メニュー
検索
研究課題をさがす
研究者をさがす
KAKENの使い方
日本語
英語
全文検索
詳細検索
絞り込み条件
絞り込み
研究期間 (開始年度)
-
検索結果: 11件 / 研究者番号: 20446735
すべて選択
ページ内選択
XMLで出力
テキスト(CSV)で出力
表示件数:
20
50
100
200
500
適合度
研究開始年: 新しい順
研究開始年: 古い順
配分額合計: 多い順
配分額合計: 少ない順
1.
ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
審査区分
小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
研究機関
新潟大学
研究代表者
寒川 雅之
新潟大学, 自然科学系, 准教授
研究期間 (年度)
2024-04-01 – 2026-03-31
交付
キーワード
触覚センサ
/
振動覚センサ
/
温冷覚センサ
研究開始時の研究の概要
本研究の目的は、ヒトの触覚と同様に多様な感覚を包含する触感の検出が可能で、汎用的なマイクロ触覚センサチップの実現と有用性実証である。ヒトの触覚受容器における複数の周波数特性と空間特性を再現した検知素子の開発と、接触面から検知素子に伝搬する経路における振動・熱の分析により、よりヒトに近く高感度な検出が
...
2.
圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
審査区分
小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
研究機関
兵庫県立大学
研究代表者
神田 健介
兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)
2024-04-01 – 2025-03-31
交付
キーワード
圧電薄膜
/
MEMS
/
エナジーハーベスティング
/
無線電力伝送
研究開始時の研究の概要
本研究は磁石と圧電薄膜を融合させることにより,高効率・高出力な振動発電素子を実現させることを目的としている。電子部品のようなサイズの振動素子には機械電気エネルギ変換素子であるPZT薄膜と振動質量となる磁石が搭載されており,離れた位置から低周波磁場が印加されると素子が振動してPZT薄膜が電圧を生じる。
...
3.
医療・介護IoTデバイスのためのMEMS振動型エナジーハーベスタによる電力伝送
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
審査区分
小区分28050:ナノマイクロシステム関連
研究機関
兵庫県立大学
研究代表者
藤田 孝之
兵庫県立大学, 先端医療工学研究所, 教授
研究期間 (年度)
2022-04-01 – 2025-03-31
交付
キーワード
エナジーハーベスタ
/
MEMS
/
電力伝送
研究開始時の研究の概要
外部からの与えられた交流磁界によって励振される振動型MEMSエナジーハーベスタの高性能化を図るものであるが,外部磁界による力の発生方向は,装着者(患者等)の姿勢に依存するため一義に規定できない。一方で振動型エナジーハーベスタは片持梁やバネ-マス振動機構を有する構造のため,励振加速度に対する発電方向を
...
研究実績の概要
外部からの与えられた交流磁界によって励振される振動型MEMSエナジーハーベスタの高性能化を図るものであるが,外部磁界による力の発生方向は,装着者(患者等)の姿勢に依存するため一義に規定できない。一方で振動型エナジーハーベスタは片持梁やバネ-マス振動機構を有する構造のため,励振加速度に対する発電方向を
...
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
この課題の研究成果物
学会発表 (2件 うち国際学会 2件)
4.
ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
審査区分
小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
研究機関
新潟大学
研究代表者
寒川 雅之
新潟大学, 自然科学系, 准教授
研究期間 (年度)
2022-04-01 – 2026-03-31
交付
キーワード
触覚センサ
/
振動覚センサ
/
温冷覚センサ
/
マイクロヒータ
/
圧電センサ
/
ひずみゲージ
/
二酸化バナジウム
/
MEMS
研究開始時の研究の概要
本研究の目的は、ヒトの触覚と同様に多様な感覚を包含する触感の検出が可能で、汎用的なマイクロ触覚センサチップの実現と有用性実証である。ヒトの触覚受容器における複数の周波数特性と空間特性を再現した検知素子の開発と、接触面から検知素子に伝搬する経路における振動・熱の分析により、よりヒトに近く高感度な検出が
...
研究実績の概要
本年度は多周波数特性・多空間特性検知素子および温冷感検知素子の開発と、接触面分析について並行して研究を進めた。
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
この課題の研究成果物
雑誌論文 (2件 うち査読あり 2件) 学会発表 (8件 うち国際学会 1件)
5.
圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
審査区分
小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
研究機関
兵庫県立大学
研究代表者
神田 健介
兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)
2020-04-01 – 2025-03-31
交付
キーワード
MEMS
/
振動発電素子
/
非線形効果
/
圧電
/
磁石
/
圧電薄膜
/
磁石薄膜
/
振動発電
/
非線形振動
/
エナジーハーベスタ
/
自律センサ
/
ハーベスタ
/
半導体製造プロセス
/
強誘電体
/
強磁性体
/
薄膜
/
微細加工
/
磁性体薄膜
研究開始時の研究の概要
MEMSと圧電薄膜,磁性薄膜を融合させた高効率振動発電素子を実現する。ワンチップ内に圧電膜と磁性膜を集積配置させて,双安定状態などの非線形振動を利用可能とし,MEMS振動発電の素子の広帯域化を図る。非線形振動利用による広帯域化について,素子設計のみならず,周辺回路についての検討も同時に行う。これらに
...
研究実績の概要
圧電PZT薄膜による振動発電素子にNdFeB薄膜磁石を集積化させ,広帯域な振動発電素子を実現することを目的として研究を行っている。前年度までにPZT薄膜とNdFeB薄膜4インチSiウエハ上に集積するバッチプロセスを確立し,それぞれの薄膜がその特性を損なうことなく機能することを確認している。
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
この課題の研究成果物
雑誌論文 (3件 うち査読あり 2件) 学会発表 (18件 うち国際学会 5件、招待講演 3件) 図書 (2件)
6.
圧覚・振動覚・温冷覚を包含したマイクロ触覚センサチップの開発
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
審査区分
小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
研究機関
新潟大学
研究代表者
寒川 雅之
新潟大学, 自然科学系, 准教授
研究期間 (年度)
2019-04-01 – 2022-03-31
完了
キーワード
触覚センサ
/
振動覚センサ
/
温冷覚センサ
/
マルチモーダル
/
マイクロヒータ
/
圧電素子
/
ひずみゲージ
/
カンチレバー
/
PZT
/
NiCr
/
MEMS
/
圧電体薄膜
研究開始時の研究の概要
本研究ではMEMS技術を用いた圧覚・振動覚・温冷覚を複合的に検知できる触覚センサの汎用チップ化の実現を目的とする。人間の触覚機能を参考にし、複数の時間周波数特性による振動・温度検知の実現と、伝熱の熱源となるヒータのチップ上への集積化を目指す。検知原理の過渡応答性の違いや検知部構造の機械的共振特性の違
...
研究成果の概要
MEMS技術を用いた圧覚・振動覚・温冷覚を複合的に検知できる触覚センサの汎用チップ化の実現を目的として研究を行った。圧覚・振動覚検知については、一つの検知素子に電気的な時間応答特性の異なる圧電素子とひずみ抵抗素子を積層して搭載したチップを試作し、それぞれ異なる応答を同時に得ることに成功した。一方、温
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (7件 うち査読あり 7件、オープンアクセス 2件) 学会発表 (47件 うち国際学会 6件、招待講演 1件) 図書 (3件) 産業財産権 (2件)
7.
微細加工技術を利用したナノピラー型マルチフェロイック複合体材料の開発
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
審査区分
小区分26030:複合材料および界面関連
研究機関
兵庫県立大学
研究代表者
小舟 正文
兵庫県立大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)
2018-04-01 – 2021-03-31
完了
キーワード
マルチフェロイック材料
/
高温スパッタ法
/
反応性イオンエッチング
/
有機金属化学気相堆積法
/
ピラー型複合体薄膜
/
電気磁気電圧係数
/
電気磁気結合現象
/
マルチフェロイクス
/
MOCVD法
/
マイクロピラー型構造
/
強誘電性
/
強磁性
/
交差相関
/
複合体
/
マイクロピラー型
/
マルチフェロイック複合体
/
電気磁気効果
/
界面構造
研究成果の概要
高温スパッタ法により,a軸及びc軸配向エピタキシャルBi系強誘電体(BNEuT)薄膜をそれぞれ,二種類の基板上に作製した. 反応性イオンエッチングにより,薄膜をマイクロロッド(MR)形状に微細加工して強誘電体ピラーを作製した.有機金属化学気相堆積(MOCVD)法によりフェリ磁性CoFe2O4 (CF
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (12件 うち査読あり 12件) 学会発表 (29件 うち国際学会 7件)
8.
圧電薄膜によるMEMSハプティックデバイスの創製
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
知能機械学・機械システム
研究機関
兵庫県立大学
研究代表者
神田 健介
兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)
2017-04-01 – 2020-03-31
完了
キーワード
MEMS
/
圧電薄膜
/
触覚アクチュエータ
/
IoT
/
MEMS・マイクロマシン
/
触覚ディスプレイ
/
ハプティックス
/
インターフェース
/
触覚デバイス
/
PZT
/
フレキシブル
/
マイクロ・ナノシステム
/
マイクロマシン
研究成果の概要
本研究は,近年発展が著しい超低消費電力のウェアラブルシステム向けの触覚出力に着目し,半導体製造工程を用いて実現可能な低背・小型・低消費電力な触覚アクチュエータ(人に触覚刺激を与える)の創成を目的とした。Siの半導体製造工程と圧電薄膜を組み合わせた圧電MEMSによって、この触覚アクチュエータを実現した
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (4件 うち査読あり 4件) 学会発表 (21件 うち国際学会 6件、招待講演 3件) 図書 (1件)
9.
圧電PZT薄膜の超多層積層成膜およびMEMSデバイスへの応用
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
知能機械学・機械システム
研究機関
兵庫県立大学
研究代表者
神田 健介
兵庫県立大学, 工学研究科, 助教
研究期間 (年度)
2014-04-01 – 2017-03-31
完了
キーワード
MEMS
/
圧電薄膜
/
多層成膜
/
マイクロ・ナノシステム
/
マイクロマシン
/
アクチュエータ
/
センサ
/
多層積層
/
チタン酸ジルコン酸鉛
/
薄膜
研究成果の概要
PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)薄膜と電極薄膜をシリコン基板上において交互に超多層積層させ、MEMS(微小電気機械システム)プロセス技術と組み合わせることによって、ハイスループット・高機能なアクチュエータを創出することを目的とした。成膜最適条件を見出し、良好な特性の4層以上の積層構造が得られることが確
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (6件 うち国際共著 2件、査読あり 6件、謝辞記載あり 6件) 学会発表 (21件 うち国際学会 4件、招待講演 3件)
10.
PZT/PZT薄膜バイモルフ構造の評価と応用
研究課題
研究種目
若手研究(B)
研究分野
知能機械学・機械システム
研究機関
兵庫県立大学
研究代表者
神田 健介
兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教
研究期間 (年度)
2011 – 2012
完了
キーワード
マイクロ
/
ナノメカトロニクス
/
圧電薄膜
/
MEMS
/
PZT
/
バイモルフ
/
アクチュエータ
/
センサ
研究概要
薄膜Pb[Zr,Ti]O_3:PZTの2層構造であるPZT/PZTバイモルフ構造のMEMSデバイスへの応用を目的とした.スパッタ法による成膜において,2層のPZT薄膜の成膜温度および電極金属の構造を含む成膜条件の最適化により,5.4um厚のPZT/PZT構造の成膜に成功した.電気特性・圧電特性評価よ
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (4件 うち査読あり 2件) 学会発表 (20件 うち招待講演 1件)
11.
表面近傍における生体物質の三次元・直接追跡
研究課題
研究種目
若手研究(B)
研究分野
流体工学
研究機関
首都大学東京
研究代表者
神田 健介
首都大学東京, システムデザイン研究科, 客員研究員
研究期間 (年度)
2007 – 2009
完了
キーワード
粒子追跡
/
全反射蛍光法
/
生体物質位置測定
/
マイクロチャンネル
/
量子ドット
/
マイクロチャネル
研究概要
界面から数100nm 以内の固液界面近傍における、ナノ粒子の濃度分布を直接観察により3次元的に測定する方法を確立し、これを用いて、濃度分布に溶媒の電気的特性や粒子のサイズが及ぼす影響を評価した。粒子サイズや溶媒の電気的特性によって、界面・粒子間の相互作用ポテンシャルは変化し、結果として界面近傍の粒子
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (1件 うち査読あり 1件) 学会発表 (5件) 図書 (4件)