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超冷中性子による超精密加工表面の表面性状・構成元素の同時分析に関する研究

Research Project

Project/Area Number 05228201
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas

Allocation TypeSingle-year Grants
Research InstitutionIbaraki University

Principal Investigator

江田 弘  茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 住谷 秀保  茨城大学, 工学部, 助手 (30206594)
田村 祐二  茨城大学, 工学部, 助手 (80007624)
大村 悦二  茨城大学, 工学部, 助教授 (90144435)
Project Period (FY) 1993
Project Status Completed (Fiscal Year 1993)
Budget Amount *help
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1993: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Keywords超冷中性子貯臓チャンバ / 超冷中性子反射鏡・回折鏡 / 超精密加工表面創成 / 水素無含有表面創成 / Ni.Cu.Cの超精密加工 / 超加工機械 / 超磁歪材料 / Sub-angstrom-meter
Research Abstract

超冷中性子顕微鏡の開発研究を進めているドイツの研究者が検討しているが,現在の所,他に類例はない.超冷中性子のチャンバと反射鏡,回折鏡の開発が必須のため,その製作に取りかかった.そこで開発したのが,超精密加工表面を原子サイズより密な面を持つように仕上げる機械である.勿論,水素吸臓のない表面が求められる.反射鏡の素材は超冷中性子の反射率Rによって決まる.非晶質Ni,Be,Cu,C等がGold formulaによって有効であることが求められるので,この材料について回折鏡,反射鏡の製作を実施した.これを製作する機械が完成したのは10月('93年)である.Beは毒性と環境汚染のため省略した.Ni,Cu,Cについて,反射率Rを決めるV値(Ni=33.5×10^<-8>eV),Cu(24.4×10^<-8>eV),C(16.0×10^<-8>eV)の大なる順にミラーを作成した.その結果仕上げ面粗さRaは,Ra(Ni)=0.7〜1.2A(オングストローム,10^<-10>m),Ra(Cu)=0.5〜1.0A,Ra(C)=1.5〜3.0Aとなった.世界的に見て,これ以上の値は現在の所,実現された例はみられていない.この技術を支えているのは,本研究者らが発明した超磁歪材料Tb-Dy-Fe-Mnを用いた超精密位置決めアクチュエータの実現によることを多とする.この発明によって反射鏡,回折鏡の加工位置決めがSubnanometerを得ることが出来た.これまでは,米国ローレンスリバモア研究所が開発した電歪型アクチュエータによる2nmの位置決めが最高であった.以上の成果は次に示す研究発表に記載されている.次に,得られた超冷中性子蓄積チャンバと超冷中性子の反射鏡と回折鏡の性能テストを準備している.これに関する本格的な性能評価テストは,次年度以降に実施する.現在の所,予備的テストの結果回折鏡,反射鏡表面下50μmの深さにわたる水素吸臓は20〜150ppmであり,これを2桁程度減少し,0.1〜10ppm以下にするための技術開発を進めている.一つの方法は10^<-8>〜10^<-10>Torrでの加工,あるいは不活性ガスでの加工を検討している.

Report

(1 results)
  • 1993 Annual Research Report
  • Research Products

    (4 results)

All Other

All Publications (4 results)

  • [Publications] 江田 弘 他3名: "Tb-Dy-Fe-Mn-X系超磁歪材料の開発とそのアクチュエータに関する研究" 精密工学会'93春季学術講演論文集. p741-742 (1993)

    • Related Report
      1993 Annual Research Report
  • [Publications] 江田 弘 他4名: "クラスタダイヤモンド砥石による超精密表面創成に関する研究" 精密工学会'93春季学術講演論文集. P115-116 (1993)

    • Related Report
      1993 Annual Research Report
  • [Publications] 江田 弘 他2名: "CNC加工機によるX線光学素子の自由曲面創成に関する基礎研究" 第70期日本機械学会通常総会講演論文集. 930-9. P670-671 (1993)

    • Related Report
      1993 Annual Research Report
  • [Publications] 江田 弘 他2名: "超磁歪材料とそれを用いた超精密工作機械の開発に関する研究" 日本機械学会論文集(C編). 60(未定)(6月号). (1994)

    • Related Report
      1993 Annual Research Report

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Published: 1993-04-01   Modified: 2016-04-21  

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