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フォトファイブリケーションによるマイクロアクチュエータ

研究課題

研究課題/領域番号 03102001
研究種目

特別推進研究

配分区分補助金
研究機関東北大学

研究代表者

江刺 正喜  東北大学, 工学部, 教授 (20108468)

研究分担者 倉林 徹  東北大学, 工学部, 助手 (90195537)
南 和幸  東北大学, 工学部, 講師 (00229759)
内山 勝  東北大学, 工学部, 教授 (30125504)
庄子 習一  東北大学, 工学部, 助教授 (00171017)
研究期間 (年度) 1991 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
232,000千円 (直接経費: 232,000千円)
1994年度: 30,000千円 (直接経費: 30,000千円)
1993年度: 55,000千円 (直接経費: 55,000千円)
1992年度: 77,000千円 (直接経費: 77,000千円)
1991年度: 70,000千円 (直接経費: 70,000千円)
キーワードマイクロアクチュエータ / ファトファイブリケーション / マイクロマシニング / 静電アクチュエータ / 立体的微細加工 / 静電サーボ / 能動カテーテル / 協調制御 / フォトファブリケーション / マイクロマシーニング / 3次元立体加工 / ビーム加工技術 / フォトファブリーケション / 静電駆動 / 反応性イオンエッチング / ビーム加工 / アクチュエ-タ / フォトファブリケ-ション / 微小電子機械システム / 微小機械 / 3次元加工 / レ-ザ-加工
研究概要

生物と同様に沢山の小さな部品で構成されフレキシブルな、器用で優しい機構システムに関する研究を行っている。フォトファイブリケーションを中心としたマイクロマシニング技術でこのためのマイクロアクチュエータを実現した。その成果を以下に示す。
1.分布型静電マイクロアクチュエータ
多数の要素から成り大きく動き大きな力を発生する静電マイクロアクチュエータを開発した。これには多層分布型とスラスト分布型があり、特に多層分布型は従来に無い筋肉のようなアクチュエータである。
2.立体的一括微細加工技術
分布型静電マイクロアクチュエータを実用的なものにするには立体的な一括微細加工技術が必要である。このため高速で深くエッチングできる低温高速RIEや、低温凝縮投影光CVDなどの技術を開発した。
センサ・アクチュエータの集積化システム
センサや回路およびアクチュエータなどの異なる要素を集積化したシステムをパッケージングなどを工夫して制作した。これには静電サーボ型加速度センサ(集積化静電サーボ型、多軸静電サーボ型)、振動型赤外線センサ、光偏向子、流体制御システムなどがある。
多数のマイクロアクチュエータからなる柔らかく優しく動くシステム
蛇のように自分で曲がって血管内などに入っていく能動カテーテルを作製した。太さは2.8mmと細くフォトリソグラフィによる立体的微細加工で作られ、組み立てを最小限にしている。これに関係して非平面上のパタ-ニング技術や光CVDによる微細組立技術も開発している。
多数のマイクロアクチュエータの協調制御
多数のロボットの協調制御、パラレルロボット、フレキシブルロボットなど、多数のマイクロアクチュエータからなるシステムの制御技術を研究した。

報告書

(5件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 1992 実績報告書
  • 1991 実績報告書
  • 研究成果

    (256件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (256件)

  • [文献書誌] C.Cabuz: "Micrphysical Investigation on Mechanical Strutures Realized in p^+ Silicon" IEEE Journal of Micromechanical Systems. 4(in press). (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi,: "High-rate Directional Deep Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining" Journal of Micromechanics and Microengineering,5,1. 1-6 (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Optical in-situ Monitoring of Silicon Diaphragm Thickness during Wet Etching" Journal of Micromechanics and Microengineering,5. 41-46 (1995)

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  • [文献書誌] K.Jono: "Electrostatic Servo Type Three-axis Silicon Accelerometer" Measurement Science and Technology. 6. 11-15 (1995)

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  • [文献書誌] G.Lim: "Active Catheter with Multi-Link Structure Based on Silicon Micromachining" Proc.of Micro Electro Mechanical Systems '95,Amsterdam. 8. 116-121 (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "レーザーのマイクロマシンへの応用" 平成7年レーザー学会学術講演会 第15回年次大会. 15. 197-200 (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "レーザーマイクロマシ-ニング" 第4回理研シンポジウム. 4. 49-52 (1995)

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  • [文献書誌] 林根培: "能動カテーテルと分布型アクチュエータ" 計測自動制御学会 第6回自律分散 システム・シンポジウム. 6. 109-114 (1995)

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  • [文献書誌] 本間聖人: "マイクロメカニカルデバイスのフェンダウンマウンティング" 電気学会センサ技術研究会. 19-25 (1995)

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  • [文献書誌] N.Asada: "Silicon Micromachined Two-Dimensional Galvano Optical Scanner" IEEE Trans.on Magnetics. 30. 4647-4649 (1994)

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  • [文献書誌] C.Cabuz: "Fabrication and Packaing of a Resonant Infrared Sensor Integrated in Silicon" Sensers and Actuators A. 43. 92-99 (1994)

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  • [文献書誌] H.Henmi: "Vacuum Packaging for Microsensors by Glass-Silicon Andic Bonding" Sensors and Actuators A. 43. 243-248 (1994)

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  • [文献書誌] K.Takashima: "Laser Projetion CVD Using the Low Temperature Condensation Method" Applied Surface Science. 79/80. 366-374 (1994)

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  • [文献書誌] M.Esashi: "Encapsulated Micro Mechanical Sensors" Microsystem Technologies. 1. 2-9 (1994)

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  • [文献書誌] M.Hashimoto: "Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using Electromagnetic Exitation and Capacitive Detection" Micro System Technologies'94.Berlin. 5. 763-772 (1994)

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  • [文献書誌] M.Esashi: "Packaged Micromechanical Sensors" 1994 IEEE Symp.on Emerging Tech.&Factory Automation Tokyo. 1. 30-37 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシ-ニングによる計測技術" 日本機会学会 機械力学・計測制御分門 計測フォーラム. 21-22 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "半導体微細加工技術によるマイクロシステム" 日本機会学会 第7回計算力学講演会. 7. 1-2 (1994)

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  • [文献書誌] S.Maeda: "KrF Excimer Laser Induced Selective Non-Planer Metallization" Proc.of the Micro Electro Mechanical Systems'94,Oiso. 75-80 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim: "Multi-Joint Active Catheter Based on Slilcon Micromachining" Proc.of the 5th Conf. on Sensor Technology.Taejon,Korea. 5. 107-114 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Y.Sim: "Silicon Pneumatic Microvalve" Proc.of the 5th Conf. on Sensor Technology.Taejon,Korea. 5. 115-122 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Hashimoto: "Silicon Resonant Angular Rate.Sensor Using Electromagnetic Excitation and Capacitive Detection" Technical Digest of the 12th Sensor Symposium. 12. 163-166 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Ura: "Silicon Capacitive Accelermeter with Surrounding Mass Structure and Electrostatic Servo Techinique" Technical Digest of the 12th Sensor Symposium. 12. 167-170 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 庄司康則: "歪の少ない陽極接合" 次世代センサ協議会第4回マイクロマシ-ニング研究会. 4. 57-66 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "筋肉に学ぶ分布型静電マイクロアクチュエータ" 第41回応用物理学関係連合講演会. 41. 1322 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 沈東演: "Auスパッタ膜を用いたSi-Si接合" 第12回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集. 12. 66 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 峯田貴: "容量型3軸加速度センサ" 第12回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集. 12. 71 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 林根培: "薄膜ヒ-タを用いた間接加熱による形状記憶合金アクチュエータ" 第12回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集.

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "能動カテーテルの要素技術" 次世代センサ協議会第5回マイクロマシ-ニング研究会. 5. 31-39 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "光マイクロ加工" 第55回応用物理学会学術講演会. 55. 1206 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 水野潤: "角速度と加速度を同時に検出できるシリコン容量型センサ" 自動車技術会1994年秋期大会学術講演会. 205-208 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 内山勝: "単機能マイクロロボット群による物体操作" 第12回日本ロボット学会学術講演会. 12. 549-550 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 深津恵輔: "P^+シリコンの内部摩擦" 次世代センサ協議会第6回マイクロマシ-ニング研究会. 6. 33-37 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 峯田貴: "容量型3軸加速度センサ" 次世代センサ協議会第6回マイクロマシ-ニング研究会. 6. 27-28 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 紺野伸顕: "シリコン振動型センサの解析" 日本機械学会 第7回計算力学講演会. 7. 9-10 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minami: "Optical in-situ Monitoring of Silicon Diaphragm Thickness During Wet Etching" Proc.of Micro Electro Mechanical Systems'94,Oiso. 217-222 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Cabuz: "Fine Frequency Tuning in Resonant Sensors" Proc.of Micro Electro Mechanical Systems'94,Oiso. 245-250 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Jono: "Electrostatic Servo System for Multi-a Axis Accelerometers" Proc.of Micro Electro Mechanical System'94,Oiso. 251-256 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 内山勝: "フレキシブル・マニピュレータの軌道制御" 日本ロボット学会誌. 12. 184-191 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konno: "Vibration Controllability of Flexible Manipulators" Proc.1994 IEEE Int.Conf.on Robotics and Automation. 308-314 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Lopez-Linares: "Controllability of Flexible Manipulators" Force IFAC Symposium on Robot Control. 4. 509-516 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konno: "Vibration Suppression Control of Spatial Flexible Manipulators" Force IFAC Symposium on Robot Control. 4. 517-523 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.M.Svinin: "Coordinated Dynamic Control of a System oh Manipulators Coupled via Flexible Object" Force IFAC Symposium on Robot Control. 4. 1005-1010 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシンのための三次元微細加工技術" 応用物理. 63. 45-48 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシニングの動向" 日本機械学会誌. 97. 286-289 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシン技術" Medical Imaging Technology. 12. 353-359 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "微細加工とマイクロマシン" 電気学会部門誌A. 114. 499-506 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロ加工技術" 溶接学会誌. 63. 449-453 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシ-ニング技術の現状と将来" 日本応用磁気学会誌. 18. 896-902 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 南和幸: "マイクロマシンと光技術" 光技術コンタクト. 32. 314-321 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシン用センサ&アクチュエータ" 省力と自動化. 25. 52-55 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 江刺正喜: "微小機械の医療応用" 先端医療. 4. 24-25 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Shoji: "Microflow Devices and Systems" J.Micromech.and Microeng.4. 157-171 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 庄子習一: "マイクロ流体制御システム" 油空圧技術. 33. 51-57 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Micromachining for Packaged Sensors" Digest of Technical Papers Transducers '93, Yokohama. 260-265 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Takashima: "Laser Projection CVD Using Low Temperature Condensation Method" Abstracts of 1st International Conf. on Phto-Excited Processes andApplications,Sendai. 70 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Laser Processes for Micro Electromechanical Systems" Abstracts of Workshop on Photo-Excited Processes in Engineering,Sendai. 114 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Cabuz: "Highly Sensitive Resonant Infrared Sensor" Digest of Techical Papers Transducers '93, Yokohama. 694-697 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Nishimoto: "Buried Piezoresistive Sensors by means of MeV Ion Implantation" Digest of Techical Paper Transducers '93, Yokohama. 796-799 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Yoshida: "Capacitive Accelerometers without Fracture Risk during Fabrication Processes" Digest of Techical Papers Transducers '93, Yokohama. 814-817 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Low Drift Integrated Capacitive Accelerometer with PLL Servo Techique" Digest of Techical Papers Transducers '93, Yokohama. 826-829 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minami: "Distributed Electrostatic Micro Actuator(DEMA)" Abstracts of Late News Papers Transducers'93, Yokohama. 2-3 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maeda: "Three-Dimetional Microfabrication for Small Catheter" Abstracts of Late News Papers Transducers'93, Yokohama. 16-17 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Silicon micromachining and micromachines" Wear. 168. 181-187 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Simeon P.Patarinski: "Position/Orientation Decoupled Parallel Manipulators" Proceedings of '93 Internatinal Conference on Advanced Robotics,Tokyo,Japan. 153-158 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] L.Cellier: "Reflex Actions:Application to the Collision Avoidance Problem for a Two-Arm Robot" Proceedings of '93 Internatipnal Confernce on Advanced Raobotics,Japan. 611-616 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 内山勝: "力覚に基づいたロボットの行動" 日本ロボット学会誌. 第11巻第8号. 1164-1170 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minami: "YAC Laser-Assisted Etching of Silicon for Fabricating Sensors and Actuators" [Journal of Micromechanics and Microengineering. 3. 81-86 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Yamaguchi: "Control of Distributed Electrostatic Microstructures" [Journal of Micromechanics and Microengineering. 3. 90-95 (1993)

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  • [文献書誌] K.Minami: "Fabrication of Distributed Electrostatic Micro Actuator" IEEE Joural of Micromechanical Systems. 2. 121-127 (1993)

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  • [文献書誌] Y.Matsumoto: "Intergrated Silicon Capacitive Accelerometer with PLL Servo Technique" Sensors and Actuators A. 39. 209-217 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Matsubara: "Stepping electrostatic Microactuator" Digest of Technical Papers Transducers '93, Yokohama. 50-53 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Henmi: "Vacuum Packaging for Microsensors by Glass-Silicon Anodic Bonding" Digest of Techical Papers Transducers '93, Yokohama. 584-587 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Yamaguchi,S.Kawamura,K.Minami.M.Esashi: "Distributed Electrostatic Micro Actuator" Proc.of IEEE Micro Electro Mechanical Systems.(Florida. USA). 18-23 (1993)

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  • [文献書誌] K.Minami,Y.Wakabayashi.K.Yoshimi.M.Yoshida.M.Esashi: "YAG Laser Assited Etching for Releasing Silicon Micro Structure" Proc.of IEEE Micro Electro Mechanical Systems.(Florida. USA). 53-58 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Murakami,Y.Wakabayashi.K.Minami,M.Esashi: "Cryogenic Dry Etching for High Aspect Ratio Microstructures" Proc.of IEEE Micro Electro Mechanical Systems.(Florida. USA). 65-70 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 内山勝: "接触状態のシミュレーション" 日本ロボット学会誌. 第11巻第2号. 201-205 (1993)

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  • [文献書誌] M.Uchiyama: "Symmetric Kinematic formulation and non-master/slave coordinated control of two-arm robots,ADVANCED ROBOTICS" The International Journal of the Robotics Society of Japan. 第7巻第4号. 361-383 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A.Konno: "Configuration-Dependent Controllability of Flexible Manipulators" Preprints of the Third International Symposium on Experimental Robotics, Kyoto,Japan,. 276-282 (1993)

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  • [文献書誌] 川村秀司,南 和幸,江刺正喜: "分布型静電マイクロアクチュエータ" 電気学会論文誌A. 112. 993-998 (1992)

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  • [文献書誌] M.Takinami,K.Minami,M.Esashi: "High-Speed Directional Low-Temperature Dry Etching for Bulk Silicon Micromaching" Tech.Digst of the 11th Sensor Symposium. 15-18 (1992)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Kawamura,K.Minami,M.Esashi: "Fundamental Research of Distributed Electrostatic Micro Actuator" Tech.Digst of the 11th Sensor Symposium. 27-30 (1992)

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  • [文献書誌] S.Shoji: "Micro Total Analysys Systems" Kluwer Academic Publishers, 15 (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "精密制御用ニューアクチュエータ便覧" フジテクノシステム, 12 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "超精密Vol.4" かんと出版, 7 (1994)

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  • [文献書誌] M.Esashi: "Sensors,Vol,7,Mechanical Sensors" VCH Publishers, 26 (1994)

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  • [文献書誌] S.Shoji: "Chemical Sensor Technology,Vol.5" Kodansha LDT., 15 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜 他: "マイクロマシ-ニングとマイクロメカトロニクス" 培風館, 254 (1992)

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  • [文献書誌] M.Yamaguchi, S.Kawamura, K.Minami and M.Esashi: "Distributed Electrostatic Micro Actuator" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'93, Fort Lauderdale. 13-18 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minami, S.Kawamura and M.Esashi: "Fabrication of Distributed Electrostatic Micro Actuator" IEEE Journal of Micromechanical Systems. 2,3. 121-127 (1993)

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  • [文献書誌] M.Yamaguchi, S.Kawamura, K.Minami and M.Esashi: "Control of Distributed Electrostatic Microstructures" Journal of Micromechanics and Microengineering. 3.2. 90-95 (1993)

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  • [文献書誌] T.Matsubara, M.Yamaguchi, K.Minami and M.Esashi: "Stepping Electrostatic Microactuator" Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama. 50-53 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.K.Lee, M.K.Han and M.Esashi: "Electrostatic Linear Microactuators Based on the Inchworm Actuation" Proc. of the IEEE Intn. Conf. on Industrial Technology, Guangzhou, China. 201-205 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minami, H.Tosaka and M.Esashi: "Optical in-situ Monitoring of Silicon Diaphragm Thickness during Wet Etching" Journal of Micromechanics and Microengineering. 5. 41-46 (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Takinami, K.Minami and M.Esashi: "High-Speed Directional Low-Temperature Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining" Technical Digest of the 11th Sensor Symposium. 15-18 (1992)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi, M.Takinami, Y.Wakabayashi and K.Minami: "High-rate Directional Deep Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining" Journal of Micromechanics and Microengineering. 5,1. 5-10 (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Murakami, Y.Wakabayashi, K.Minami and M.Esashi: "Cryogenic Dry Etching for High Aspect Ratio Microstructures" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'93, Fort Lauderdale. 65-70 (1993)

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  • [文献書誌] K.Murakami, K.Minami and M.Esashi: "High Aspect Ratio Fabrication Method Using O_2 RIE and Electroplating" Micro System Technologies'94, Berlin. 763-772 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Tomoura, K.Takashima, K.Minami, M.Esashi and J.Nishizawa: "High Rate Deposition of SiO_2 Membrane by Excimer Laser Enhanced Projection CVD from Compounds at Low Temperature" Proceedings of the 14th Symposium on Dry Processes. 157-161 (1992)

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  • [文献書誌] K.Takashima, K.Minami, M.Esashi and J.Nishizawa: "Laser Projection CVD Using the Low Temperature Condensation Method" Applied Surface Science. 79/80. 366-374 (1994)

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  • [文献書誌] M.Esashi and K.Minami: "Packaged Micromechanical Sensors" 1994 IEEE Symposium on Emerging Technology & Factory Automation, Tokyo. 30-37 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Encapsulated Micro Mechanical Sensors" Microsystem Technologies. 1,1. 2-9 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Complex Micromechanical Structures by Low Temperature Bonding" Proc. of the second Intern. Symp.on Semiconductor Wafer Bonding : Science, Technology, and Application, The Electrochemical Soc.348-362 (1993)

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  • [文献書誌] M.Esashi: "Micromachining for Packaged Sensors" Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama. 260-265 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi, N.Ura and Y.Matsumoto: "Anodic Bonding for Integrated Capacitive Sensors" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'92, Travemunde. 43-48 (1992)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto and M.Esashi: "An Integrated Capacitive Absolute Pressure Sensor" Electronics and Communications in Japan, Part 2. 76,1. 93-106 (1992)

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  • [文献書誌] K.Minami, Y.Wakabayashi, T.Matsubara, K.Yoshimi, M.Yoshida, M.Esashi: "YAG Laser Assisted Etching for Releasing Silicon Micro Structure" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'93, Fort Lauderdale. 53-58 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Minami, Y.Wakabayashi, M.Yoshida, K.Watanabe and M.Esashi: "YAG Laser-Assisted Etching of Silicon for Fabricating Sensors and Actuators" Journal of Micromechanics and Microengineering. 3,2. 81-86 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Henmi, S.Shoji, Y.Shoji, K.Yoshimi and M.Esashi: "Vacuum Packaging for Microsensors by Glass-Silicon Anodic Bonding" Sensors and Actuators A. 43. 243-248 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Moriuchi, K.Minami and M.Esashi: "Cavity Pressure Control for Critical Dumping of Packaged Micro Mechanical Devices" Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm. A6. (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi: "Sensors for Measuring Acceleration" Sensors, Vol.7, Mechanical Sensors (H.H.Bau ed.) VCH. 332-358 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Shirai, M.Esashi and N.Ura: "A Two-Wire Silicon Capacitive Accelerometer" Electronics and Communications in Japan, Part 2. 76,4. 73-78 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Yoshida, T.Nomura, T.Mineta and M.Esashi: "Capacitive Accelerometers without Fracture Risk during Fabrication Processes" Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama. 814-817 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Nagata.Y.Fukaya, Y.Hattori, T.Sato, S.Sakurai and M.Esashi: "A CMOS Integrated Capacitive Accelerometer with a Self-Test Function" Technical Digest of the 11th Sensor Symposium. 44-46 (1992)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Ura, T.Nagata, S.Sakurai and M.Esashi: "Silicon Capacitive Accelerometer with Surrounding Mass Structure and Electrostatic Servo Techinique" Technical Digest of the 12th Sensor Symposium. 167-170 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto and M.Esashi: "Integrated Capacitive Accelerometer with Novel Electrostatic Force Balancing" Technical Digest of the 11th Sensor Symposium. 47-50 (1992)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto and M.Esashi: "Low Drift Integrated Capacitive Accelerometer with PLL Servo Technique" Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama. 826-829 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Matsumoto and M.Esashi: "Integrated Silicon Capacitive Accelerometer with PLL Servo Technique" Sensors and Actuators. A,39. 209-217 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Shoji, M.Yoshida, K.Minami and M.Esashi: "Diode Integrated Capacitive Accelerometer with Reduced Structural Distortion" Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm. C4. (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Jono, K.Minami and M.Esashi: "Electrostatic Servo Type Three-axis Silicon Accelerometer" Measurement Science and Technology. 6,1. 11-15 (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Mineta, S.Kobayashi, Z.Watanabe, S.Kanauchi, I.Nakagawa and M.Esashi: "Three-Axis Capacitive Accelerometer with Uniform Axial Sensitivities" Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm. C8. (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.Mizuno, C.Cabuz, K.Minami, K.Nottmeyer, T.Kobayashi and M.Esashi: "Fabrication and Characterization of a Silicon Capacitives Structure for Simultaneous Detection of Acceleration and Angular Rate" Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm. PC12. (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yoshimi, K.Minami, Y.Wakabayashi and M.Esashi: "Packaging of Resonant Sensors" Technical Digest of the 11th Sensor Symposium. 35-38 (1992)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Cabuz, S.Shoji, K.Fukatsu, E.Cabuz, K.Minami and M.Esashi: "Highly Sensitive Resonant Infrared Sensor" Digest of Technical Papers Transducers'93 Yokohama. 694-697 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Cabuz, S.Shoji, K.Fukatsu, E.Cabuz, K.Minami and M.Esashi: "Fabrication and Packaging of a Resonant Infrared Sensor Integrated in Silicon" Sensors and Actuators. A,43. 92-99 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Cabuz, K.Fukatsu, H.Hashimoto, S.Shoji, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi: "Fine Frequency Tuning in Resonant Sensors" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'94, Oiso. 245-250 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] C.Cabuz, K.Fukatsu, T.Kurabayashi and M.Esashi: "Microphysical Investigation on Mechanical Structures Realized in p^+ Silicon" IEEE Journal of Micromechanical Systems. 5 (in press). (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Hashimoto, C.Cabuz, K.Minami and M.Esashi: "Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using Electromagnetic Exitation and Capacitive Detection" Micro System Technologies'94, Berlin. 763-772 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Asada, H.Matsuki, K.Minami and M.Esashi: "Silicon Micromachined Two-Dimensional Galvano Optical Scanner" IEEE Trans. on Magnetics. 30,6. 4647-4649 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Y.Sim, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi: "Silicon Pneumatic Microvalve" Proc. of the 5th Conf.on Sensor Technology, Taejon, Korea. 115-122 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] D.Y.Sim, T.Kurabayashi and M.Esashi: "Bakable Silicon Pneumatic Microvalve" Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm. B3. (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi, H.Kawai and K.Yoshimi: "Differential Output Type Microflow Sensor" Electronics and Communications in Japan, Part 2. 76,8. 83-87 (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Shoji and M.Esashi: "Micro Flow Devices" 5th International Symposium on Micro Machine and Human Science, Nagoya. 89-95 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim, K.Minami, M.Sugihara, M.Uchiyama and M.Esashi: "Multi-Joint Active Catheter Based on Silicon Micromachining" Proc.of the 5th Conf.on Sensor Technology, Taejon, Korea. 107-114 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Lim, K.Minami, M.Sugihara, M.Uchiyama and M.Esashi: "Active Catheter with Multi-Link Structure Based on Silicon Micromachining" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'95, Amsterdam. 116-121 (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Sugihara, K.Minami and M.Esashi: "Micro Assembly by High Rate CVD Using CW Laser" Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm. A4. (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maeda, K.Minami and M.Esashi: "KrF Excimer Laser Induced Selective Non-Planer Metallization" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'94, Oiso. 75-80 (1994)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Esashi, K.Minami and J.Nishizawa: "Laser Processes for Micro Electromechanical Systems" Abstracts of Workshop on Photo-Excited Processes in Engineering, Sendai. 114. (1993)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Maeda, K.Minami and M.Esashi: "Eximer Laser Induced CVD and its Application to the Selective Non-planer Metallization" Journal of Micromechanics and Microengineering. 5 (in press). (1995)

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      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Uchiyama, X.Delebarre, H.Amada and T.Kitano: "Optimum Internal Force Control for Two Cooperative Robots to Carry an Object" Proc. of the First World Automation Congress (WAC '94), Maui, TSI Press.111-116 (1994)

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  • [文献書誌] M.M.Svinin and M.Uchiyama: "Cartesian-Level Control Strategy for a System of Manipulators Coupled Through a Flexible Object" Proc. of the IEEE/RSJ/GI Int.Conf. on Intelligent Robots and Systems, Munich. 687-694 (1994)

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  • [文献書誌] M.Uchiyama, K.Iimura, F.Pierrot, P.Dauchez, K.Unno and O.Toyama: "A New Design of a Very Fast 6-DOF Parallel Robot" Proc.23rd Int.Symp.on Industrial Robots, Barcelona. 771-776 (1992)

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  • [文献書誌] M.Uchiyama, K.Masukawa and T.Sadotomo: "Experiment on Dynamic Control of a Hexa-type Parallel Robot" Proc. of the First World Automation Congress (WAC '94), Maui, TSI Press.281-286 (1994)

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  • [文献書誌] S.Patarinski and M.Uchiyama: "Position/Orientation Decoupled Parallel Manipulators" Proc. of '93 Int.Conf.on Advanced Robotics, Tokyo. 153-158 (1993)

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  • [文献書誌] M.Svinin and M.Uchiyama: "Analytical Models for Designing Force Sensors" Proc. 1994 IEEE Int.Conf.on Robotics and Automation, San Diego. 1778-1783 (1994)

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  • [文献書誌] A.Konno, M.Uchiyama, Y.Kito and M.Murakami: "Configuration-Dependent Controllability of Flexible Manipulators" Experimental Robotics III : The 3rd Int.Symp., Kyoto, Springer-Verlag. 531-544 (1994)

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  • [文献書誌] M.Svinin and M.Uchiyama: "Contribution to Inverse Kinematics of Flexible Robot Arms" JSME Int.J., Ser.C : Dynamics, Control, Robotics, Design and Manufacturing. 37,4. 755-764 (1994)

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  • [文献書誌] P.Bhatia and M.Uchiyama: "Shared Intelligence for Telerobots with Time Delay : Theory and Human Interface with Local Intelligence" Proc.1994 IEEE Int.Conf.on Robotics and Automation, San Diego. 1441-1448 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "筋肉に学ぶ分布型静電マイクロアクチュエータ" 第41回応用生物学関係連合講演会. 41. 1322 (1994)

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  • [文献書誌] S.K.Lee: "Electrostatic Linear Microactuators Based on the Inchworm Actuation" IEEE Intn.Conf.on Industrial Techology. (1994)

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  • [文献書誌] M.Esashi: "High-rate Directional Deep Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining" J.Micromechanics and Microengineering. 5. 1-6 (1995)

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  • [文献書誌] 大津雅人: "低表面張力液体を用いた自己支持薄膜構造の乾燥" Technical Digest of the 13th Sensor Symposium. 12(発表予定). (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシニングの動向" 日本機械学会誌. 97. 286-289 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "微細加工とマイクロマシン" 電気学会部門誌A. 114. 499-506 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロ加工技術" 溶接学会誌. 63. 449-453 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシーニング技術の現状と将来" 日本応用磁気学会. 18. 896-902 (1994)

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  • [文献書誌] N.Ura: "Silicon Capacitive Accelerometer with Surrounding Mass Structure and Electrostatic Servo Techinique" Techical Digest of the 12th Sensor Symposium. 12. 167-170 (1994)

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  • [文献書誌] Y.Shoji: "Diode Intergrated Capacitive Accelerometer with Reduced Structural Distortion" Transducers′95. 8(発表予定). (1995)

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  • [文献書誌] K.Jono: "Electrostatic Servo Type Three-axis Silicon Accelerometer" Measurement Science and Technology22GD11:6. 11-15 (1995)

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  • [文献書誌] 峯田貴: "容量型3軸加速センサ" 第12回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集. 12. 71 (1994)

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  • [文献書誌] 峯田貴: "容量型3軸加速センサ" 次世代センサ協議会第6回マイクロマシーニング研究会. 6. 27-28 (1994)

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  • [文献書誌] T.Mineta: "Three-axis Capacitive Accelerometer with Uniform Axial Sensitivties" Transducers′95. 8(発表予定). (1995)

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  • [文献書誌] 水野潤: "角速度と加速度を同時に検出できるシリコン容量型センサ" 自動車技術会1994年秋期大会学術講演会. 205-208 (1994)

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  • [文献書誌] J.Mizuno: "Fabrication and Characterization of a Silicon Structure for Simultaneous Detection of Acceleration and Angular Rate 21GC16:Transducers′95" 8(発表予定). (1995)

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  • [文献書誌] 橋本浩: "振動式加速センサ" Technical Digest of the 13th Sensor Symposium. 13(発表予定). (1995)

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  • [文献書誌] M.Hashimoto: "Silicon Resonant Anguiar Rate Sensor Using Electromgnetic Excitation and Capacitive Detection" Technical Digest of the 12th Sensor Symposium. 12. 163-166 (1994)

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  • [文献書誌] M.Esashi: "Packaged Micromechanicai Sensors" 1994IEEE Symp.on Emerging Tech.& Factory Automation.Tokyo. 1. 30-37 (1994)

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  • [文献書誌] 沈東演: "Auスパッタ膜を用いたSi-Si接合" 第12回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集. 12. 66 (1994)

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  • [文献書誌] D.Y.Sim: "Silicon Pneumatic Microvalve" Proc.おf the 5th Conf.on Sensor Technology,Taejon,Korea. 5. 115-122 (1994)

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  • [文献書誌] D.Y.Sim: "Bakabie Silicon Pneumatic Microvalve" Transducers′95. 8(発表予定). (1995)

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  • [文献書誌] S.Shoji: "Microflow Devices and Systems" J.Micromech.and Microeng. 4. 157-171 (1994)

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  • [文献書誌] 庄子習一: "マイクロ流体制御システム" 油空圧技術. 33. 51-57 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシーニングによる計測技術" 日本機械学会 機械力学、測定制御部門計測フォーラム. 21-22 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシン用センサ&アクチュエータ" 省力と自動化. 25. 52-55 (1994)

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  • [文献書誌] 林根培: "薄膜ヒータを用いた間接加熱による形状記憶合金アクチュエータ" 第12回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集. 12. 78 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "能動力テーテルの要素技術" 次世代センサ協議会第5回マイクロマーシング研究会. 5. 31-39 (1994)

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  • [文献書誌] G.Lim: "Multi-Joint Active Catheter Based on Silicon Micromachining" Proc.of the 5th Conf.on Sensor Technology.Taejon,Korea. 5. 107-114 (1994)

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  • [文献書誌] G.Lim: "Active Catheter with Multi-Link Structure Based on Silicon Micromachining" Proc.of the Micro Electro Mechanical Systems′95,Amsterdam. 8. 116-121 (1995)

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  • [文献書誌] 林根培: "能動力テーテルと分布型アクチュエータ" 計測自動制御学会 第6回自律分散システム、シンポジウム. 6. 109-114 (1995)

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  • [文献書誌] 林根培: "マイクロマシニング技術による能動力テーテル" 第34回日本エム.イー学会大会. 34(発表予定). (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "半導体微細加工技術によるマイクロシステム" 日本機械学会 第7回計算力学講演会. 7. 1-2 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "マイクロマシン技術" Medical Lmaging Technology. 12. 353-359 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "微小機械の医療応用" 先端医療. 4. 24-25 (1994)

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  • [文献書誌] K.Takashima: "Laser Projection CVD Using the Low Temperature Condensation Method" Applied Surhace Science. 79/80. 366-374 (1994)

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  • [文献書誌] S.Maeda: "Eximer Laser Induced CVD and Its Application TO the Selective Nonlaner Metallization" J.Micromechanics and Microengineering. 5(印刷中). (1995)

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  • [文献書誌] M.Suguhara: "Microssmbiy by High Rate CVD Using CW UV Laser" Transducers′95. 8(印刷中). (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "光マイクロ加工" 第55回応用物理学会学術講演会. 55. 1206 (1994)

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  • [文献書誌] 南和幸: "マイクロマシンと光技術" 光技術コンタクト. 32. 314-321 (1994)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "レーザーのマイクロマシンへの応用" 平成7年レーザー学会学術講演会第15回年次大会. 15. 197-200 (1995)

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  • [文献書誌] 江刺正喜: "レーザーマイクロマシーニング" 第4回理研シンポジウム. 4. 49-52 (1995)

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  • [文献書誌] M.Hashimoto: "Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using Electro-magnetic Exitationand Capacitive Detection" Micro System Technologies′94,Berlin. 63-772 (1994)

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  • [文献書誌] K.Minami: "Optical in-situ Monitoring of Silicon Diaphragm Thickness During Wet Etching" Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'94,Oiso. 217-222 (1994)

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  • [文献書誌] 内山勝: "接触状態のシミュレーション" 日本ロボット学会誌. 第11巻第2号. 201-205 (1993)

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  • [文献書誌] M.Uchiyama: "Symmetric kinematic formulation and non-master/slave coordinated control of two-arm robots,ADVANCED ROBOTICS" The International Journal of the Robotics Society of Japan. 第7巻第4号. 361-383 (1993)

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  • [文献書誌] Simeon P.Patarinski: "Position/Orientation Decoupled Parallel Manipulators" Proceedings of '93 International Conference on Advanced Robotics,Tokyo,Japan. 153-158 (1993)

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  • [文献書誌] 川村 秀司,南 和幸,江刺 正喜: "分布型静電マイクロアクチュエータ" 電気学会論文誌A. 112. 993-998 (1992)

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公開日: 1991-04-01   更新日: 2016-04-21  

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