| 研究概要 |
構造化アルコキシドとしてビストリエトキシシリルエタン(BTESE)(tEO)_3-Si-CH_2-CH_2-Si-(OEt)_3を選定し,ポリマー調製条件・焼成条件・気体透過特性の評価を行なった.BTESE系シリカ膜は,TEOS系シリカ膜よりも一桁高い水素透過率(~1×10^<-5>molm^<-2>s^<-1>Pa^<-1>)を示し,H_2/SF_6透過率比は1,000以上を示し,H_2/N_2透過率比は10程度であった.一方,TEOS系シリカ膜はH_2/N_2透過率比が1,000程度でBTESE系シリカ膜よりも小さい細孔径分布を有していることが明らかになった.
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