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自己組織化シリコン系量子ドットにおけるスーパーアトム構造の創成と電子状態制御

研究課題

研究課題/領域番号 15206035
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関広島大学

研究代表者

宮崎 誠一  広島大学, 大学院・先端物質科学研究科, 教授 (70190759)

研究分担者 東 清一郎  広島大学, 大学院・先端物質科学研究科, 助教授 (30363047)
村上 秀樹  広島大学, 大学院・先端物質科学研究科, 助手 (70314739)
香野 淳  福岡大学, 理学部, 助教授 (30284160)
研究期間 (年度) 2003 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
49,010千円 (直接経費: 37,700千円、間接経費: 11,310千円)
2005年度: 11,960千円 (直接経費: 9,200千円、間接経費: 2,760千円)
2004年度: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
2003年度: 18,590千円 (直接経費: 14,300千円、間接経費: 4,290千円)
キーワード量子ドット / 自己組織化
研究概要

半導体ナノ結晶内に室温で電子・正孔の空間分離・閉じ込めを可能にする有殻・有芯のポテンシャル構造(擬似スーパーアトム構造)を実現し、均質な量子ドットに見られない固有な物性・機能を明らかにする。また、III族およびIV族不純物をデルタドーピングし、電子状態制御の指針を得る。
Siナノ結晶上へのGeの選択成長およびGeナノ結晶上へのSiの選択成長を応用して、Geコアを持ったSiナノ結晶が形成できることを明らかにすると共に、導電性AFM探針を使った電子注入/放出後の表面電位像および電流像観察において、電子および正孔は、ナノ結晶内のエネルギーバンド構造を反映して、それぞれSiクラッドおよびGeコアに安定保持されることを明らかにした。Si系量子ドットへのPおよびBのデルタドーピングによって、電子注入/放出に必要な電位が、バンドギャップに相当する程度変化することを明らかにした。また、Pドープの場合は、伝導電子放出に伴うPドナーの顕在化による正帯電が安定保持され、Bドープの場合は、電子注入・再結合に伴うBアクセプタによる負帯電が安定であることを明らかにした。更に高密度立体集積したSi系量子ドットにおいて、局所注入した電子が、時間経過と共に隣接量子ドットへ分散する様子を明らかにした。Si量子ドット上へのNi蒸着量を制御して形成したNiシリサイドナノドットにおいて、同サイズのSi量子ドットに比べて、荷電状態が安定保持できることを明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (87件)

すべて 2006 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (81件) 産業財産権 (1件) 文献書誌 (5件)

  • [雑誌論文] Self-assembling Formation of Silicon-Based Quantum Dots and Control of Their Electric Charged States for Multiple-Valued Memories2006

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Collected Abst. of 2006 RCIQE Int.Seminar for 21st Century COE Program : "Quantum Nanoelectronics for Meme-Media-Based Information Technologies(IV)"

      ページ: 41-44

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Si Quantum Dots for Floating Gate MOS Devices2006

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara
    • 雑誌名

      Trans.of the Materials Research Society of Japan 31-1

      ページ: 133-136

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Multistep Electron Charging to and Discharging from Silicon-Quantum-Dots Floating Gate in nMOSFETs2006

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai
    • 雑誌名

      Trans.of the Materials Research Society of Japan 31-1

      ページ: 137-140

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Experimental Evidence of Coulombic Interaction among Stored Charges in Single Si Dot as Detected by AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, Y.Darma, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      2005 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Seoul, Korea, June 28-30, 2005) [A9.4]

      ページ: 177-180

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of MaltiStep Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2005

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, Y.Shimizu, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of The 2005 Int. Conf.on Solid State Devices and Materials [G-2-6]

      ページ: 174-175

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Decay Characteristics of Electronic Charged States of Si Quantum Dots as Evaluated by an AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [25P2-32]

      ページ: 294-295

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of P-doped Si Quantum Dots Using AFM/Kelvin Probe2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, J.Xu, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [23D-6]

      ページ: 32-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Decay Characteristics of Electronic Charged States of Si Quantum Dots as Evaluated by an AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 4th Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Sep. 16, 2005, Hiroshima) [P-40]

      ページ: 112-113

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of P-doped Si Quantum Dots Using AFM/Kelvin Probe2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 4th Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Sep. 16, 2005, Hiroshima) [P-34]

      ページ: 100-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Multi Step Electron Chargeing to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2005

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, Y.Shimizu, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 4th Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Sep. 16, 2005, Hiroshima) [P-39]

      ページ: 110-111

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Control of the nucleation density of Si quantum dots by remote hydrogen plasma treatment2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci. 244・1-4

      ページ: 75-78

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of germanium nanocrystallites grown on SiO_2 by a conductive AFM probe technique2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara
    • 雑誌名

      IEICE Trans.on Electronics E88-C・4

      ページ: 705-708

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Charging and Discharging Characteristics of Stacked Floating Gates of Silicon Quantum Dots2005

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi
    • 雑誌名

      IEICE Trans.on Electronics E88-C・4

      ページ: 709-712

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of Silicon Nanocrystals as a Floating Gate in MOS Structures2005

    • 著者名/発表者名
      S.Mayazaki
    • 雑誌名

      Mat.Res.Soc.Symp.Proc 830

      ページ: 249-254

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Experimental Evidence of Coulombic Interaction among Stored Charges in Single Si Dot as Detected by AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani
    • 雑誌名

      Ext.Abst.of The Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices

      ページ: 177-180

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of MaltiStep Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2005

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai
    • 雑誌名

      Ext.Abst.of The2005 Int.Conf.on Solid State Devices and Materials

      ページ: 174-175

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of P-doped Si Quantum Dots Using AFM/Kelvin Probe2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara
    • 雑誌名

      Abst.of The Fourth Int.conf.on Silicon Epitaxy and Heterostructures

      ページ: 32-33

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Control of Charged States of Silicon-Based Quantum Dots and Its Application to Floating Gate MOS Memorie2005

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst.of First Int.Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics

      ページ: 39-40

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Control of Discrete Charged States in Si-Based Quantum Dots and Its Application to Floating Gate Memories2005

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Proc.of Int.Symp.on Surface Science and Nanotechnology

      ページ: 541-541

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Self-Assembling Formation of Si-based Quantum Dots and Control of Their Electric Charged States for Multi-valued Memories2005

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      SPIE conference on Nanofabrication : Technologies, Devices, and Applications II (SA111) at Optics East

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Decay Characteristics of Electronic Charged States of Si Quantum Dots as Evaluated by an AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani
    • 雑誌名

      Abst.of The Fourth Int.conf.on Silicon Epitaxy and Heterostructures

      ページ: 294-295

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Self-Assembling Formation of Si Quantum Dots and its Application to Floating Gate MOS Devices2005

    • 著者名/発表者名
      M.Ikeda
    • 雑誌名

      Abst.of MRS-J, Special Symposium on"Evolution and Outlook of Oxide Nonvolatile Memories"

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 自己組織化シリコン系量子ドットを用いた次世代・機能メモリ開発2005

    • 著者名/発表者名
      宮崎誠一
    • 雑誌名

      月刊マテリアルステージ 5-3

      ページ: 18-24

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] シリコン系量子ドットのフローティングゲートMOSデバイス応用2005

    • 著者名/発表者名
      宮崎誠一
    • 雑誌名

      表面技術 56-12

      ページ: 162-168

    • NAID

      10016921340

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Control of the nucleation density of si quantum dots by remote hydrogen plasma treatment2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Deki, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 244/1-4

      ページ: 75-78

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Charging and Discharging Characteristics of Stacked Floating Gates of Silicon Quantum Dots2005

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      IEICE Trans.on Electronics E88-C/4(In press)

    • NAID

      110003175632

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of Germanium Nanocrystallites Grown on SiO_2 by a Conductive AFM Probe Technique2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices (Nagasaki, June 30-July 2, 2004)

    • NAID

      110003175633

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Charging and Discharging Characteristics of Stacked Floating Gates of Silicon Quantum Dots2004

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices [H-2-4]

      ページ: 126-127

    • NAID

      110003175632

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories2004

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials [H-2-4]

      ページ: 126-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Characterization of Electronic Transport in Microcrystalline Germanium Thin Films by Atomic Force Microscopy Using a Conducting Probr2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing [P-19]

      ページ: 54-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Multiple-Step Electron Charging in Si Quantum-Dot Floating Gate nMOSFETs2004

    • 著者名/発表者名
      M.Ikeda, Y.Shimizu, T.Shibaguchi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing [P-17]

      ページ: 50-51

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of Single Si Quantum Dots with Ge Core Using AFM/Kelvin Probe Technique2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, K.Takeuchi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing [P-18]

      ページ: 52-53

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in SiO_2 by Combination of Low-Pressure CVD with Remote Plasma Treatments2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing [P-35]

      ページ: 90-91

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Charged States of Silicon-Based Quantum Dots and Its Application to Floating Gate MOS Memories2004

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing(Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-31]

      ページ: 82-83

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories2004

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing(Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-40]

      ページ: 100-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Charging and Discharging Characterization of Stacked Floating Gates of Silicon Quantum Dots2004

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing(Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-39]

      ページ: 98-99

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Electronic Transport through Si Dot with Ge Core as Detected by AFM Conductive Probe2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing(Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-34]

      ページ: 88-89

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Control of the Nucleation Density of Si Quantum Dots by Remote Hydrogen Plasma Treatment2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Deki, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of 12th Int. conf. on Solid Films and Surfaces(Hamamatsu, June 21-25, 2004) [A5-2]

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of Silicon Nanocrystals as a Floating Gate in MOS Structures2004

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki, T.Shibaguchi, M.Ikeda
    • 雑誌名

      Abst. of 2004 MRS Fall Meeting(Boston, U.S.A., Nov. 29-Dec. 3,2004)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Charged States of Si Quantum Dots Floating Gate in MOS Structures2004

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki, T.Shibaguchi, M.Ikeda
    • 雑誌名

      Abst. of Electrochemical Society-Int. Symp. on Nanoscale Devices and Materials (Hawai, Oct. 3-8, 2004)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Influence of Thermal Annealing on Compositional Mixing and Crystallinity of Highly Selective Grown Si Dots with Ge Core2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, Hideki Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 244/1-4

      ページ: 156-159

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Multiple-Step Electron Charging in Si Quantum Dots Floating Gate MOS Memories2003

    • 著者名/発表者名
      M.Ikeda, Y.Shimizu, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Mar. 17, 2003, Hiroshima)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self-Assembling of Si Quantum Dots and Their Application to Memory Devices2003

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Mar. 17, 2003, Hiroshima)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electronic Charged State of Single Si Quantum Dots with and without Ge core as Detected by AFM/Kelvin Probe Technique2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, K.Takeuchi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Mar. 17, 2003, Hiroshima)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Infuence of Thermal Annealing on Compotional Mixing and Crystallinity of Highly-Selective Grown Si Dots with Ge Core2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Int. SiGe Technology and Device Meeting (Nagoya, Jan. 15-17, 2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Characterization of Electronic Transport in Microcrystalline Germanium Thin Films by Atomic Force Microscopy Using a Conducting Probe2003

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Proc. 2003 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Busan, June 30-July2, 2003)

    • NAID

      110003175342

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Charging Characteristics in MOSFETs with a Si-Quantum-Dots floating Gate2003

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi, Y.Shimizu, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Proc. 2003 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Busan, June 30-July2, 2003)

    • NAID

      110003175365

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermal Stability of Nanometer Dot Consisting of Si Clad and Ge Core as Detected by Raman and Photoemission Spectroscopy2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Proc. 2003 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Busan, June 30-July2, 2003)

    • NAID

      110003175364

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Multiple-Step Electron Charging in Si Quantum-Dot Floating Gate nMOSFETs2003

    • 著者名/発表者名
      M.Ikeda, Y.Shimizu, T.Shibaguchi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2003 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (Tokyo, September 16-18, 2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electronic Charged States of Single Si Quantum Dots with Ge Core as Detected by AFM/Kelviin Probe Technique2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, K.Takeuchi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2003 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (Tokyo, September 16-18, 2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Transport Through Si Dot with Ge Core Using AFM Conducting Probe2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Dig. of Papers 2003 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (Tokyo, October 29-31,2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in SiO_2 by Combination of Low-Pressure CVD and Remote Plasma Treatments2003

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Dig. of Papers 2003 Int. Microprocesses and Nanotechnol. Conf. (Tokyo, October 27-29,2004)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Multiple-Step Electron Charging in Si Quantum Dots Floating Gate MOS Memories

    • 著者名/発表者名
      M.Ikeda, Y.Shimizu, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Mar. 17, 2003, Hiroshima) [P-17]

      ページ: 42-43

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self-Assembling of Si Quantum Dots and Their Application to Memory Devices

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Mar. 17, 2003, Hiroshima) [P-16]

      ページ: 40-41

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electronic Charged State of Single Si Quantum Dots with and without Ge core as Detected by AFM/Kelvin Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, K.Takeuchi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Mar. 17, 2003, Hiroshima) [P-18]

      ページ: 44-45

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Infuence of Thermal Annealing on Compotional Mixing and Crystallinity of Highly-Selective Grown Si Dots with Ge Core

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 1st Int. SiGe Technology and Device Meeting (Nagoya, Jan. 15-17,2003) [P2-45]

      ページ: 209-210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Characterization of Electronic Transport in Microcrystalline Germanium Thin Films by Atomic Force Microscopy Using a Conducting Probe

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Nakagawa, M.Ikeda, H..Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Proc. 2003 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Busan, June 30-July2, 2003) [2.4]

      ページ: 37-40

    • NAID

      110003175342

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Charging Characteristics in MOSFETs with a Si-Quantum-Dots Floating Gate

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi, Y.Shimizu, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Proc. 2003 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Busan, June 30-July2, 2003) [7.4]

      ページ: 151-154

    • NAID

      110003175365

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermal Stability of Nanometer Dot Consisting of Si Clad and Ge Core as Detected by Raman and Photoemission Spectroscopy

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Proc. 2003 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Busan, June 30-July2, 2003) [7.3]

      ページ: 145-149

    • NAID

      110003175364

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Multiple-Step Electron Charging in Si Quantum-Dot Floating Gate nMOSFETs

    • 著者名/発表者名
      M.Ikeda, Y.Shimizu, T.Shibaguchi H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2003 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (Tokyo, September 16-18, 2003) [E-9-1]

      ページ: 846-847

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electronic Charged States of Single Si Quantum Dots with Ge Core as Detected by AFM/Kelviin Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, K.Takeuchi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2003 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (Tokyo, September 16-18, 2003) [E-3-3]

      ページ: 300-301

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Transport Through Si Dot with Ge Core Using AFM Conducting Probe

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Dig. of Papers 2003 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (Tokyo, October 29-31, 2003) [29B-2-3]

      ページ: 22-23

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in Si0_2 by Combination of Low-Pressure CVD and Remote Plasma Treatments

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S., Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Dig. of Papers 2003 Int. Microprocesses and Nanotechnol. Conf. (Tokyo, October 27-29, 2004) [28P-6-68L]

      ページ: 216-217

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Germanium Nanocrystallites Grown on SiO_2 by a Conductive AFM Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices (Nagasaki, June 30-July 2, 2004) [A10.5]

      ページ: 277-280

    • NAID

      110003175633

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Charging and Discharging Characteristics of Stacked Floating Gates of Silicon Quantum Dots

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices (Nagasaki, June 30-July 2, 2004) [A10.4]

      ページ: 273-276

    • NAID

      110003175632

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot. Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (Tokyo, September 15-17, 2004) [H-2-4]

      ページ: 126-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Characterization of Electronic Transport in Microcrystalline Germanium Thin Films by Atomic Force Microscopy Using a Conducting Probr

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara.Y.Okamoto, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Jan. 30, 2004, Hiroshima) [P-19]

      ページ: 54-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Multiple-Step Electron Charging in Si Quantum-Dot Floating Gate nMOSFETs

    • 著者名/発表者名
      M.Ikeda, Y.Shimizu, T.Shibaguchi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Jan. 30, 2004, Hiroshima) [P-17]

      ページ: 50-51

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of Single Si Quantum Dots with Ge Core Using AFM/Kelvin Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, K.Takeuchi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Jan. 30, 2004, Hiroshima) [P-18]

      ページ: 52-53

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in Si02 by Combination of Low-Pressure CVD with Remote Plasma Treatments

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-35]

      ページ: 90-91

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Charged States of Silicon-Based Quantum Dots and Its Application to Floating Gate MOS Memories

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-31]

      ページ: 82-83

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-40]

      ページ: 100-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Charging and Discharging Characterization of Stacked Floating Gates of Silicon Quantum Dots

    • 著者名/発表者名
      T.Shibaguchi, M.Ikeda, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-39]

      ページ: 98-99

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Electronic Transport through Si Dot with Ge Core as Detected by AFM Conductive Probe

    • 著者名/発表者名
      Y.Darma, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-34]

      ページ: 88-89

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Control of the Nucleation Density of Si Quantum Dots by Remote Hydrogen Plasma Treatment

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Deki, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of 12th Int. conf. on Solid Films and Surfaces (Hamamatsu, June 21-25, 2004 ) [A5-2]

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of Silicon Nanocrystals as a Floating Gate in MOS Structures

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki, T.Shibaguchi, M.Ikeda
    • 雑誌名

      Abst. of 2004 MRS Fall Meeting (Boston, U.S.A., Nov. 29-Dec. 3, 2004) D5-8

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Charged States of Si Quantum Dots Floating Gate in MOS Structures

    • 著者名/発表者名
      S.Miyazaki, T.Shibaguchi, M.Ikeda
    • 雑誌名

      Abst. of Electrochemical Society-Int. Symp. on Nanoscale Devices and Materials (Hawai, Oct. 3-8, 2004) NO.1013

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Experimental Evidence of Coulombic Interaction among Stored Charges in Single Si Dot as Detected by AFM/Kelvin Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, Y.Darma, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyzaki
    • 雑誌名

      2005 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Seoul, Korea, June 28-30, 2005) [A9.4]

      ページ: 177-180

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of MaltiStep Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, Y.Shimizu, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of The 2005 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials [G-2-6]

      ページ: 174-175

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Decay Characteristics of Electronic Charged States of Si Quantum Dots as Evaluated by an AFM/Kelvin Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyzaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [25P2-32]

      ページ: 294-295

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of P-doped Si Quantum Dots Using AFM/Kelvin Probe

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, J.Xu, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [23D-6]

      ページ: 32-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] MOS電界効果トランジスタ型量子ドット発光素子および受光素子、これらを利用した光電子集積チップ2004

    • 発明者名
      宮崎 誠一, 東 清一郎
    • 権利者名
      宮崎 誠一, 東 清一郎
    • 産業財産権番号
      2004-207620
    • 出願年月日
      2004-07-14
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Darma, H.Murakami, S.Miyazaki: "Influence of Thermal Annealing on Compositional Mixing and Crystallinity of Highly-Selective Grown Si Dots widi Ge Core"Applied Surface Science. 224. 156-159 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takeuchi, H.Murakami, S.Miyazaki: "Electronic Charging State of Si Quantum Dots formed on Ultrathin SiO2 as Evaluated by AFM/Kelvin Probe Method"Semiconductor Technology Proceedings of 2002 ECS International Semiconductor Technology Conference. 1-8 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] M.Ikeda, Y.Shimizu, H.Murakami, S.Miyazaki: "Multiple-Step Electron Charging in Silicon-Quantum-Dot Floating Gate Metal-Oxide-Semiconductor Memories"Japanese Journal of Applied Physics. 42. 4134-4137 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Darma, R.Takaoka, H.Murakami, S.Miyazaki: "Self-assembling formation of silicon quantum dots with a germanium core by low-pressure chemical vapor deposition"Nanotechnology. 14. 413-415 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 宮崎 誠一: "Si量子ドットの荷電状態制御とフローティングゲートMOSデパイスヘの応用(招待論文)"電子情報通信学会技術研究報告. 103・533. 99-104 (2003)

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

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