| Project/Area Number |
01651004
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Institution | University of Tsukuba |
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Principal Investigator |
小川 力 筑波大学, 物理工学系, 助教授 (80015750)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
若木 守明 東海大学, 工学部, 教授 (20100993)
工藤 博 筑波大学, 物理工学系, 助教授 (40111364)
大嶋 建一 筑波大学, 物理工学系, 助教授 (70109271)
新井 敏弘 筑波大学, 物理工学系, 教授 (10015745)
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| Project Period (FY) |
1989
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1989)
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| Budget Amount *help |
¥3,100,000 (Direct Cost: ¥3,100,000)
Fiscal Year 1989: ¥3,100,000 (Direct Cost: ¥3,100,000)
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| Keywords | タングステン膜 / カーボン膜 / ラザフォード後方散乱 / ラマン散乱 / 全反射減衰法 / 薄膜測定 |
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| Research Abstract |
試料処理や測定に必要な諸装置は予定どおり購入し、整備・調整を行った。試料のタングステン(W)膜・カーボン(C)膜、ならびにW/C2層単一構造膜は電子ビーム蒸着法またはレーザー蒸着法によって成膜し、ラザフォード後方散乱(RBS)法・ラマン散乱法・全反射減衰(ATR)法によって、極薄膜の計測と界面層の評価の見通しを得べく実験上の考案を行った。RBS測定では、60MeVのS^<7+>イオンビームを用いた入射角45°測定散乱角151°における計測と、30MeVのO^<5+>イオンビームを用いた入射角80°測定散乱角165°における計測を行い、W膜ならびにC膜の厚さをよい精度で見積った。深さ分解については、入射角が80°の場合では入射角が45°の場合より約2倍の向上が得られ、数十Aオーダーの界面層の観測の見通しが立てられた。W/C2層単一構造膜については、FTーI端/ATR測定を行い、600cm^<-1>近傍にスペクトル変化を認めたが、解析途中である。カーボン膜について、異な母材ならびに異なる蒸着法によって成膜された膜のラマン測定を行い、どちらについてもスペクトル上に大きな違いが生じないこと、熱処理によって構造上の変化に由来する変化が起こること等の情報を得た。ここの測定のように、ラマン散乱測定は、試料の吸収係数のいかんによっては表面計測にも利用でき、W/C膜の多角的究明の一翼を担える可能性を示した。また、偏光解析・オージェ分析等を試みた。
その外、計測状態までには至ってしないが、RBS測定では更に深さ分解の向上を主指してタイムオブフライト法への装置の改造と、ATR測定では可視領域での計測が可能な測定系の設計・組み立てを行った。
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