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有機膜直接蒸着法を用いた液体機能デバイスの研究

研究課題

研究課題/領域番号 23310089
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 マイクロ・ナノデバイス
研究機関東京大学

研究代表者

松本 潔  東京大学, IRT研究機構, 教授 (10282675)

研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
18,590千円 (直接経費: 14,300千円、間接経費: 4,290千円)
2013年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2012年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円)
2011年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
キーワードマイクロファブリケーション / 液体デバイス / マイクロ情報デバイス / 流体デバイス
研究概要

本研究では、液体上に有機膜を直接蒸着し封止する手法を用いて、液体を機能要素として持つマイクロデバイスの研究開発を行った。封止技術の確立に関して、有機膜の厚さにより物質の透過性を制御する手法、また振動場を用いて液体含浸ビーズ上に有機膜を蒸着する手法を開発した。また機能性デバイスとして、微小環境計測用機能性マイクロビーズ、イオン液体ゲートトランジスタガスセンサ、熱音響水中超音波発信デバイスの研究開発を行った。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (12件) 備考 (2件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Ratiometric optical temperature sensor using two fluorescent dyes dissolved in an ionic liquid encapsulated by Parylene film2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kan, H. Aoki, N. Binh-Khiem, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: vol.13, no.4 ページ: 4138-4145

    • URL

      http://www.mdpi.com/1424-8220/13/4/4138

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ratiometric optical temperature sensor using two fluorescent dyes dissolved in an ionic liquid encapsulated by Parylene film2013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuo Kan, Hironori Aoki, Nguyen Binh-Khiem, Kiyoshi Matsumoto, and Isao Shimoyama
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 13巻 ページ: 4138-4145

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] MULTI-AXIS FORCE SENSOR WITH DYNAMIC RANGE UP TOULTRASONIC2014

    • 著者名/発表者名
      P. Quang-Khang, N. Minh-Dung, N. Binh-Khiem, H. Phuong Phan, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '14)
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2014-01-26
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] MICRO LIQUID-BASED THERMO-ACOUSTIC TRANSMITTER FOR EMITTING ULTRASOUND IN LIQUID MEDIUM2014

    • 著者名/発表者名
      D. Hoang-Giang, N. Thanh-Vinh, K. Noda, P. Hoang-Phuong, N. Binh-Khiem, T. Takahata, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '14)
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2014-01-26
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] IONIC LIQUID-GATED GRAPHENE FET ARRAY WITH ENHANCED SELECTIVITY FOR ELECTRONIC NOSE2014

    • 著者名/発表者名
      A. Inaba, Y. Takei, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '14)
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2014-01-26
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] MULTI-AXIS FORCE SENSOR WITH DYNAMIC RANGE UP TOULTRASONIC2014

    • 著者名/発表者名
      Pham Quang-Khang
    • 学会等名
      MEMS2014
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] MICRO LIQUID-BASED THERMO-ACOUSTIC TRANSMITTER FOR EMITTING ULTRASOUND IN LIQUID MEDIUM2014

    • 著者名/発表者名
      Dinh Hoang-Giang
    • 学会等名
      MEMS2014
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] IONIC LIQUID-GATED GRAPHENE FET ARRAY WITH ENHANCED SELECTIVITY FOR ELECTRONIC NOSE2014

    • 著者名/発表者名
      Akira Inaba
    • 学会等名
      MEMS2014
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] THREE-DIMENSIONAL TACTILE SENSOR WITH A CAVITY UNDERNEATH PIEZORESISTIVE CANTILERVERS FOR SENSITIVITY ENHANCEMENT2013

    • 著者名/発表者名
      N. Thanh-Vinh, K. Matsumoto, I. Shimoyama
    • 学会等名
      センサ・マイクロマシンと応用システム
    • 発表場所
      仙台国際センター ,宮城
    • 年月日
      2013-11-05
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] A GRAPHENE FET GAS SENSOR GATED BY IONIC LIQUID2013

    • 著者名/発表者名
      A. Inaba, G. Yoo, Y. Takei, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '13)
    • 発表場所
      Taipei, Republic of China
    • 年月日
      2013-01-20
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] THREE-DIMENSIONAL TACTILE SENSOR WITH A CAVITY UNDERNEATH PIEZORESISTIVE CANTILERVERS FOR SENSITIVITY ENHANCEMENT2013

    • 著者名/発表者名
      Nguyen Thanh-Vinh
    • 学会等名
      センサ・マイクロマシンと応用システム
    • 発表場所
      仙台国際センター、宮城
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] A GRAPHENE FET GAS SENSOR GATED BY IONIC LIQUID2013

    • 著者名/発表者名
      A. Inaba, G. Yoo, Y. Takei, K. Matsumoto, and I. Shimoyama (A. Inaba)
    • 学会等名
      The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '13)
    • 発表場所
      台北(中華民国)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] FUNCTIONALIZED MICRO BEAD WITH LIQUID-CORE PARYLENE-SHELL STRUCTURE2012

    • 著者名/発表者名
      H. Aoki, N. Binh-Khiem, T. Kan, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '12)
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2012-02-02
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [学会発表] SHEAR FORCE SENSOR USING A CANTILEVER WITH LIQUID-EMBEDDED HINGES2012

    • 著者名/発表者名
      K. Sato, N. Binh-Khiem, M. Hosono, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '12)
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2012-02-02
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2011 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.leopard.t.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.leopard.t.u-tokyo.ac.jp/research.html

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [産業財産権] 液体アクチュエータ2013

    • 発明者名
      下山勲、松本潔、野田堅太郎、グェンビンキェム、ディンホアンジャン
    • 権利者名
      東京大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-02-21
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [産業財産権] 液体アクチュエータ2013

    • 発明者名
      下山勲、他
    • 権利者名
      東京大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-032004
    • 出願年月日
      2013-02-21
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2011-04-06   更新日: 2019-07-29  

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