高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と表面の評価
| Project/Area Number |
06650154
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| Research Category |
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
機械工作・生産工学
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| Research Institution | Chubu University |
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Principal Investigator |
難波 義治 中部大学, 工学部, 教授 (40029129)
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| Project Period (FY) |
1994
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1994)
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| Budget Amount *help |
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1994: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
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| Keywords | 紫外レーザ / CVD-SiC / 超精密研削 / 表面粗さ / 延性研削 / レーザ耐力 / 反射率 / フラクタル |
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| Research Abstract |
本研究は、紫外の高出力レーザに使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する平面光学素子を提供し、高出力エキシマ・レーザおよびレーザ核融合の開発を側面より強力に支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。
1)金属は赤外および可視域では高い反射率を示すが、紫外域では急速に反射率が低下し、200nm以下ではSiCの反射率の方が高くなる。そこで、高出力紫外レーザ用反射鏡材料として高融点で熱伝導が高く鏡面加工ができるCVD-SiCを採用することを考え、これをレジノイドボンドダイヤモンド砥石と超精密平面研削盤で超精密研削した。その結果、捨て研削をして砥粒切れ刃の高さを調整することにより、研削のみで表面粗さ0.4nm rmsの鏡面が得られた。
2)CVD-SiCをレジノイドボンドタイヤモンド砥石で研削した結果、♯1500砥石で延性研削が可能であり、メタルボンドダイヤモンド砥石においては、ドレッシング直後♯2000では延性と脆性の混在面になり、♯4000で延性研削面になることが明らかとなった。
3)トロイダル面を創成するため、メタルボンドダイヤモンド砥石と超精密研削加工機でCVD-SiCを研削した結果、長さ500mm、幅50mmの試料をサブミクロンの精度で非球面加工することができた。
4)表面粗さの解析法として、フラクタルを利用した方法を考案し、各種測定法間の測定値の互換性を得ることが出来るようになった。
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Report
(1 results)
Research Products
(16 results)
