| 研究課題/領域番号 |
03102001
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| 研究種目 |
特別推進研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
江刺 正喜 東北大学, 工学部, 教授 (20108468)
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| 研究分担者 |
倉林 徹 東北大学, 工学部, 助手 (90195537)
南 和幸 東北大学, 工学部, 講師 (00229759)
内山 勝 東北大学, 工学部, 教授 (30125504)
庄子 習一 東北大学, 工学部, 助教授 (00171017)
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| 研究期間 (年度) |
1991 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
232,000千円 (直接経費: 232,000千円)
1994年度: 30,000千円 (直接経費: 30,000千円)
1993年度: 55,000千円 (直接経費: 55,000千円)
1992年度: 77,000千円 (直接経費: 77,000千円)
1991年度: 70,000千円 (直接経費: 70,000千円)
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| キーワード | マイクロアクチュエータ / ファトファイブリケーション / マイクロマシニング / 静電アクチュエータ / 立体的微細加工 / 静電サーボ / 能動カテーテル / 協調制御 / フォトファブリケーション / マイクロマシーニング / 3次元立体加工 / ビーム加工技術 / フォトファブリーケション / 静電駆動 / 反応性イオンエッチング / ビーム加工 / アクチュエ-タ / フォトファブリケ-ション / 微小電子機械システム / 微小機械 / 3次元加工 / レ-ザ-加工 |
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| 研究概要 |
生物と同様に沢山の小さな部品で構成されフレキシブルな、器用で優しい機構システムに関する研究を行っている。フォトファイブリケーションを中心としたマイクロマシニング技術でこのためのマイクロアクチュエータを実現した。その成果を以下に示す。
1.分布型静電マイクロアクチュエータ
多数の要素から成り大きく動き大きな力を発生する静電マイクロアクチュエータを開発した。これには多層分布型とスラスト分布型があり、特に多層分布型は従来に無い筋肉のようなアクチュエータである。
2.立体的一括微細加工技術
分布型静電マイクロアクチュエータを実用的なものにするには立体的な一括微細加工技術が必要である。このため高速で深くエッチングできる低温高速RIEや、低温凝縮投影光CVDなどの技術を開発した。
センサ・アクチュエータの集積化システム
センサや回路およびアクチュエータなどの異なる要素を集積化したシステムをパッケージングなどを工夫して制作した。これには静電サーボ型加速度センサ(集積化静電サーボ型、多軸静電サーボ型)、振動型赤外線センサ、光偏向子、流体制御システムなどがある。
多数のマイクロアクチュエータからなる柔らかく優しく動くシステム
蛇のように自分で曲がって血管内などに入っていく能動カテーテルを作製した。太さは2.8mmと細くフォトリソグラフィによる立体的微細加工で作られ、組み立てを最小限にしている。これに関係して非平面上のパタ-ニング技術や光CVDによる微細組立技術も開発している。
多数のマイクロアクチュエータの協調制御
多数のロボットの協調制御、パラレルロボット、フレキシブルロボットなど、多数のマイクロアクチュエータからなるシステムの制御技術を研究した。
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