶化
/
放射線
/
ナノモールディング
/
効率
研究概要
素子のナノ構造化による放射線測定効率の向上のため、ヘテロ型有機ホトダイオードに対してナノ構造製作を試み、その効果を検討した。X線照射実験を行ったところ、平板インプリントを行った場合に比べ、ナノ構造を持つ素子はX線誘起電流が23%増加し、ナノ構造化の効果が見られた。しかし、この効果は製作素子ごとに異な
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (2件 うち査読あり 2件) 学会発表 (12件)
4.
ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム構造制御の理論解析
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
研究分野
電子デバイス・電子機器
研究機関
大阪府立大学
研究代表者
安田 雅昭
大阪府立大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)
2010 – 2012
完了
キーワード
微細プロセス技術
/
ナノカーボン
/
電子ビーム
/
照射効果
/
構造制御
/
電子顕微鏡
/
分子動力学法
/
ナノメカニクス
/
電子励起
研究概要
電子ビームを用いたナノカーボン材料の構造制御技術の確立を目指して、電子ビーム照射によるナノカーボン材料の構造変化を分子動力学シミュレーションにより解析した。電子の衝突現象はモンテカルロ法により導入した。その解析より、ナノカーボン材料の構造変化について電子ビーム照射エネルギー、試料温度、印可応力などの
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (9件 うち査読あり 9件) 学会発表 (54件)