KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 60725737

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検索結果: 2件 / 研究者番号: 60725737

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1. 4探針プローバ装置を用いた太陽電池材料の局所的粒界評価

研究課題

研究種目	若手研究(B)
研究分野	デバイス関連化学薄膜・表面界面物性
研究機関	一般財団法人ファインセラミックスセンター
研究代表者	鈴木俊正一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 研究員
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2017-03-31中途終了
キーワード	ナノ粒子 / 粒界 / ４探針プローバ / 太陽電池材料 / 4探針プローバ
研究実績の概要	本年度は、トランスファーロッドを修理し、4探針プローバ装置で、4探針（PtIrプローブ）を用いて金や白金などの貴金属線を用いて電気抵抗率の測定を行った。しかしながら、4探針では抵抗が低すぎるためか、測定値にばらつきが大きく、文献値と大きく異なるデータが得られた。

この課題の研究成果物	雑誌論文 (2件うち査読あり 2件、オープンアクセス 2件、謝辞記載あり 2件) 学会発表 (5件うち国際学会 2件)

2. 精密研磨用砥粒／ワーク界面における化学的相互作用の直接評価

研究課題

研究種目	基盤研究(C)
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	一般財団法人ファインセラミックスセンター
研究代表者	川原浩一一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 主任研究員
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2018-03-31完了
キーワード	化学機械研磨 / 化学作用性 / 化学的作用 / 評価方法 / ガラス精密研磨 / セリア系砥粒 / 化学機械研磨（CMP） / 化学作用
研究成果の概要	化学機械研磨（CMP）用砥粒について、砥粒の「化学的作用」に着目した検討を行った。サファイア基板のCMPの温度依存性から化学作用性を評価した。その結果、砥粒が一種の触媒のように振る舞い，Al-O結合の切断に必要な活性化エネルギーを低下していること、C面と比較して研磨速度が低いA面では、化学作用のメカ ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (3件うち査読あり 3件、謝辞記載あり 2件) 学会発表 (12件うち国際学会 3件)