• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

集積化容量形圧力センサの高性能化

研究課題

研究課題/領域番号 02555077
研究種目

試験研究(B)

配分区分補助金
研究分野 電子機器工学
研究機関東北大学

研究代表者

江刺 正喜  東北大学, 工学部, 教授 (20108468)

研究分担者 仁田 新一  東北大学, 抗酸菌研究所, 助教授 (90101138)
庄子 習一  東北大学, 工学部, 助手 (00171017)
研究期間 (年度) 1990 – 1991
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
14,100千円 (直接経費: 14,100千円)
1990年度: 14,100千円 (直接経費: 14,100千円)
キーワード圧力センサ / 集積化センサ / 容量形センサ / マイクロマシ-ニング / 半導体
研究概要

平成2年度は積集化容量形圧力センサの高性能化に関する研究を行い以下のような成果を得ることができた。
1.製作工程、実装などを考慮して,センサ構造や容量検出回路などの設計を行い、大きさ2.2mm×1.8mmの絶対圧形集積化容量形圧力センサを製作した。
2.製作したセンサの特性測定・評価を行なった。圧力による出力変化は、6.5%も得られたが、これは集積化容量形によってのみ可能である。特にセンサキャパシタ電極材料の改良で大きな出力変化を実現できたが,これはアルミニウム電極を白金/チタン電極に替えたことで,接合時の熱処理で突起を生じないようにしたことによる。
3.この周波数出力形容量形圧力センサの外部回路方式を検討した。高い分解能と広い周波数帯域を同時に満足するには,多周期の時間幅を測定する方式が有効であることを確認した。
4.相対圧形圧力センサの構造、製作プロセスの設計を行った。また専用の相対圧用容量検出回路を設計し、シミュレ-ションで動作を確認した。
5.このセンサは電源線の電流変化周波数を検出することで,電源線と接地線の2線式で動作させることができる。これをさらに発展させ、複数のセンサを共通の2本の線に並列に接続し,特定のセンサを選択して動作させることができるインタフェ-ス用ICを製作した。

報告書

(1件)
  • 1990 実績報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (3件)

  • [文献書誌] M.Esashi,Y.Matsumoto: "Common Two Lead Wires Sensing System" Tech.Digest of the Transducers '91.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] T.Nagata,H.Terabe,S.Kuwahara,S.sakurai O.Tabata,S.Sugigama,M.Esashi: "Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements." Tech.Digest of the Transducers '91.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 寺部 宏明、桜井止 水城,杉山 進、江刺 正喜: "容量検出方式を用いた高耐圧微圧センサ" Tech,Digest of the 10th Sensor Syposium.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書

URL: 

公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi