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シミュレータ実装制御システムを備えた次世代プロセス用プラズマ源の研究

研究課題

研究課題/領域番号 23340178
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマ科学
研究機関神戸大学

研究代表者

八坂 保能  神戸大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30109037)

研究分担者 竹野 裕正  神戸大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90216929)
中本 聡  神戸大学, 工学(系)研究科(研究院), 助手 (10198260)
連携研究者 中本 聡  神戸大学, 大学院・工学研究科, 助手 (10198260)
研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
12,220千円 (直接経費: 9,400千円、間接経費: 2,820千円)
2013年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2012年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
キーワードプラズマ / マイクロ波 / シミュレーション / 分布制御
研究概要

半導体製造においてプラズマプロセッシングは基幹技術であり、プラズマ源として大口径、低電子温度、高均一性が求められている。本研究では、これらの要求を満たし得るマイクロ波励起プラズマについて、均一性制御に関する課題に着目している。そのために二つの新しい技術、すなわち、マイクロ波放射電界の径方向分布を調整可能なアンテナ、および目標とする径方向密度分布を得るために必要なマイクロ波電力吸収分布を計算するハイパーシミュレータ、を導入した。これらを含む制御システムを構築し、生成プラズマの分布制御に有効であることを実証した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 研究成果

    (23件)

すべて 2014 2013 2012 2011

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (18件)

  • [雑誌論文] Control of Plasma Profile in Microwave Discharges via Inverse-Problem Approach2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yasaka, N. Tobita, A. Tsuji
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: Vol. 3 号: 12

    • DOI

      10.1063/1.4840735

    • NAID

      120005553724

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of Plasma Profile in Microwave Discharges by Using a Segmented Slot Antenna driven by Two Magnetrons2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yasaka, et al. (計6名)
    • 雑誌名

      Proc. 31st Int'l. Conf. Phenomena in Ionized Gases

    • URL

      http://www.icpig2013.net/papers/294_2.pdf

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New Simulation Approach to Controlling Plasma Uniformities2011

    • 著者名/発表者名
      A. Tsuji, Y. Yasaka
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol. 50 号: 8S1 ページ: 08JC03-08JC03

    • DOI

      10.1143/jjap.50.08jc03

    • NAID

      210000139445

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of Plasma Profile in Microwave Discharges by Using Hyper-Simulation2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Yasaka, A.Tsuji
    • 雑誌名

      Proc.20th Int'l.Symp.on Plasma Chemistry

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [雑誌論文] Modeling and Experimental Studies of Radical Formation in RF Discharges with Etching Gases2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Yasaka, T.Kawamura, Y.Takada, A.Tsuji
    • 雑誌名

      Proc.20th Int'l.Symp.on Plasma Chemistry

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Research on Spatial Distribution Control of Electric Fields Radiated from a Slot Antenna in Microwave-Excited Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      K. Kobayashi, Y. Yasaka
    • 学会等名
      8th Int'l. Conf. Reactive Plasmas and 31st Symp. Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2014-02-06
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Research on Producing Large-Diameter Microwave Plasmas and Controlling Distributions Using the Antenna Emission Electric Field2014

    • 著者名/発表者名
      R. Naruiwa, Y. Yasaka
    • 学会等名
      8th Int'l. Conf. Reactive Plasmas and 31st Symp. Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2014-02-06
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Studies on Hyper Simulation for a New Control of Microwave-Excited Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      R. Taniguchi, Y. Yasaka, H. Takeno
    • 学会等名
      8th Int'l. Conf. Reactive Plasmas and 31st Symp. Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2014-02-06
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Research on Spatial Distribution Control of Electric Fields Radiated from a Slot Antenna in Microwave-Excited Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      K. Kobayashi,Y. Yasaka
    • 学会等名
      8th Int'l. Conf. Reactive Plasmas and 31st Symp. Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center, Fukuoka
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Research on Producing Large-Diameter Microwave Plasmas and Controlling Distributions Using the Antenna Emission Electric Field Characteristic2014

    • 著者名/発表者名
      R. Naruiwa, Y. Yasaka
    • 学会等名
      8th Int'l. Conf. Reactive Plasmas and 31st Symp. Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center, Fukuoka
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Studies on Hyper Simulation for a New Control of Microwave-Excited Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Rie Taniguchi, Yasuyoshi Yasaka, Hiromasa Takeno
    • 学会等名
      8th Int'l. Conf. Reactive Plasmas and 31st Symp. Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka Convention Center, Fukuoka
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Plasma Simulator for Control of Spatial Plasma Distribution in Microwave Discharges2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yasaka, R. Taniguchi, K. Kobayashi, H. Takeno
    • 学会等名
      23rd Int'l. Conf. Numerical Simulation of Plasmas
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2013-09-15
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Control of plasma profile in microwave discharges by using a segmented slot antenna driven by two magnetrons2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yasaka, N. Tobita, K. Kobayashi, R. Taniguchi, S. Sakurai, H. Takeno
    • 学会等名
      31st Int'l. Conf. Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Granada Congress Center, Spain
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Plasma Simulator for Control of Spatial Plasma Distribution in Microwave Discharges2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yasaka, R. Taniguchi, K. Kobayashi, H. Takeno
    • 学会等名
      23rd Int'l. Conf. Numerical Simulation of Plasmas
    • 発表場所
      Friendship Hotel, Beijing
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 二重同軸給電方式におけるマイクロ波 プラズマ生成特性のアンテナ構造依存性に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      櫻井征太郎,小林和裕,八坂保能,竹野裕正
    • 学会等名
      平成25 年電気関係学会関西連合大会
    • 発表場所
      大阪電気通信大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Simulation and Experimental Research toward Distribution Control of Radicals in Microwave Discharges2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shiraishi, Y. Yasaka, H. Takeno
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conf. Plasma Sci. Technol. And SPSM.
    • 発表場所
      Kyoto
    • 年月日
      2012-10-03
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Simulation and Experimental Research toward Distribution Control of Radicals in Microwave Discharges2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shiraishi, Y. Yasaka, H. Takeno
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conf. on Plasma Science and Technology and 25th SPSM
    • 発表場所
      Rohm Plaza, Kyoto Univ.
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Production Control of Large Diameter Microwave Plasmas Using Radiated Electric Field Character2012

    • 著者名/発表者名
      H. Matsubara, Y. Yasaka, H. Takeno
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conf. on Plasma Science and Technology and 25th SPSM
    • 発表場所
      Rohm Plaza, Kyoto Univ.
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Two-Dimensional Fluid Simulation of a Microwave-Excited Plasma Using Two Power Sources2012

    • 著者名/発表者名
      R. Taniguchi, Y. Yasaka, H. Takeno
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conf. on Plasma Science and Technology and 25th SPSM
    • 発表場所
      Rohm Plaza, Kyoto Univ.
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Distribution Control of Microwave Plasma by Using a Slot Antenna with Variable Radiation Field Profile2012

    • 著者名/発表者名
      K. Kobayashi, Y. Yasaka, H. Takeno
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conf. on Plasma Science and Technology and 25th SPSM
    • 発表場所
      Rohm Plaza, Kyoto Univ.
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 二重同軸給電方式マイクロ波放電における プラズマ分布の制御性能評価2012

    • 著者名/発表者名
      鳴岩、松原、八坂、竹野
    • 学会等名
      電気関係学会関西連合大会
    • 発表場所
      関西大学100周年記念会館
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Research on Spatial Distribution Control of Radiation Electric Field from Antenna in Microwave-Excited Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      N.Tobita, Y.Yasaka, H.Takeno
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂(石川県)
    • 年月日
      2011-11-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Study on a Production Control of Microwave-Excited Plasmas by an Antenna-Cavity with the Specific Structure2011

    • 著者名/発表者名
      K.Ota, Y.Yasaka, N.Tobita
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂(石川県)
    • 年月日
      2011-11-22
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書

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公開日: 2011-04-06   更新日: 2019-07-29  

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