| Project/Area Number |
01602518
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Institution | Okayama University |
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Principal Investigator |
高橋 照男 岡山大学, 工学部, 教授 (60032918)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
伊永 隆史 岡山大学, 工学部, 助手 (30124788)
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| Project Period (FY) |
1989
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1989)
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| Budget Amount *help |
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1989: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
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| Keywords | 先端技術産業 / 有機金属化合物 / 循環 / 制御 / 水銀 / スズ / CVDプロセス / IC |
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| Research Abstract |
先端技術分野で使用頻度が著しく高まっている有機金属化合物の環境中での循環と制御については、研究代表者らが過去5年間にわたり実施してきた調査的研究の成果をもとにして研究を進めた。本研究では、従来からの調査をさらに継続するとともに、環境科学の立場から実験的かつシステム的に研究を展開することを目的として予備検討を行った。
本年度の研究成果として、先端技術産業では大学・研究機関・医療業や都市圏等と同様に多種少量の排出特性に即応した発生源対応型の複雑な処理プロセスが不可欠で、それらのシステム化、最適化が大きな課題となりつつあること、および人為起源の化学物質の中では利用範囲が大きく拡大した有機金属化合物に注目する必要があり、毒性の強い有機金属化合物が環境中へ廃棄された場合や無機金属が有機化反応により有機金属化合物に変換された場合の問題点などを速やかに指摘しなければならない時期にきていることが明らかになった。特に、環境中での有機金属化合物の循環、生成、制御に着目して、1000件以上にのぼる既往文献の調査・整理を試みた結果、水銀、鉛、スズ、ヒ素等の有機金属化合物に関し100ペ-ジを越えるレビュ-論文をまとめることができたことは、今後本研究を進展させるうえで大変有意義であった。
実験的研究の予備検討では、先端技術産業で使用・廃棄される可能性がある有機金属化合物の実態調査を行ったところ、IC工場のCVDプロセスで近年多用されるようになった金属水銀含有ガスが注目に値することを認めた。CVD基板への水銀蒸着とCVDプロセスの進行に伴う水銀有機化の反応機構などを解明する必要があるとの認識をもとに、反応条件を正確に制御可能なフロ-インジェクション法による分析手法を導入、特に気相での有機金属化反応をモデル実験により解析するため、本年度はまず実験装置の開発と製作について具体的検討を行った。
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Report
(1 results)
Research Products
(8 results)
