| 研究課題/領域番号 |
26289066
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 徳島大学 |
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研究代表者 |
岩田 哲郎 徳島大学, 大学院理工学研究部, 教授 (50304548)
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| 研究分担者 |
安井 武史 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (70314408)
水谷 康弘 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40374152)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
16,380千円 (直接経費: 12,600千円、間接経費: 3,780千円)
2016年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2015年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2014年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
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| キーワード | テラヘルツ / エリプソメエータ / 薄膜計測 / 光計測 / 分光計測 / 幾何学的位相 / エイプソメータ / 膜厚測定 / 塗装膜 / 薄膜 / エリプソメトリ / 偏光解析 / 光コム / エリプソメータ |
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| 研究成果の概要 |
通常の可視・紫外波長領域及び赤外波長領域では不透明で測定が行えない工業材料や生体関連試料の精密な評価を目的として，「二重変調型タンデムロックイン検出方式テラヘルツ周波数領域エリプソメータ」の提案と製作，及び評価を行った。最終的に，当初の目的の装置を完成させ，論文としてまとめた。さらに，金属面上の塗装膜の膜厚測定が行えることを実証し，二層膜の測定の可能性を解説論文としてまとめた。また，テラヘルツ周波数領域での幾何学的位相の直接測定の可能性を示唆した後，可視光領域ではあるが，幾何学的位相の非線形挙動を用いた旋光分散の新規な測定手法を提案した。
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