KAKEN — 研究課題をさがす | 研究者番号: 80011188

1. 原料リサイクルCVD法による太陽電池用結晶シリコン薄膜の低コスト合成

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	反応工学・プロセスシステム
研究機関	東京大学
研究代表者	岡田文雄 (2005) 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授小宮山宏 (2003-2004) 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	2003 – 2005完了
キーワード	結晶シリコン太陽電池 / シリコン供給 / 原料リサイクル / 高収率プロセス / 化学蒸着法 / 物理蒸着法 / 単結晶シリコン薄膜 / エピタキシャルリフトオフ法 / 太陽電池 / CVD / エピタキシャル成長 / クロロシラン / 急速蒸着法 / エピタキシャルリフトオフ / シリコン薄膜 / リサイクルCVD / Siemens法 / SRI Report / シリコン粒子 / 一貫製造化プロセス / 低コストプロセス
研究概要	大規模太陽光発電はクリーンエネルギーシステム構築に不可欠である。バルクシリコン型は、資源量・安定性・安全性・発電効率等に優れ、現状8-9割を占める。しかしシリコン供給が半導体産業に依存し、生産量拡大の限界が指摘されている。本研究では、シリコン基板の大規模・低コスト製造法を研究した。 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (9件) 図書 (1件) 文献書誌 (6件)

2. DMFCによる環境低負荷型高効率エネルギー変換の新展開

研究課題

研究種目	特定領域研究
審査区分	理工系
研究機関	東京工業大学
研究代表者	山崎陽太郎東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2001 – 2005完了
キーワード	DMFC / メタノール / エタノール / クロスオーバー / 細孔フィリング膜 / 多孔体コンポジット膜 / アニオン交換膜 / MEMS / 小型燃料電池 / 白金触媒低減 / イオン伝導性膜 / メソポーラス炭素 / ナノ空間制御 / MEA / エタノール直接形 / DEFC / 電極触媒 / スタック構造 / 携帯電源
研究概要	本特定領域研究は、貯蔵や運搬が難しい水素を用いて発電する燃料電池の代わりに、これらが容易なアルコール液体燃料で直接発電する燃料電池の基礎研究を、直接メタノール形燃料電池(DMFC)を中心に行い、その実用化研究を加速することを目的とした。特に、DMFCの実用化を阻んでいる要因を、(1)発電効率が低い、 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (9件) 図書 (1件) 産業財産権 (1件) 文献書誌 (1件)

3. 触媒分子反応工学:グリーン化学プロセスの構築に向けて

研究課題

研究種目	特定領域研究
審査区分	理工系
研究機関	鹿児島大学 (2004) 名古屋大学 (2001-2003)
研究代表者	高橋武重 (2004) 鹿児島大学, 工学部, 教授服部忠 (2001-2003) 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2001 – 2004完了
キーワード	グリーン化学プロセス / 触媒化学と反応工学の接点 / 触媒分子反応工学 / 構造体触媒 / 反応場の創製 / 触媒機能制御 / 触媒反応場設計 / グリーンプロセス / 反応場 / グリーンケミストリー / 触媒設計 / 水蒸気改質 / 膜反応器 / 燃料電池
研究概要	本領域は、触媒化学と触媒反応工学の空白を埋めるため、ナノとマクロを結ぶ新しい学理、触媒分子反応工学、の構築を目的として、平成13年度から15年度までの3年間にわたって、班員個々の研究を実施するだけでなく、班横断型の共同研究を推進してきた。また、領域内でのミニシンポジウムを頻繁に開催して、触媒分子反応 ...

この課題の研究成果物	雑誌論文 (4件) 文献書誌 (20件)

4. アジア太平洋地域における環境保護における米国の位置と役割

研究課題

研究種目	特定領域研究
審査区分	人文・社会系
研究機関	東京大学
研究代表者	松原望東京大学, 大学院・領域創成科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	1998 – 2002完了
キーワード	持続的開発 / 物質収支 / 集合行為 / 資源政治 / エネルギー / 希少性 / リスク認知 / 米国環境法 / 資源 / 資源研究 / 環境政策 / 環境行政 / 環境法政策 / 自由貿易主義 / シアトル騒乱 / 自由貿易協定 / 多国籍企業 / 開発援助 / 環境と経済 / 州際地域 / 環境保護 / 環境リスク / 市民参加 / 環境管理 / 環境法 / 経済的政策手法 / 温暖化 / 市民訴訟 / 情報データ・ベース / 環境運動 / 心理的リスク / ベネフィット
研究概要	(松原)最終年度のとりまとめを行った。アジア・太平洋地域の環境問題は、開発と高い経済成長にともなう環境破壊、資源開発と相関する環境破壊、「環境保護」の名のもとの環境破壊、所得格差と不平等増大の進行、などの各論的問題が次第に総論化し、政策の統合と協調が政治経済学的に「集合行為」(オルソン問題)としての ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (41件)

5. 高効率太陽電池の低コスト生産のための原料リサイクルを伴うCVDプロセスの構築

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	反応・分離工学
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	1996 – 1997完了
キーワード	太陽電池 / ケミカル・ベイパ-・デポジション / 原料リサイクル / クロロシラン類 / 多結晶シリコン / エッチング / ケミカル・ベ-パ-・デポジション
研究概要	太陽電池発電層形成のための多結晶シリコンCVD法を対象として、原料ガスのリサイクル法を確立し、従来プロセスと比較してより低コストで高効率のCVDプロセスを構築することを目指した。 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (21件)

6. 固体表面への単分子層修飾と初期成膜の制御

研究課題

研究種目	基盤研究(A)
研究分野	反応・分離工学
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	1996 – 1998完了
キーワード	単分子層修飾 / CVD / 薄膜成長過程 / 単原子層修飾 / シリコン表面 / トリフルオロエトキシ基 / 初期成膜 / プラズマ処理 / 異常成長 / テトラエトキシシラン / TEOS / 単原子層酸化 / トリフルオロトキシ基 / 被覆率 / 速度論 / 水素終端 / 極薄酸化膜
研究概要	基板表面にきちんと定義された表面修飾層を導入すること、そしてこの表面修飾により薄膜成長過程を制御するという本研究の目的はほぼ達成された。表面修飾の手法として、気相中でのシリコン水素終端表面の単原子層窒化・酸化・硫化処理を提案し、処理を単原子層に留まらせる条件などを明らかにして、単原子層処理を実現する ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (22件)

7. ナノ構造の制御された高誘電体薄膜のCVDプロセス

研究課題

研究種目	試験研究(B)
研究分野	反応・分離工学
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	1994 – 1995完了
キーワード	CVD / ナオ構造 / 高誘電体薄膜 / 有機金属錯体 / ナノ構造
研究概要	平成6年度にはペロブスカイト型高誘電体を作成するためのCVD反応装置の作成を行った。特に本反応系では有機金属錯体の制御性のよい気化、輸送が重要であるとの認識から、供給量をin situに測定可能な新規な原料供給装置を設計・作成し、その性能を検証した。またPb酸化物の蒸気圧が高いことにより、Ti酸化物 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (18件)

8. 薄膜の初期成長過程制御のためのモノレイヤー処理

研究課題

研究種目	一般研究(B)
研究分野	反応・分離工学
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	1994 – 1995完了
キーワード	モノレイヤー処理 / CVD / ジメチルヒドラジン / 初期成膜 / 核発生密度 / 表面被覆率 / シリコン表面
研究概要	本研究の第一の目的はシリコン表面の単分子層処理であり、これを実現させた。水素終端されたシリコン表面という、一般に半導体プロセスで用いられている表面を出発点としてシリコン表面の単原子層窒化,硫化,酸化を行った。さらに、これらの処理後表面を土台としてアルコールなどを付加して分子修飾する可能性を探索した。 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (10件)

9. 水制御による砂漠緑化の設計と可能性評価

研究課題

研究種目	総合研究(A)
研究分野	化学工学一般
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授
研究期間 (年度)	1994 – 1995完了
キーワード	砂漠緑化 / 砂漠気象シミュレーション / 人工山 / 地球温暖化 / CO_2固定 / 降雨促進
研究概要	平成6年度には大規模スケールでの降雨量分布を予測するためのシミュレータの開発を行った。本シミュレータを地球レベルのグローバルモデルから与えられる境界条件、初期条件等のもとで利用し、オーストラリアでの地表条件と降雨量の関係についての検討を開始した。 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (30件)

10. 先端材料プロセスにおけるナノ単位操作

研究課題

研究種目	総合研究(B)
研究分野	反応・分離工学
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1993完了
キーワード	ナノ単位操作 / 先端材料プロセス / ナノ混合操作 / ナノ構造材料
研究概要	本研究では先端材料開発において用いられているサブミクロンからナノメーターレベルでの材料設計・構造制御・合成手法のなかから普遍的な手法を「ナノ単位操作」として体系化することを目的にしている。原子レベルでの物質の混合操作(ナノ混合操作)について、有機、無機、バイオなどの分野に普遍的な特徴を明らかにすると ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (4件)

11. 超塑性チタニアの気相合成

研究課題

研究種目	試験研究(B)
研究分野	反応工学
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1992 – 1993完了
キーワード	超塑性 / チタニア / ケミカル・ベイパ-・デポジション / ナノセラミックス / ケミカル・ベイパー・デポジション法 / ケミカル・ベーパー・デポジション / ナノ構造材料
研究概要	ナノメートルサイズの結晶子からなるセラミックス、いわゆるナノセラミックス材料はセラミックス一般の欠点である脆さを克服し高い靭性をもつ事が理論的・実験的に示されている。これまで、耐熱性・耐腐蝕性の高さから大きく期待されたにも関らず、脆さ故の信頼性の低さからなかなか実用化されなかったセラミックス構造材料 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (23件)

12. 反応過程の制御

研究課題

研究種目	重点領域研究
研究機関	京都大学
研究代表者	松波弘之京都大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1992完了
キーワード	光照射効果 / 表面反応 / 気相反応 / III-V族半導体 / シリコン / 酸化物 / 原子層エピタキシー / X線固相成長
研究概要	本研究は、半導体の光励起プロセスにおける、光子と反応ガスの相互作用、気相反応過程、および膜形成過程などの反応素過程を、理論、実験の両面から解析することによって、反応機構を明らかにし、最終的には反応過程を制御できるようにすることを目的としている。本年度は以下の成果を得た。[反応素過程の理論解析]光照射 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (5件)

13. 二酸化炭素排出低減技術に関する基礎的研究

研究課題

研究種目	重点領域研究
研究機関	東京大学
研究代表者	茅陽一東京大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1992完了
キーワード	二酸化炭素対策技術 / 抑制燃焼 / CO_2分離回収 / HYOROCAQB / CO_2深海貯留 / 太陽光発電 / CO_2電解還元 / CO_2回収発電システム
研究概要	1)スス生成によるCO_2の抑制燃焼法 1550K以上ではメタン中の炭素の50%以上をススとして回収できた。2)CO_2の回収技術煙道ガスからの湿式吸収として物理吸収法と減圧放散法を組合せた装置系でCO_2除去率は70%を超えた。CO_2分離膜素材では選択透過化90のポリアクロニトリル誘導体膜を開 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (20件)

14. 反応過程の制御

研究課題

研究種目	重点領域研究
研究機関	京都大学
研究代表者	松波弘之京都大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1991完了
キーワード	光照射効果 / シリコン / IIIーV族半導体 / 酸化膜 / X線励起 / 光反応素過程の解明 / シンクトロン放射光 / 絶縁物半導体界面
研究概要	本研究は、半導体の光励起プロセスにおける、光子と反応ガスの相互作用、気相反応過程、および膜形成過程などの反応素過程を、理論、実験の両面から解析することによって、反応機構を明らかにし、最終的には反応過程を制御できるようにすることを目的としている。本年度は以下の成果を得た。[反応素過程の理論解析]シラン ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (6件)

15. 二酸化炭素排出低減技術に関する基礎的研究

研究課題

研究種目	重点領域研究
研究機関	東京大学
研究代表者	茅陽一東京大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1991完了
キーワード	二酸化炭素対策技術 / 抑制燃焼 / CO_2分離回収 / HYDROCARB / CO_2深海貯留 / 太陽光発電 / CO_2電解還元 / CO_2回収発電システム
研究概要	1.対策技術総合評価モデル世界十地域、2050年までを見込んだ長期エネルギ-モデルのプログラム作成をほぼ終了した。2.CO2排出抑制燃焼技術反応温度と未反応ガス中の酸素の量が煤生成量に大きな影響を与えること、反応条件を適当に選ぶことによって、メタン中の炭素の10ー15%を煤として容易に回収出来た ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (16件)

16. 反応過程の制御

研究課題

研究種目	重点領域研究
研究機関	京都大学
研究代表者	松波弘之京都大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1990完了
キーワード	半導体 / 光励起プロセス / シリコン / 二酸化シリコン / 有機金属分子線エピタキシ / シンクロトロン放射光 / X線励起 / 分子軌道法
研究概要	本研究は、半導体の光励起プロセスにおける光子と反応ガスの相互作用、気相反応過程、および膜形成過程など反応素過程を、理論、実験の両面から解析することによって、反応機構を明らかにし、最終的には反応過程を制御できるようにすることを目的としている。本年度は以下の成果を得た。[反応素過程の理論解析]ab in ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (6件)

17. エネルギーシステムの新しい構成と運用

研究課題

研究種目	重点領域研究
研究機関	東京大学
研究代表者	茅陽一東京大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1989完了
キーワード	統合型エネルギーシステム / ロードマネージメント / 分散型エネルギーシステム / コージェネレーションシステム / 二酸化炭素回収 / 規模の経済性 / 民生需要モデル / 自家発電所運用
研究概要	I.統合型エネルギーシステム(IES)1)システム構成の分析と効果の評価:3種の統合概念を提案した。第一は供給面での統合で供給の量・価格変動に対処し、第二は需要面の統合で需要の変動に容易に対応し、第三は規模の統合で同一システム内で異なる規模の設備を包括、両者の欠陥を補完する。これらの利点を数値的に示 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (6件)

18. 熱CVD装置のシミュレ-ション

研究課題

研究種目	総合研究(A)
研究分野	化学工学
研究機関	群馬大学
研究代表者	加藤邦夫群馬大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1989 – 1990完了
キーワード	CVD / 多結晶シリコン / エピタキシャル成長 / ウエハ- / 薄膜形成 / 超微粒子 / 自然対流 / シリコン化合物 / 熱CVD / 薄膜成長 / エピタキシャル合成 / モノシラン
研究概要	CVD装置のシミュレ-ションを行うには、CVD反応に関する反応速度の知見と、熱CVD装置として工業的に用いられている反応装置内の装置特性、移動現象に対する知見が必要である。

この課題の研究成果物	文献書誌 (35件)

19. エネルギーシステムの新しい構成と運用

研究課題

研究種目	重点領域研究
研究機関	東京大学
研究代表者	茅陽一東京大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1988完了
キーワード	統合型エネルギーシステム / ロードマネージメント / 分散型エネルギーシステム / 核熱利用 / スケールメリット / 民生エネルギー需要特性 / エネルギーデータベース / コージェネレーションシステム
研究概要	1)統合型エネルギーシステムに関する研究近年の地球環境、中でも温室効果問題の関心増大を考慮して、現在はCO_2(二酸化炭素)の発生抑制を基本目標として作業を行なった。a)LPモデルによるCO_2の発生抑制シナリオの検討、b)化石燃料の2次エネルギー転換時のCO_2の除去のためのプロセスの化学工学的 ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (6件)

20. 超微粒子熱永動CVDによるAlN板の合成

研究課題

研究種目	試験研究
研究分野	反応工学
研究機関	東京大学
研究代表者	小宮山宏東京大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	1987 – 1988完了
キーワード	CVD / 超微粒子 / 熱永動 / 窒化アルミニウム / 成膜速度
研究概要	超微粒子沈着CVD法によって、AlCl_3とNH_3とから毎時1mmオーダーという高速でAlN膜を合成した。気相、固相で生じている現象を解明すること、反応装置工学的にスケールアップの指針を明らかにすることを目的とした。気相における主要な現象は、原料分子からAlCl_3(NH_3)nなるアダクト分子の ...

この課題の研究成果物	文献書誌 (6件)

研究期間 (開始年度)

1. 原料リサイクルCVD法による太陽電池用結晶シリコン薄膜の低コスト合成 研究課題

岡田 文雄 (2005) 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 小宮山 宏 (2003-2004) 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

2. DMFCによる環境低負荷型高効率エネルギー変換の新展開 研究課題

山崎 陽太郎 東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 教授

3. 触媒分子反応工学:グリーン化学プロセスの構築に向けて 研究課題

高橋 武重 (2004) 鹿児島大学, 工学部, 教授 服部 忠 (2001-2003) 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授

4. アジア太平洋地域における環境保護における米国の位置と役割 研究課題

松原 望 東京大学, 大学院・領域創成科学研究科, 教授

5. 高効率太陽電池の低コスト生産のための原料リサイクルを伴うCVDプロセスの構築 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

6. 固体表面への単分子層修飾と初期成膜の制御 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

7. ナノ構造の制御された高誘電体薄膜のCVDプロセス 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

8. 薄膜の初期成長過程制御のためのモノレイヤー処理 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

9. 水制御による砂漠緑化の設計と可能性評価 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

10. 先端材料プロセスにおけるナノ単位操作 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 工学部, 教授

11. 超塑性チタニアの気相合成 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 工学部, 教授

12. 反応過程の制御 研究課題

松波 弘之 京都大学, 工学部, 教授

13. 二酸化炭素排出低減技術に関する基礎的研究 研究課題

茅 陽一 東京大学, 工学部, 教授

14. 反応過程の制御 研究課題

松波 弘之 京都大学, 工学部, 教授

15. 二酸化炭素排出低減技術に関する基礎的研究 研究課題

茅 陽一 東京大学, 工学部, 教授

16. 反応過程の制御 研究課題

松波 弘之 京都大学, 工学部, 教授

17. エネルギーシステムの新しい構成と運用 研究課題

茅 陽一 東京大学, 工学部, 教授

18. 熱CVD装置のシミュレ-ション 研究課題

加藤 邦夫 群馬大学, 工学部, 教授

19. エネルギーシステムの新しい構成と運用 研究課題

茅 陽一 東京大学, 工学部, 教授

20. 超微粒子熱永動CVDによるAlN板の合成 研究課題

小宮山 宏 東京大学, 工学部, 教授

1. 原料リサイクルCVD法による太陽電池用結晶シリコン薄膜の低コスト合成

研究課題

岡田文雄 (2005) 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授
小宮山宏 (2003-2004) 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

2. DMFCによる環境低負荷型高効率エネルギー変換の新展開

研究課題

山崎陽太郎東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 教授

3. 触媒分子反応工学:グリーン化学プロセスの構築に向けて

研究課題

高橋武重 (2004) 鹿児島大学, 工学部, 教授
服部忠 (2001-2003) 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授

4. アジア太平洋地域における環境保護における米国の位置と役割

研究課題

松原望東京大学, 大学院・領域創成科学研究科, 教授

5. 高効率太陽電池の低コスト生産のための原料リサイクルを伴うCVDプロセスの構築

研究課題

小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

6. 固体表面への単分子層修飾と初期成膜の制御

研究課題

小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

7. ナノ構造の制御された高誘電体薄膜のCVDプロセス

研究課題

小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

8. 薄膜の初期成長過程制御のためのモノレイヤー処理

研究課題

小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

9. 水制御による砂漠緑化の設計と可能性評価

研究課題

小宮山宏東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授

10. 先端材料プロセスにおけるナノ単位操作

研究課題

小宮山宏東京大学, 工学部, 教授

11. 超塑性チタニアの気相合成

研究課題

小宮山宏東京大学, 工学部, 教授

12. 反応過程の制御

研究課題

松波弘之京都大学, 工学部, 教授

13. 二酸化炭素排出低減技術に関する基礎的研究

研究課題

茅陽一東京大学, 工学部, 教授

14. 反応過程の制御

研究課題

松波弘之京都大学, 工学部, 教授

15. 二酸化炭素排出低減技術に関する基礎的研究

研究課題

茅陽一東京大学, 工学部, 教授

16. 反応過程の制御

研究課題

松波弘之京都大学, 工学部, 教授

17. エネルギーシステムの新しい構成と運用

研究課題

茅陽一東京大学, 工学部, 教授

18. 熱CVD装置のシミュレ-ション

研究課題

加藤邦夫群馬大学, 工学部, 教授

19. エネルギーシステムの新しい構成と運用

研究課題

茅陽一東京大学, 工学部, 教授

20. 超微粒子熱永動CVDによるAlN板の合成

研究課題

小宮山宏東京大学, 工学部, 教授