マイクロストラクチュア-の製造とその耐久性評価

• Project/Area Number: 01460100
• Research Category: Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: 機械工作
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 山口 勝美 名古屋大学, 工学部, 教授 (40023056)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 中本 剛 名古屋大学, 工学部, 助手 (30198262) ; 森 敏彦 名古屋大学, 工学部, 助教授 (90023340)
• Project Period (FY): 1989
• Project Status: Completed (Fiscal Year 1989)
• Budget Amount: ¥6,900,000 (Direct Cost: ¥6,900,000); Fiscal Year 1989: ¥6,900,000 (Direct Cost: ¥6,900,000)
• Keywords: マイクロ加工 / 感光性樹脂 / 電鋳加工 / リングラフィ- / 紫外線 / エッチング

Research Abstract

本研究では、感光性樹脂に部品のパタ-ンを転写し、エッチングにより樹脂を取り除いた箇所に金属を電鋳する方法でマイクロストラクチュア-を作製するいわゆるウェット手法を採用した。
本年度はこの第一段階として、感光性樹脂に部品のパタ-ンを転写することについて研究を行った。このような部品を作製する場合、樹脂のパタ-ンの側壁を厚さ方向に垂直に作らないと、打ち抜き加工した部品に比べて良い製品が得られない。そこで、垂直な製品を得るために最適な感光性樹脂と光源の選択及び感光条件について検討を行った。転写して得られたパタ-ンの垂直度の測定、観察には走査型電子顕微鏡(本科学研究費補助金によって購入)を使用した。まず最初にどのような樹脂が適しているかを調べるために旭化成富士工場へ出張して調査を行い、様々な樹脂について検討した。その結果、液体性の樹脂を使用した場合、最も垂直な側壁が得られ、転写時間を短くて良いことがわかった。また、光源としては感光性樹脂が感光することが必要で、さらに平行光であれば部品の精度の点からも好ましい。そこでいろいろと検討した結果、He-Cdレ-ザ-(波長325nm)が適していることがわかった。現在は、さらに垂直な側壁が得られるように、エッチングの際の樹脂の収縮などについて検討を行い、いろいろと工夫を行っている。
このようにパタ-ンの転写についてはかなり検討した。次にこのパタ-ンをもとに電鋳加工を行う予定である。そのために、樋口プレシジョン(寝屋川市)へ出張して調査を行い、パタ-ン転写実験が官僚したらすぐに電鋳加工ができるように準備を進めている。