| Project/Area Number |
01604550
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
平野 眞一 名古屋大学, 工学部, 教授 (30016828)
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| Project Period (FY) |
1989
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1989)
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| Budget Amount *help |
¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Fiscal Year 1989: ¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
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| Keywords | エピタキシャル / 薄膜 / LiNb0_3 / LiTa0_3 / Li(Nb、Ta)0_3 / アルコキシド法 |
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| Research Abstract |
本年度の研究は、従来当研究室で行った、LiNb0_3薄膜のエピタキシ-結晶化についていの検討を発展させ、この薄膜の物性、及び、温度特性の制御に必要な、Nb原子のTa原子による置換反応を行い、LiTa0_3、Li(Nb、Ta)0_3結晶化膜の作製反応因子と結晶化過程を亜子等かにすることを目的とした。LiNb0_3膜の合成をもとにして、LiTa0_3、Li(Nb、Ta)0_3固溶体薄膜用原料溶液の調製した。Taを合有した金属アルコキシド溶液を用いて、部分加水分解条件を検討した結果、LiNb(OEt)_6と比較して、加水分解速度が著しく早く進行し、均一で安定な加水分解溶液の調製は困難であった。したがって、部分加水分解を用いず、溶液濃度を制御することにより、原料溶液とした。この溶液から、ディップ法により、基板上にゲル薄膜を得た後、加熱処理によって、LiTa0_3、及びLi(Nb、Ta)0_3薄膜を、エピタキシャル的にサファイア基板上に、合成することができた。この時の格子定数の変化は、Petersonらによって観察されているものと同様に、Vegard則に従うことがわかった。そして又、薄膜の合成過程に伴う、FT-LRスペクトルの変化を検討した結果、結晶化プロセスを水蒸気と酸素の混合気流中で行うことによって、乾燥酸素気流中での、同温度における結晶化と比べて、残留有機化合物の酸化分解、脱離の際の表面吸着C0_3^<2->D1もなく、かつ結晶化が促進されることが分かった。この結晶化の促進効果は、X線回析プロファイルにもよく反映されていることが確認できた。
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