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レーザーアブレーション超微粒子のレーザープラズマ軟X線分光

Research Project

Project/Area Number 04230205
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

Allocation TypeSingle-year Grants
Research InstitutionUniversity of Tsukuba

Principal Investigator

村上 浩一  筑波大学, 物質工学系, 助教授 (10116113)

Project Period (FY) 1992
Project Status Completed (Fiscal Year 1992)
Budget Amount *help
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1992: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Keywordsレーザープラズマ / 軟X線吸収分光 / 時間・空間合解測定 / レーザーアブレーション / Si超微粒子 / C超微粒子 / 単発測定 / クラスター化の機構
Research Abstract

新しく開発したレーザープラズマ軟X線分光法を用いて、レーザーアブレーションでパルス的に生成されたシリコン(Si)及びグラファイト(C)の超微粒子の電子状態と形態を調べた。特に、軟X線が11nsのパルス幅を有することを利用して、レーザーアブレーション後、0〜120nsの時間に於て、11nsの時間分解能で軟X吸収スペクトルの時間変化を測定した。一パル入当りのX線ホトン数がアブレーション粒子の存在する領域で10^<11>個と極めて高いため、単発測定で吸収スペクトルが得られた。Siについては、100eV附近のL吸収端に、Cについては280eV附近のK吸収端に着目して研究を進め、以下に示すような新しい結果が得られた。
1.3〜20J/cm^2のレーザーエネルギー密度で、生成されるSiの超微粒子としては、Si原子,Si^<n+>(n=1,2,3,4)イオン,Siクラスター及び液体Siドロプレットが観測された。
2.これ等の生成割合はエネルギー密度と時間に著しく依存している。
3.本実験で初めて、Si原子及びSi^<n+>(n=1,2,3,4)イオンのL_<II,III>吸収端が実験で求められた。
4.Siクラスターはエネルギー密度が大きく、時間遅れが大きい程、即ち、120nsで最も多量に発生していることが判明した。
5.Cについてもレーザーエネルギー密度依存性があり、且つ、グラファイトのK吸収端によりエネルギーの低い所に新しい吸収ピーク(281eV)を見出した。
6.Si,C共にターゲット表面から軟X線ビームのプローブ点を変化させ、空間分解測定が可能であることを示した。
今後は、Heガスをパルス的に吹きつけ、クラスター化を促進させて、実験を進め、超微粒子の生成機構を明らかにする予定である。

Report

(1 results)
  • 1992 Annual Research Report
  • Research Products

    (6 results)

All Other

All Publications (6 results)

  • [Publications] K.Murakami(Invited): "Dynamics and Control of Laser ablation of Oxede Superconductors and Semiconcluctors" Proc.Workshop ¨Dynamic Response of Materials to Pulsed Heating¨. (1993)

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  • [Publications] K.Murakami(Invited): "Dynamics of Laser ablation of High TC Super-conductors and Semiconductors,and a New Method for Film Growth" European MRS Monographs. 4. 125-140 (1992)

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  • [Publications] K.Murakami,T.Ohyanagi,K.Hara,K.Masuda: "Shallow Donor States in InP-Electron-Spin-Resonance Indirced Overhauser Shift-" Materials Science Forum. 117-118. 369-371 (1993)

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  • [Publications] O.Yoda,A.Miyashita,K.Murakami,T.Ohyanagi,S.Aoki,N.Yamaguchi: "A haboratory Scale Apparatus for the Time-Resolved X-ray aksorption Spectroscopy using haser Plasmas" Proc.7th Intern-Cont,X-ray absorption Fine Structures. (1993)

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  • [Publications] A.Miyashita,O.Yoda,K.Murakami,T.Ohyanagi,S.Aoki,N.Yamaguchi: "Time-Resolued Soft X-Ray absorption Spectroscopy Apparatus Using Laser Produced Plasma X-Ray" Proc.Laser Advanced Materials Processing. 1029-1034 (1992)

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  • [Publications] O.Eryu,K.Murakami,K.Masuda,K.Shioyama,T.Mochizuki: "Strong Wavelength Dependence of Laser Ablation Fragments of Superconductor YBCO" Jpn.J.Appl.Phys.31. L86-L88 (1992)

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Published: 1992-04-01   Modified: 2016-04-21  

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