レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測
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05237224
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
前田 三男 九州大学, 工学部, 教授 (80037910)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
興 雄司 九州大学, 工学部, 助手 (10243908)
内海 通弘 九州大学, 総合理工学研究科, 助教授 (10213430)
岡田 龍雄 九州大学, 工学部, 助教授 (90127994)
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| Project Period (FY) |
1993
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1993)
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| Budget Amount *help |
¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,600,000)
Fiscal Year 1993: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,600,000)
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| Keywords | レーザーアブレーション / レーザー誘起蛍光法 / 高温超伝導 / 薄膜 |
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| Research Abstract |
本研究の目的は、エキシマーレーザーアブレーションによって物質表面から瞬間的に各種ラジカルビームが発生することに着目し、それにレーザー誘起蛍光法(LIF)を適用して、発生したビームを表面との相互作用の研究を行なうものである。これまで我々はYBCO高温超伝導膜生成プロセスに適用し、Y,Ba,Cu,YO,BaO,CuO等のビームのふるまいについて研究してきた。これらの成果をもとに、各種ラジカルビームの生成に本方法を適用してゆく。本年度行なった研究は以下の通りである。
1)YBCOアブレーションプロセスについては、YOラジカルビームについてO_2緩衡ガスとの衝突のダイナミックス、基板との相互作用、微粒子の発生についてより詳細な観測を行なった。
2)アルミナセラミックスをアブレイトした時に発生するAl原子ビームのTOF速度分布計測を行ない、酸素との反応について研究した。
3)各種ポリマーのアブレイトを試みたが今のところC_2ラジカルビームのみしか観測していない。今後はさらに多原子のラジカル(CH,CH2,CF等)の観測を行なってゆきたい。
LIF観測系についても次年度は現在のアレイディテクターからCCDカメラに換え、2次元のTOFイメージングを試みる予定である。
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Report
(1 results)
Research Products
(5 results)
