オンマシン用ゾーンプレート干渉計の開発

• Project/Area Number: 05650122
• Research Category: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: 機械工作・生産工学
• Research Institution: Toyama Prefectural University
• Principal Investigator: 野村 俊 富山県立大学, 工学部・機械システム工学科, 助教授 (00104977)
• Project Period (FY): 1993 – 1994
• Project Status: Completed (Fiscal Year 1994)
• Budget Amount: ¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000); Fiscal Year 1993: ¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
• Keywords: オンマシン形状測定 / ゾーンプレート干渉計 / 非球面形状測定

Research Abstract

実在の球面原器の代わりに、ゾーンプレートから発生する回折波面を形の基準とする形状測定装置(ゾーンプレート干渉計)を二機種開発した.これらはいずれも加工された金属鏡を加工機上で測定することができる装置である.
これまでのゾーンプレート干渉計は,Fナンバーが2までのミラーしか測定できないものであった.新しく開発する干渉計は,(0,0)次回折光と(1,1)次回折光の干渉を利用し,Fナンバーが0.65まで測定可能である.この干渉計は,次の特長を持つ.オンマシンで形状測定できる.非球面度のミラーが測定できる.開口数の大きい明るいミラーを測定できる.絶対測定ができる.検査ミラーの中心にへそや穴がある場合にも測定ができる.
本年度は,これまでの干渉計をもとにオンマシン用ゾーンプレート干渉計を2機種設計した.一機種は本年度製作が完了した。これは,これまでの干渉計を改良したものである。もう一機種は,正確なゾーンプレートの位置の調整手順を考案して,より小型の干渉計にした.光学定盤の上で実験を行い,実現可能であることを確かめているが,まだ設計段階である.光学部品や機械電子部品はすでに購入したので,来年度完成をめざす予定である.