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検索結果: 9件 / 研究者番号: 50221784
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1.
ダイヤモンドMOSデバイス開発のための界面電子輸送解析
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
審査区分
小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
研究機関
金沢大学
研究代表者
猪熊 孝夫
金沢大学, 電子情報通信学系, 教授
研究期間 (年度)
2023-04-01 – 2026-03-31
交付
キーワード
ダイヤモンド
/
界面
/
電子輸送
研究開始時の研究の概要
本研究は,ダイヤモンドと金属または絶縁体との界面におけるキャリア輸送現象と原子レベルの微視的構造との相関を明らかにし,種々の界面欠陥構造が電気伝導特性に与える影響を明らかにすることを目的とする。そのために,「絶縁体/ダイヤモンド界面」および「金属/ダイヤモンド界面」をモデル化した量子輸送シミュレーシ
...
2.
表面終端ダイヤモンドにおけるキャリア輸送特性解析
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
電子・電気材料工学
研究機関
金沢大学
研究代表者
猪熊 孝夫
金沢大学, 電子情報通信学系, 教授
研究期間 (年度)
2017-04-01 – 2021-03-31
完了
キーワード
ダイヤモンド
/
表面・界面
/
量子輸送
/
密度汎関数法
/
表面
/
界面
/
金属
/
電子状態
/
表面・界面物性
/
電子・電気材料
研究成果の概要
ダイヤモンドは,将来のパワーデバイス用半導体材料としてSiCやGaNを凌ぐ性能が期待されている。本研究の目的は,ダイヤモンドと金属または絶縁体との界面におけるキャリア輸送現象と原子レベルの微視的構造との相関を明らかにすることにある。ダイヤモンドデバイス応用において重要な「金属電極との接触特性」および
...
この課題の研究成果物
学会発表 (1件 うち国際学会 1件)
3.
シリコンナノ結晶分散薄膜を用いた微小球光共振器の作製と光学特性解析
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
電子デバイス・電子機器
研究機関
金沢大学
研究代表者
猪熊 孝夫
金沢大学, 自然科学研究科, 助教授
研究期間 (年度)
2005 – 2006
完了
キーワード
量子ドット
/
ナノ材料
/
応用光学
/
微小共振器
/
量子コンピュータ
研究概要
本研究では,Siナノ結晶を内包した微小球光共振器の新たな作製方法の確立を目的とする。さらに,その光学的性質について,自然放出光と微小共振器の相互作用に関する共振器量子電気力学的見地からの解析を行うことを目的とした。研究成果の概要は以下の通りである。
...
この課題の研究成果物
雑誌論文 (8件)
4.
Siナノ結晶分散薄膜を活性媒質として用いたフォトニック結晶の光学的特性
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
電子・電気材料工学
研究機関
金沢大学
研究代表者
猪熊 孝夫
金沢大学, 自然科学研究科, 助教授
研究期間 (年度)
2001 – 2002
完了
キーワード
シリコンナノ結晶
/
酸化物媒質
/
薄膜
/
フォトルミネセンス
/
フォトニック結晶
/
発光波長制御
研究概要
Siナノ結晶(nc-Si)分散薄膜において膜厚方向に結晶サイズ分布の周期的な変調を与え,このDBR構造を利用したFabry-Perot共振器を構成することによってスペクトル幅を20meV程度まで狭くできる。本研究では,さらに光波長オーダの2次元周期構造,いわゆるフォトニック結晶を構成することによる3
...
この課題の研究成果物
文献書誌 (6件)
5.
周期的構造変調層を形成したSiナノ結晶分散薄膜の電気的・光学的性質
研究課題
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
電子・電気材料工学
研究機関
金沢大学
研究代表者
猪熊 孝夫
金沢大学, 工学部, 助教授
研究期間 (年度)
1999 – 2000
完了
キーワード
シリコンナノ結晶
/
酸化物媒質
/
薄膜
/
多層構造
/
電気伝導度制御
/
プラズマCVD
/
発光材料
/
フォトルミネセンス
/
分布ブラッグ反射鏡
/
垂直光共振器
/
発光波長制御
研究概要
Siナノ結晶(nc-Si)をSi酸化物中に分散生成したnc-Si分散薄膜は,光励起により高効率の可視発光を呈する新しい発光材料であるが,電気伝導度が小さく電流注入による発光の実現が困難である。本研究では,発光効率の高い高抵抗層とSi-richな低抵抗層を多層化することにより,高効率発光と伝導度の向上
...
この課題の研究成果物
文献書誌 (3件)
6.
エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製
研究課題
研究種目
基盤研究(B)
研究分野
電子・電気材料工学
研究機関
金沢大学
研究代表者
長谷川 誠一
金沢大学, 自然科学研究科, 教授
研究期間 (年度)
1997 – 1999
完了
キーワード
多結晶シリコン
/
シリコン・ナノ結晶
/
結晶構造
/
界面制御
/
エッチング効果
/
基板のプラズマ処理
/
一軸配向
/
表面モフォロジー
/
エッチングガスの添加
/
結合構造
/
基板の表面処理
/
薄膜成長中のエッチング効果
研究概要
本研究の目的は、エッチングおよび基板表面の構造制御による、プラズマ化学気相成長(PECVD)法を利用しての高結晶性多結晶シリコン膜の低温作製法の開発に関する研究を行なうことにある。本研究では、結晶性の変化に対する、(1)SiH_4原料ガスへのSiF_4の添加効果、(2)SiF_4に加えて、H_2ガス
...
この課題の研究成果物
文献書誌 (27件)
7.
Si超微粒子分散薄膜を用いた電界発光素子の作製と基本特性評価
研究課題
研究種目
奨励研究(A)
研究分野
電子デバイス・機器工学
研究機関
金沢大学
研究代表者
猪熊 孝夫
金沢大学, 工学部, 講師
研究期間 (年度)
1996
完了
キーワード
シリコン超微粒子
/
薄膜
/
電界発光素子
/
プラズマ化学気相成長
研究概要
Siサブオキサイド(SiO_x)薄膜を高温熱処理・相分解する事により,Si酸化膜中にSi超微粒子を分散生成した,Si超微粒子分散薄膜(Si-cluster dispersed film:Si-CDF)は,光励起により強い赤色発光を呈し,さらに素子形成および微細加工に適した形態を持つ。本研究は,Si-
...
8.
光周波数掃引法による光回路素子の非破壊的内部診断・特性評価システムの構築
研究課題
研究種目
基盤研究(A)
研究分野
情報通信工学
研究機関
金沢大学
研究代表者
飯山 宏一
金沢大学, 工学部, 助教授
研究期間 (年度)
1996 – 1997
完了
キーワード
半導体レーザ
/
光周波数掃引
/
リフレクトメトリ
/
光干渉センサ
/
ディジタルフィルタ
/
最大エントロピー法
/
雑音
研究概要
光導波路や光ファイバーの内部診断・特性評価を目的として、半導体レーザを光源に用いたコヒーレントOFDR法(FMCW法)の構築を行った。光導波路診断を目的とする場合には1mm程度の空間分解能を目指し、光ファイバ診断の目的とする場合には1km以上の診断可能距離を目指してシステムを構築した。得られた結果は
...
この課題の研究成果物
文献書誌 (17件)
9.
電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析
研究課題
研究種目
一般研究(C)
研究分野
応用物性・結晶工学
研究機関
金沢大学
研究代表者
長谷川 誠一
金沢大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)
1993 – 1994
完了
キーワード
シリコン窒化膜
/
シリコン酸化膜
/
プラズマCVD
/
結合構造
/
電荷移動モデル
/
ランダム結合モデル
/
赤外吸収
/
ストレス
研究概要
高周波プラズマCVD法によるSi窒化(SiNx:H)膜及びSi酸化(SiOx:H)膜について、堆積条件を変化させて赤外吸収波形、膜ストレスおよび欠陥構造の変化を調べた。得られた知見は、
...
この課題の研究成果物
文献書誌 (10件)