高気圧(1気圧以上)中でのフリーラジカルの生成とその機能薄膜形成への応用
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06228228
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Institution | Toyo University |
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Principal Investigator |
岡本 幸雄 東洋大学, 工学部, 教授 (90233387)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
吉田 泰彦 東洋大学, 工学部, 教授 (80134500)
柏木 邦宏 東洋大学, 工学部, 助教授 (30058094)
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| Project Period (FY) |
1994
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1994)
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| Budget Amount *help |
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1994: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
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| Keywords | フリーラジカル / 高気圧プラズマ / マイクロ波誘導大気圧プラズマ / 酵素ラジカル / 窒素ラジカル / 機能薄膜形成 |
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| Research Abstract |
1気圧の雰囲気の中で、マイクロ波電力(2.45GHz,1kw)を用いて、酸素および窒素プラズマを生成し、そのとき発生するこれらのラジカル(0*777.6nm,N*674.4nm)はじめ励起温度(Texc)や電子密度(ne)のマイクロ波電力(W)などによる空間分布依存性を明らかにした。
これらのプラズマの生成には、岡本が研究開発したOkamoto Cavity(Anal.Sci.,7(1991)283)を用い、まず安定に動作する領域を明らかにした。次に、これらラジカルの強度を発光強度から、プラズマのTexcをFeの原子線の発光強度のボルツマンプロットから、さらにneをSahaの式をベースにFeの原子線とイオン線の強度比から得た。マイクロ波電力W=1kwでプラズマ生成のためのガス流量10l/minのとき、Texc=5-6x10^3K,ne=10^<13>-10^<14>cm^3が得られた。このとき、ラジカル(0*777.6nm,N*674.4nmなど)をかなり選択的に制御できることが明らかになった。
今後は、これらプラズマ中のラジカルの輸送過程を明らかにすると共に、これらラジカルを用いて、アッシングはじめ機能性薄膜などの創製を検討し、大気圧ラズマの新しい応用を拓く予定である。
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Report
(1 results)
Research Products
(2 results)
