| Project/Area Number |
03650039
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| Research Category |
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
物理計測・光学
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| Research Institution | Waseda University |
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Principal Investigator |
菊池 順 早稲田大学, 理工学研究所, 教授 (50063665)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
柏木 利介 早稲田大学, 理工学研究所, 助手 (40202006)
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| Project Period (FY) |
1991
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1991)
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| Budget Amount *help |
¥2,400,000 (Direct Cost: ¥2,400,000)
Fiscal Year 1991: ¥2,400,000 (Direct Cost: ¥2,400,000)
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| Keywords | 真空紫外光 / ホト・ダイオ-ド / ホト・エッチング / メッシュ型電極 / シリコン・ウェハ- |
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| Research Abstract |
我々の研究室でMITから送られて来た90μm間隔10μm幅のメッシュ・マスクを用いてAlメッシュ電極をp型シリコン上にホト・エッチング法で取り付けてその特性を調べてみた所、一応の成果を得たので、その製作方針に基いて20枚分の真空紫外光用メッシュ表面障壁型ホト・ダイオ-ドの製作を、昨年11月にレイチック社に依頼した。3月始めに試作品第一号が出来たので現在それをテスト中である。もしも、良いものができておればこの方針に従って20枚分製作することになっている。完成は4月下旬の予定である。
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