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レ-ザ計測で制御された超音波メカノケミカルポイシングによる超精密加工

Research Project

Project/Area Number 01550094
Research Category

Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field 機械工作
Research InstitutionNagoya University

Principal Investigator

森 敏彦  名古屋大学, 工学部, 助教授 (90023340)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 林 伸和  名古屋大学, 工学部, 助手 (30135305)
Project Period (FY) 1989
Project Status Completed (Fiscal Year 1989)
Budget Amount *help
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1989: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Keywordsレ-ザ計測 / コンピュ-タ制御 / 超音波加工 / メカノケミカルポリシング / 超精密加工 / シリコンウエハ
Research Abstract

1.実験装置
本実験で使用した実験装置は次の5つの部分に大別できる。
(1)加工部(超音波仕上げ装置):周波数・22kHz、出力・30Wmax、PZT電歪振動子、最大振幅・30μm
(2)表面形状検出部(レ-ザ変位測定器):設備備品として購入。最大粗さ<0.01μm、測定範囲・160μm
(3)加工圧負荷部(荷重負荷装置):釣合天秤方式、リニアモ-タ(PCに接続)で重り位置を移動
(4)XY走査部(精密位置決めテ-ブル):ストロ-ク長さ(XYとも)・120mm、精度・3μm
(5)制御部(パ-ソナルコンピュ-タ):設備備品として購入・PC-9801RX2、CPU(80286)・16bit(1)〜(4)を(5)で統括制御、制御及びデ-タ収録用プログラム(メインル-チン+26・サブル-チン)を開発。
2.実験条件
被加工剤・Si、ポリシング液・シリカ(SiO2)+NaOH(pH10)、ポリシャ・ナイロン、PTFE
〔変更した条件〕超音波出力(振幅、μm):5.4、12.4、20.5、25.7、負荷時間(分):0.5、1、3、30
負荷荷重(gr):50、100、200、ポリシング液のアルカリ度:pH9、10、13
3.実験結果
(1)超音波振幅及び負荷荷重はある程度までは有効に働くが、大きすぎる負荷はかえって超音波振幅を抑える。
(2)負荷時間及びポリシング液のアルカリ度を増すと、加工量は増加する。
(3)ポリシャとしては、PTFEの方がナイロンに比べ、加工能率が高い。

Report

(1 results)
  • 1989 Annual Research Report

URL: 

Published: 1989-04-01   Modified: 2016-04-21  

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