KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 00547482

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検索結果: 6件 / 研究者番号: 00547482

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1. ピエゾ抵抗型MEMS力センサの極限の追求

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
審査区分	小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
研究機関	富山県立大学
研究代表者	下山勲富山県立大学, 工学部, その他
研究期間 (年度)	2022-04-01 – 2025-03-31交付
キーワード	MEMS / シリコンピエゾ抵抗 / ピエゾ抵抗効果 / 力センサ / ひずみセンサ / 超高感度力計測
研究開始時の研究の概要	本研究は、シリコン材料を用いたピエゾ抵抗型歪ゲージをもつカンチレバー型力センサ（圧力感度：4.3×10-3 Pa-1、最小力分解能：1 pN、周波数帯域：～100MHz）の寸法をnmオーダーまで小さくすると特性がどうなるのかという問いに、実験的・理論的根拠のある答えを与える。ピエゾ抵抗の歪抵抗効果を ...
研究実績の概要	本研究の目的は、申請者らがこれまで研究を重ねてきたピエゾ抵抗型歪ゲージをもつカンチレバー型力センサ（圧力分解能：15 nPa、最小力分解能：1 pN、周波数帯域：～100 MHz）の寸法をnmオーダーまで小さくすると特性がどうなるのかという問いに、実験的・理論的根拠のある答えを与えることである。ピ ...
現在までの達成度 (区分)	2: おおむね順調に進展している

2. 化学量の濃度変化を常時計測することが可能なMEMS化学量センサ

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
審査区分	小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
研究機関	富山県立大学
研究代表者	野田堅太郎富山県立大学, 工学部, 講師
研究期間 (年度)	2021-04-01 – 2024-03-31交付
キーワード	MEMS / SPRセンサ / 電気再生法 / 味覚センサ / 化学量センサ / 味覚
研究開始時の研究の概要	従来の化学計測手法では、特定の化学物質を吸着することが可能な認識膜・部材を利用し、その認識膜・部材の性質の変化を計測することで化学物質の検出・濃度計測を行っている。しかし従来の計測手法は一度計測を終えたあと、認識膜・部材に吸着した検出対象物を洗浄しなければ再度の計測を行うことができない。この特徴から ...
研究実績の概要	昨年度の成果を元に今年度は、SPRデバイス上に形成したナフィオン膜に対して電気再生法を施し、ナフィオン膜が吸着した陽イオンを洗浄液を利用することなく電気的に除外する方法に関して検証した。本研究では、味覚物質である塩化ナトリウムを溶解した水溶液に対して電解を印加し、陽電極周辺に発生させた陰イオンをナフ ...
現在までの達成度 (区分)	2: おおむね順調に進展している

3. 波面形状を連続的に変形する可変フェイズドアレイアンテナ

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
審査区分	小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
研究機関	富山県立大学 (2019-2020) 東京大学 (2018)
研究代表者	野田堅太郎富山県立大学, 工学部, 講師
研究期間 (年度)	2018-04-01 – 2021-03-31完了
キーワード	MEMS / 液体アクチュエータ / 可変周波数アンテナ / マイクロアンテナ / フェイズドアレイ / ロボットセンサ
研究成果の概要	これまでミリ波を走査する試みとしてフェイズドアレイ法が提案されている。フェイズドアレイ法では、集積した複数のアンテナから異なる位相の電磁波間で干渉を引き起こし、干渉波を特定方向・位置に照射する。このため、アンテナ自身の向きや方向を変えることなく、電磁波を走査することが可能となる。本研究では、誘電体と ...

この課題の研究成果物	学会発表 (1件)

4. 電磁波波面を制御するためのMEMS二次元可変誘電体素子

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	ナノマイクロシステム
研究機関	東洋大学 (2016) 東京大学 (2014-2015)
研究代表者	松本潔東洋大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31完了
キーワード	波面制御 / 誘電率分布 / 液体アクチュエータ / MEMS / マイクロ・ナノデバイス / NEMS
研究成果の概要	本研究では、テラヘルツ波やミリ波の波面を制御するため、誘電体材料として液体を使用し、その形状を動的に変形させることで誘電体の厚みを変えて誘電率分布を制御するデバイスの研究開発を行った。MEMS技術を用いて、液体の厚みを大変形することができる流路付き液体アクチュエータデバイスを考案し、特性評価を行った ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (3件うち査読あり 3件、オープンアクセス 2件) 学会発表 (6件うち国際学会 3件)

5. 柔軟物の手触り感を計測する皮膚構造規範型MEMS触感センサ

研究課題

研究種目	若手研究(B)
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京大学
研究代表者	野田堅太郎東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 特任助教
研究期間 (年度)	2013-04-01 – 2017-03-31完了
キーワード	センサ / 触覚 / MEMS / 触覚センサ / 皮膚 / 液体フィルタ / 皮膚構造 / 皮膚状構造
研究成果の概要	人は物体をなぞった際に指先に生じる振動を、接触力の特定周波数での時間変化を検出する触覚受容器（マイスナー小体(FAI)、パチニ小体(FAII)）によって計測することで、sub-μm厚みのテクスチャを判別していると考えられている。そこで人の触覚受容器、特にマイスナー小体の構造を規範とし、微小液滴をメカ ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (1件うち査読あり 1件、謝辞記載あり 1件) 学会発表 (3件うち国際学会 1件)

6. 単一細胞の力刺激反応計測のためのＭＥＭＳカンチレバー

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	下山勲東京大学, 情報理工学(系)研究科, 教授
研究期間 (年度)	2010-04-01 – 2014-03-31完了
キーワード	マイクロセンサー / MEMS / 3軸力センサ / ピエゾ抵抗型カンチレバー
研究概要	細胞に対して力学的刺激を定量的に再現性よく加えることが可能な3軸ピエゾ抵抗型MEMSカンチレバーの研究開発を行った。カンチレバーはSOI基板上で製作され、カンチレバーの表面及び梁の側面にピエゾ抵抗層を形成することで、3方向の歪みを同時に検出可能となるよう設計した。3軸方向それぞれに対して、1 μN以 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (4件うち査読あり 4件) 学会発表 (16件) 備考 (3件)