| Project/Area Number |
05750314
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
電子デバイス・機器工学
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| Research Institution | Yamaguchi University |
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Principal Investigator |
山本 節夫 山口大学, 工学部, 助教授 (30182629)
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| Project Period (FY) |
1993
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1993)
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| Budget Amount *help |
¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 1993: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
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| Keywords | 垂直磁気記録方式 / 磁気記録媒体 / 高密度記録 / Co-Cr / 記録特性 / 微細構造 / スパッタリング法 |
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| Research Abstract |
本研究は、Co-Cr垂直磁気記録媒体について、記録媒体の作製法、磁気特性やミクロな構造、記録再生特性、の相互の関係を明らかにし、高密度記録を実現することを目的とした。具体的には、バイアス・スパッタ法の採用による、Co-Cr記録媒体の磁気特性および記録再生特性向上、(2)スパッタArガス圧がCo-Cr記録媒体の磁気特性に及ぼす影響、について検討し、以下の知見を得た。(1)基板に-100V程度の負のバイアス電圧を印加しながらCo-Cr記録媒体をスパッタ成膜すると、垂直方向抗磁力の増加がもたらされるとともに、不純物ガスが多い雰囲気においては,不純物ガスが結晶配向性および磁気特性に及ぼす悪影響を緩和する効果があることが見い出した。このようなバイアス・スパッタ法で作製したCo-Cr垂直磁気記録単層膜媒体では、無バイアスで作製したものよりも高密度領域で高い再生電圧が得られることを記録再生特性の測定によって確認し、Co-Cr記録媒体の磁気特性および高密度記録性能の向上にバイアス・スパッタ法が有効であることを明らかにした。(2)磁気記録媒体を構成している磁性微粒子の磁気特性(特に抗磁力)が揃っているほど、鋭い磁化転移が実現できて高密度記録が可能になる。スパッタ法によるCo-Cr記録媒体の作製では、膜の機械的強度および垂直配向性の点からできるだけ低いArガス圧が望ましいとされてきたが、Arガス圧を20mTorrあるいはそれ以上にあえて高くした場合に、抗磁力分散の小さいCo-Cr記録媒体が作成できることが本研究で明らかになった。この研究結果は、孤立した微粒子構造をもち、微粒子の磁気的性質が揃った磁気記録媒体の作成法として、通常のスパッタ成膜法のような原子からの成膜法よりも、ガス中蒸着法に代表されるような微粒子からの成膜法の方がより有望であることを示しており、超高密度記録に適した記録媒体の新たな作製法の可能性が示唆された。
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