KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 10282675

1. スリップ回避のためのＭＥＭＳ２次元摩擦係数センサ

研究課題

研究種目	挑戦的萌芽研究
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東洋大学 (2016-2017) 東京大学 (2015)
研究代表者	松本潔東洋大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2018-03-31完了
キーワード	摩擦係数 / 圧力センサ / せん断力センサ / 局所滑り
研究成果の概要	本研究では、対象の滑りやすさを計測するため、柔らかな弾性体構造を用いた局所滑り生成構造を実現し、圧力と２方向のせん断力を検出する３軸触覚センサと組み合わせて、接触面内の２軸方向の摩擦係数を計測する摩擦係数センサの開発を行った。ナイロンテグスの細毛構造による摩擦係数センサ、弾性体の局所滑りによる摩擦係 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (4件うち査読あり 4件、オープンアクセス 3件、謝辞記載あり 1件) 学会発表 (6件うち国際学会 5件) 産業財産権 (1件)

2. 電磁波波面を制御するためのMEMS二次元可変誘電体素子

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	ナノマイクロシステム
研究機関	東洋大学 (2016) 東京大学 (2014-2015)
研究代表者	松本潔東洋大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31完了
キーワード	波面制御 / 誘電率分布 / 液体アクチュエータ / MEMS / マイクロ・ナノデバイス / NEMS
研究成果の概要	本研究では、テラヘルツ波やミリ波の波面を制御するため、誘電体材料として液体を使用し、その形状を動的に変形させることで誘電体の厚みを変えて誘電率分布を制御するデバイスの研究開発を行った。MEMS技術を用いて、液体の厚みを大変形することができる流路付き液体アクチュエータデバイスを考案し、特性評価を行った ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (3件うち査読あり 3件、オープンアクセス 2件) 学会発表 (6件うち国際学会 3件)

3. 人の触覚受容器構造を規範としたＭＥＭＳ触覚センサ

研究課題

研究種目	挑戦的萌芽研究
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京大学
研究代表者	松本潔東京大学, IRT研究機構, 教授
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2015-03-31完了
キーワード	触覚センサ / カンチレバー / マイクロデバイス / MEMS / 人間機械システム / せん断力
研究成果の概要	本研究では、人の触覚受容器の構造を規範とした、幅広いダイナミックレンジを持つMEMS触覚センサの研究開発を行った。シリコーンオイル中にピエゾ抵抗カンチレバーを封止した触覚センサは、力に対して微分的な応答を示し、微小な力の変動成分を高感度に検出することができた。ピラミッド構造やバンプ形状を持つ触覚セン ...

この課題の研究成果物	学会発表 (7件)

4. 有機膜直接蒸着法を用いた液体機能デバイスの研究

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	松本潔東京大学, IRT研究機構, 教授
研究期間 (年度)	2011-04-01 – 2014-03-31完了
キーワード	マイクロファブリケーション / 液体デバイス / マイクロ情報デバイス / 流体デバイス
研究概要	本研究では、液体上に有機膜を直接蒸着し封止する手法を用いて、液体を機能要素として持つマイクロデバイスの研究開発を行った。封止技術の確立に関して、有機膜の厚さにより物質の透過性を制御する手法、また振動場を用いて液体含浸ビーズ上に有機膜を蒸着する手法を開発した。また機能性デバイスとして、微小環境計測用機 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (2件うち査読あり 2件) 学会発表 (12件) 備考 (2件) 産業財産権 (2件)

5. 単一細胞の力刺激反応計測のためのＭＥＭＳカンチレバー

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	下山勲東京大学, 情報理工学(系)研究科, 教授
研究期間 (年度)	2010-04-01 – 2014-03-31完了
キーワード	マイクロセンサー / MEMS / 3軸力センサ / ピエゾ抵抗型カンチレバー
研究概要	細胞に対して力学的刺激を定量的に再現性よく加えることが可能な3軸ピエゾ抵抗型MEMSカンチレバーの研究開発を行った。カンチレバーはSOI基板上で製作され、カンチレバーの表面及び梁の側面にピエゾ抵抗層を形成することで、3方向の歪みを同時に検出可能となるよう設計した。3軸方向それぞれに対して、1 μN以 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (4件うち査読あり 4件) 学会発表 (16件) 備考 (3件)

6. 近赤外MEMS SPRセンサ

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	松本潔東大, 情報理工学(系)研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2006完了
キーワード	SPR / 近赤外光 / MEMS / 表面ナノ構造
研究概要	平成18年度は、シリコンを材料としたMEMS構造と近赤外光を用いたSPRセンサの基本特性評価、SPR角検出方法の検討を行なった。

この課題の研究成果物	雑誌論文 (1件)

7. ナノ・マイクロ構造物を内包した機能性リポソームの調製

研究課題

研究種目	萌芽研究
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京大学
研究代表者	市川保正東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 助手
研究期間 (年度)	2005 – 2006完了
キーワード	リポソーム / 自己組織化 / DDS / MEMS / 機能性ナノ膜 / マイクロ構造物 / 生体由来物質 / 脂質 / 機能生ナノ膜
研究概要	本研究の目的は,外場を用いてマイクロ粒子を操作し,リボソームの機能発現を制御する事にある.このために,前年度までの基礎実験の結果を基に実験装置の設計製作を行い,実際にPHなどを制御する実験系の構築を行った.これによって,試験溶液として生体由来物質(脂質等),ナノ粒子,イオン溶液などを含むものを用い, ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (1件)

8. MEMS微細構造による単層カーボンナノチューブ成長のリアルタイム計測

研究課題

研究種目	萌芽研究
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	星野一憲東大, 情報理工学(系)研究科, 講師
研究期間 (年度)	2005 – 2006完了
キーワード	単層カーボンナノチューブ / シリコンカンチレバー / 希薄流体 / MEMS
研究概要	カーボンナノチューブの成長方向・量を制御する要因として,電界の方向のほかに,ガスの流れ方向および流速が考えられる。望ましい位置にカーボンナノチューブを成長させる方法の一つとして,MEMS微細構造を利用した流れ制御が有効であると考えられる。シリコン基板上に微細流路をつくり,流路幅の変化によって流速を制 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (4件)

9. 機能性膜タンパクを持つMEMSデバイス

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2005 – 2008完了
キーワード	MEMS / 膜タンパク / 有機エレクトロニクス / バクテリオロドプシン / PEDDTPSS / マイクロコイル / 受光素子 / Cytop / PEDOT:PSS / 微分形検出 / PEDOT : PSS / ディスプレイ
研究概要	機能性膜タンパクであるバクテリオロドプシンとMEMSを融合することにより、光センサアレイを実現した。実現した光センサは、低温プロセスによりプラスチックフィルム上に製作でき、低コストで柔軟であるという特徴を持つ。本研究を実現する過程で、膜タンパクの選択的パターニング技術の確立、膜タンパクと低温有機材料 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (8件うち査読あり 2件) 学会発表 (7件) 備考 (3件)

10. MEMS微細構造を用いた可変構造色

研究課題

研究種目	萌芽研究
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	東京大学
研究代表者	下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2004 – 2005完了
キーワード	構造色 / MEMS / 変角分光 / 可変発色 / バイステイブル / 反射型ディスプレイ / FDTD / 多次元
研究概要	本研究では、構造色の発色メカニズムを解明し、構造色の発色構造を再構築する。さらにMEMS技術を用いて、波長可変の発色機構を構築することを目的とする。

この課題の研究成果物	雑誌論文 (3件) 産業財産権 (2件)

11. ナノパーツを用いた3次元構造の順序付き自己組み立て

研究課題

研究種目	萌芽研究
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京大学
研究代表者	松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2003 – 2004完了
キーワード	自己組織化 / SAM / 表面修飾 / 親水・疎水加工 / 自己組み立て / 疎水性相互作用 / 電気二重層 / ファンデルワールス力 / 自己組織化単分子膜 / 閉構造の組立
研究概要	本研究の目的は、表面修飾した微細なパーツを用い、それを順序だてて組み立てて、任意の3次元構造体を作成する手法を探索することである。

この課題の研究成果物	雑誌論文 (6件) 産業財産権 (1件) 文献書誌 (2件)

12. 自己組織化単分子膜の微細パターニングを用いたナノ光学素子

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京工業高等専門学校 (2004) 東京大学 (2002-2003)
研究代表者	福田勝己東京工業高等専門学校, 機械工学科, 教授
研究期間 (年度)	2002 – 2004完了
キーワード	自己組織化 / 単分子膜 / 界面活性 / パターニング / マイクロコンタクトプリンティング法 / 親水 / 疎水 / 光学素子 / ナノ光学素子 / 接触角 / 親水性 / 疎水性 / マイクロパターニング / コンタクトプリンティング / 自己組織化単分子膜 / 親水性,疎水性 / ナノインデンテーション / アルカンチオール / アミノシラン
研究概要	本研究は,自己組織化単分子膜上にナノレベルのパターニングを行い,それがナノ光学素子作成に有効であることを示すものである.近年,ナノメートルオーダの分子レベルにおいて,自己組織化プロセスが注目されている.ナノオーダの構造を有する自己組織化単分子膜(SAMs : self assembled monol ...

13. ナノ流動センサーを用いた微小流路内流動の制御

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京大学
研究代表者	市川保正東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助手
研究期間 (年度)	2002 – 2003完了
キーワード	MEMS / Micro Fluidics / Micro Channel / Mass Flow Rate / Surface Tension / Hot Wire / Micro Venturi / PDMS / SWNT
研究概要	研究スケジュールとしては,2年間での研究を想定し,ナノ流動センサーを組み込んだ微小流路の試作,較正角流路試作とセンサーチップの性能評価および実際の流動制御実験を行い,マイクロ流路における流動特性を計測する.また,実験から得られた知見によって,マイクロ流路内の流動構造を明らかにするとともにナノ流動セン ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (15件)

14. ナノワイヤーフレームを用いたメゾスコピック3次元機能素子

研究課題

研究種目	萌芽研究
研究分野	機械工作・生産工学
研究機関	東京大学
研究代表者	中尾政之東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2001 – 2002完了
キーワード	3次元微細構造 / ナノワイヤ / 近接場光学顕微鏡 / 電子ビーム堆積法 / 集束イオンビーム加工法 / メゾスコピック / 3次元LSI / 量子効果デバイス
研究概要	本研究の目的は、電子ビーム堆積(EBD)法で作製したナノワイヤを用いてメゾスコピックサイズの3次元構造体を作製する技術を確立することである。またさらにその構造体を用いた様々な機能素子を製作し、その可能性を探索することである。対象とする機能素子は、3次元LSI、量子細線を用いた量子効果デバイス、微小コ ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (2件)

15. 多チャンネルマイクロ電極を用いた感覚機能代替システムの設計手法

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	設計工学・機械要素・トライボロジー
研究機関	東京大学
研究代表者	松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2001 – 2003完了
キーワード	聴性人工脳幹インプラント / 微小電極アレイ / 聴皮質 / 蝸牛神経核 / 脊髄 / 神経方程式 / 独立成分解析 / 機能的電気刺激 / 脳機能マッピング / 機能構造 / 微小多点電極 / 電気刺激 / 誘発電位 / 神経細胞モデル
研究概要	本研究の目的は,感覚細胞あるいは伝達経路に障害を持つ患者のための感覚機能代替システムにおいて,その設計手法を確立することである.本研究の成果の概要を以下に示す.(1)脳幹の蝸牛神経核を直接電気刺激して聴覚を再生させる聴性人工脳幹インプラント(ABI)の基礎研究のために,大脳皮質・蝸牛神経核でそれぞれ ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (58件)

16. 微細構造をプラスチック・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明

研究課題

研究種目	基盤研究(B)
研究分野	機械工作・生産工学
研究機関	東京大学
研究代表者	松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2001 – 2002完了
キーワード	3次元微細構造 / 知能化金型 / 熱流束センサ / マイクロヒータ / 局所加熱 / 熱流速センサ / 犠牲層マスク
研究概要	本研究では,(a)ホログラム回折格子,(b)免疫検査チップ,(c)使い捨てコンタクトレンズ,などを試作対象に設定して,新たな転写プロセスの原理,被転写材料や型材料の材質,型材料の微細加工方法,プロセス条件の最適化,などを総合的に検討した。 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (17件)

17. マイクロレンズアレイと微小光線走査機構を用いた薄型立体表示デバイス

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京大学
研究代表者	下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2001 – 2004完了
キーワード	立体視ディスプレイ / MEMS / マイクロミラー / マイクロレンズアレイ / LEDマトリックス / 立体画像表示装置 / 回折・干渉ディスプレイ / 静電アクチュエータ / 立体画像 / ボイスコイルモータ / 液晶ディスプレイ
研究概要	本研究では,画像表示装置から出力される光情報を時系列のデータとして扱い,マイクロミラーを動的に制御することでその反射光を空間上に走査する.これにより,観察者の見る画像の解像度を落とすことなく空間分解能を上げることが可能となる.DMDのような反射型のミラーアレイを用いた立体視ディスプレイの研究は既に行 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (12件) 産業財産権 (3件) 文献書誌 (9件)

18. 高分子材料の微細加工による多機能集積マイクロシステム

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京大学
研究代表者	下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2001 – 2004完了
キーワード	有機トランジスタ / シリコンゴム / バクテリオロドプシン / 撮像センサ / 触覚センサ / MEMS / 薄型柔軟視覚センサ / 量子ドット / 薄型柔軟ディスプレイ / 有機EL / パターニング方法 / 導電性高分子 / 高分子圧電フィルム / 有限要素法
研究概要	本研究では,高分子材料,有機材料,たんぱく質など,従来のシリコンMEMS技術では用いられてこなかった新しい材料からなる微小知能機械の研究を行なった.

この課題の研究成果物	雑誌論文 (10件) 産業財産権 (2件) 文献書誌 (12件)

19. マイクロケモメカトロニクスのための3次元微細構造の創成

研究課題

研究種目	特定領域研究
審査区分	理工系
研究機関	東京大学
研究代表者	中尾政之東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2001 – 2003完了
キーワード	3次元微細構造 / 電子ビーム堆積法 / レーザ溶接 / 集束イオンビーム加工法 / ガラス焼結 / 近接場光学顕微鏡 / 形質転換 / ウォータージェット加工法 / DNAハンドリング / マイクロディスペンサ / 撥水剤
研究概要	研究の目的はマイクロケモメカトロニクスのために半導体加工技術や機械加工技術を用いて、3次元微細構造を創成する技術を確立することである。これまで化学分析機器のマイクロ化のために用いられてきた表面形状創成用のMEMS技術や機能表面創成用の物理的成膜技術や化学的修飾技術に加え、電解研磨・放電加工・ビーム堆 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (43件)

20. ナノメータサイズのチャネルにおける流体挙動の解明

研究課題

研究種目	萌芽的研究
研究分野	流体工学
研究機関	東京大学
研究代表者	松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2000 – 2001完了
キーワード	ナノチャネル / 高速原子線 / 圧力損失
研究概要	平成13年度は、ハードウエアの製作プロセスを確立し、さらにナノチャネルを備えた実験装置を試作して、実際に流体を流して理論解析のデータと比較を行った。

この課題の研究成果物	文献書誌 (2件)

研究期間 (開始年度)

1. スリップ回避のためのＭＥＭＳ２次元摩擦係数センサ 研究課題

松本 潔 東洋大学, 理工学部, 教授

2. 電磁波波面を制御するためのMEMS二次元可変誘電体素子 研究課題

松本 潔 東洋大学, 理工学部, 教授

3. 人の触覚受容器構造を規範としたＭＥＭＳ触覚センサ 研究課題

松本 潔 東京大学, IRT研究機構, 教授

4. 有機膜直接蒸着法を用いた液体機能デバイスの研究 研究課題

松本 潔 東京大学, IRT研究機構, 教授

5. 単一細胞の力刺激反応計測のためのＭＥＭＳカンチレバー 研究課題

下山 勲 東京大学, 情報理工学(系)研究科, 教授

6. 近赤外MEMS SPRセンサ 研究課題

松本 潔 東大, 情報理工学(系)研究科, 助教授

7. ナノ・マイクロ構造物を内包した機能性リポソームの調製 研究課題

市川 保正 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 助手

8. MEMS微細構造による単層カーボンナノチューブ成長のリアルタイム計測 研究課題

星野 一憲 東大, 情報理工学(系)研究科, 講師

9. 機能性膜タンパクを持つMEMSデバイス 研究課題

下山 勲 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

10. MEMS微細構造を用いた可変構造色 研究課題

下山 勲 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

11. ナノパーツを用いた3次元構造の順序付き自己組み立て 研究課題

松本 潔 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授

12. 自己組織化単分子膜の微細パターニングを用いたナノ光学素子 研究課題

福田 勝己 東京工業高等専門学校, 機械工学科, 教授

13. ナノ流動センサーを用いた微小流路内流動の制御 研究課題

市川 保正 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助手

14. ナノワイヤーフレームを用いたメゾスコピック3次元機能素子 研究課題

中尾 政之 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

15. 多チャンネルマイクロ電極を用いた感覚機能代替システムの設計手法 研究課題

松本 潔 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授

16. 微細構造をプラスチック・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明 研究課題

松本 潔 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授

17. マイクロレンズアレイと微小光線走査機構を用いた薄型立体表示デバイス 研究課題

下山 勲 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

18. 高分子材料の微細加工による多機能集積マイクロシステム 研究課題

下山 勲 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

19. マイクロケモメカトロニクスのための3次元微細構造の創成 研究課題

中尾 政之 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

20. ナノメータサイズのチャネルにおける流体挙動の解明 研究課題

松本 潔 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授

1. スリップ回避のためのＭＥＭＳ２次元摩擦係数センサ

研究課題

松本潔東洋大学, 理工学部, 教授

2. 電磁波波面を制御するためのMEMS二次元可変誘電体素子

研究課題

松本潔東洋大学, 理工学部, 教授

3. 人の触覚受容器構造を規範としたＭＥＭＳ触覚センサ

研究課題

松本潔東京大学, IRT研究機構, 教授

4. 有機膜直接蒸着法を用いた液体機能デバイスの研究

研究課題

松本潔東京大学, IRT研究機構, 教授

5. 単一細胞の力刺激反応計測のためのＭＥＭＳカンチレバー

研究課題

下山勲東京大学, 情報理工学(系)研究科, 教授

6. 近赤外MEMS SPRセンサ

研究課題

松本潔東大, 情報理工学(系)研究科, 助教授

7. ナノ・マイクロ構造物を内包した機能性リポソームの調製

研究課題

市川保正東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 助手

8. MEMS微細構造による単層カーボンナノチューブ成長のリアルタイム計測

研究課題

星野一憲東大, 情報理工学(系)研究科, 講師

9. 機能性膜タンパクを持つMEMSデバイス

研究課題

下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

10. MEMS微細構造を用いた可変構造色

研究課題

下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

11. ナノパーツを用いた3次元構造の順序付き自己組み立て

研究課題

松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授

12. 自己組織化単分子膜の微細パターニングを用いたナノ光学素子

研究課題

福田勝己東京工業高等専門学校, 機械工学科, 教授

13. ナノ流動センサーを用いた微小流路内流動の制御

研究課題

市川保正東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助手

14. ナノワイヤーフレームを用いたメゾスコピック3次元機能素子

研究課題

中尾政之東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

15. 多チャンネルマイクロ電極を用いた感覚機能代替システムの設計手法

研究課題

松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授

16. 微細構造をプラスチック・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明

研究課題

松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授

17. マイクロレンズアレイと微小光線走査機構を用いた薄型立体表示デバイス

研究課題

下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

18. 高分子材料の微細加工による多機能集積マイクロシステム

研究課題

下山勲東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 教授

19. マイクロケモメカトロニクスのための3次元微細構造の創成

研究課題

中尾政之東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

20. ナノメータサイズのチャネルにおける流体挙動の解明

研究課題

松本潔東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教授