| Project/Area Number |
01550094
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| Research Category |
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
機械工作
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
森 敏彦 名古屋大学, 工学部, 助教授 (90023340)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
林 伸和 名古屋大学, 工学部, 助手 (30135305)
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| Project Period (FY) |
1989
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1989)
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| Budget Amount *help |
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1989: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
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| Keywords | レ-ザ計測 / コンピュ-タ制御 / 超音波加工 / メカノケミカルポリシング / 超精密加工 / シリコンウエハ |
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| Research Abstract |
1.実験装置
本実験で使用した実験装置は次の5つの部分に大別できる。
(1)加工部(超音波仕上げ装置):周波数・22kHz、出力・30Wmax、PZT電歪振動子、最大振幅・30μm
(2)表面形状検出部(レ-ザ変位測定器):設備備品として購入。最大粗さ<0.01μm、測定範囲・160μm
(3)加工圧負荷部(荷重負荷装置):釣合天秤方式、リニアモ-タ(PCに接続)で重り位置を移動
(4)XY走査部(精密位置決めテ-ブル):ストロ-ク長さ(XYとも)・120mm、精度・3μm
(5)制御部(パ-ソナルコンピュ-タ):設備備品として購入・PC-9801RX2、CPU(80286)・16bit(1)〜(4)を(5)で統括制御、制御及びデ-タ収録用プログラム(メインル-チン+26・サブル-チン)を開発。
2.実験条件
被加工剤・Si、ポリシング液・シリカ(SiO2)+NaOH(pH10)、ポリシャ・ナイロン、PTFE
〔変更した条件〕超音波出力(振幅、μm):5.4、12.4、20.5、25.7、負荷時間(分):0.5、1、3、30
負荷荷重(gr):50、100、200、ポリシング液のアルカリ度:pH9、10、13
3.実験結果
(1)超音波振幅及び負荷荷重はある程度までは有効に働くが、大きすぎる負荷はかえって超音波振幅を抑える。
(2)負荷時間及びポリシング液のアルカリ度を増すと、加工量は増加する。
(3)ポリシャとしては、PTFEの方がナイロンに比べ、加工能率が高い。
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