• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

ホモエピタキシ-基板用のGaNバルク単結晶の電気伝導度制御に関する研究

Research Project

Project/Area Number 06650014
Research Category

Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Applied materials science/Crystal engineering
Research InstitutionChubu University (1995)
Nagoya University (1994)

Principal Investigator

後藤 英雄  中部大学, 工学部, 助教授 (00195942)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 平松 和政  名古屋大学, 工学部, 助教授 (50165205)
デートプロム ティーラデ  名古屋大学, 工学研究科, 特別研究員
Project Period (FY) 1995
Project Status Completed (Fiscal Year 1995)
Budget Amount *help
¥2,300,000 (Direct Cost: ¥2,300,000)
Fiscal Year 1995: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 1994: ¥1,400,000 (Direct Cost: ¥1,400,000)
KeywordsGaN / バルク単結晶 / ハイドライド気相成長 / ホモエピタキシ- / SiO_2マスク / 選択成長 / ZnOバッファ層 / 伝導性制御 / キャリア濃度 / SiCl_4 / 抵抗率
Research Abstract

現在、(0001)サファイア基板上にスパッタリングで堆積したZnOバッファ層上に、ハイドライド気相成長(HVPE)法により、、アコドープバルクGaN単結晶を作製している。この方法では、キャリア濃度10^<16>cm^<-3>の高品質n型単結晶が得られる。この結晶を基板として、Mg濃度7×10^<19>cm^<-3>のP型GaNを有機金属化学気相成長法によりホモエピタキシャル成長させてPn接合として、青色発光ダイオードを実現した。Pn接合の電流・電圧特性は直列抵抗成分と、ピットにおけるリ-ク電流により、6Vの立ち上がりと、低い逆方向の耐圧であった。
サファイヤ基板上に堆積したZnOバッファ層上に、SiO_2をスパッタし、ZnO上とSiO_2上の成長の差異を利用して選択成長を行った。SiO_2マスクが無い場合と同様の平坦なGaN膜が成長し、SiO_2上には、六角すい状のGaN結晶粒がわずかに成長した。
SiO_2マスクとの境界では、GaNには{1TO1}のファセットが現れた。また、数十μmの幅で、数μmの高さのエッヂ成長が観測された。ZnO上、SiO_2上どちらのGaNも青色域にピークを持つルミネセンスが観測された。

Report

(2 results)
  • 1995 Annual Research Report
  • 1994 Annual Research Report
  • Research Products

    (2 results)

All Other

All Publications (2 results)

  • [Publications] T.Detchprohm他: "The Analysis of the Shallow and Deep Levels of Mg-Doded GaN by DLTS and Hall Measurement" The Electrochemical Society. 95-21. 50-54 (1995)

    • Related Report
      1995 Annual Research Report
  • [Publications] T.Detchprohm 他: "MOVPE growth and characteristics of Mg-doped GaN using GaN substrates" Journal of Crystal Growth. 145. 192-196 (1994)

    • Related Report
      1994 Annual Research Report

URL: 

Published: 1994-04-01   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi