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光学的手法によるナノスケールシリコン結晶中の不純物の電子状態に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 19026011
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関神戸大学

研究代表者

藤井 稔  神戸大学, 工学研究科, 准教授 (00273798)

研究期間 (年度) 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
2007年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
キーワードシリコン / ナノ結晶 / 不純物
研究概要

量子サイズ効果が顕著にあらわれるサイズ領域の半導体に不純物をドーピングすると、その振る舞いはバルク結晶にドーピングしたものと大きく異なる。特に、ドナー、アクセプターのイオン化エネルギーの増大等の本質的な変化が顕著に現れる。本研究は、ボトムアップ方式により不純物をドーピングしたシリコンナノ結晶を作成し、シリコンナノ結晶中の不純物原子の電子状態について基礎的な情報を得ることを目的とする。本研究が対象とするサイズ領域では電気的な評価が非常に困難であるため、光(電磁波)を用いた研究が重要になる。本年度は不純物をドーピングしたシリコンナノ結晶の電子スピン共鳴(ESR)測定よりその電子状態について知見を得ることを目的に研究を行った。その結果,以下のことが明らかになった。(1)シリコンナノ結晶では、不純物濃度が非常に高い状況においても、ESRの温度依存性はCurie則に従う。これは、シリコンナノ結晶が縮退半導体にならないことを示唆している。(2)P,B同時ドーピングシリコンナノ結晶のESRの線幅は単独ドーピングの場合に比べて広い。特に、キャリアが補償されているであろう状況において最大となる。これは、n型とp型の不純物をドーピングしたシリコンナノ結晶においては、キャリアが強く局在することを示唆している。これには、不純物の静電場による局在と量子閉じ込め効果による局在の両方が関与していると考えられる。(3)この強い局在が、室温におけるD-Aペアの強い発光の起源であると考えられる。

報告書

(1件)
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2007 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Raman Scattering Studies of Electrically Active Impurities in in Situ B-Doped Silicon Nanowires:Effects of Annealing and Oxidation2007

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Kawashima, et. al.
    • 雑誌名

      Journal of Physical Chemistry 111

      ページ: 15160-15165

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Raman and electron microscopic studies of Si_<1_x>Ge_x alloy nanowires grown by chemical vapor deposition2007

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Kawashima, et. al.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 102

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] シリコンナノ結晶の物性と応用2007

    • 著者名/発表者名
      藤井 稔
    • 学会等名
      電気情報通信学会, シリコン材料・デバイス研究会(SDM)
    • 発表場所
      奈良先端科学技術大学院大学
    • 年月日
      2007-12-14
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www2.kobe-u.ac.jp/~fujii1/index.html

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

URL: 

公開日: 2007-04-01   更新日: 2018-03-28  

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