圧電素子の急速変形を利用した多自由度多機能マイクロ鉗子の開発
| Project/Area Number |
06750270
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Intelligent mechanics/Mechanical systems
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| Research Institution | Kanagawa Academy of Science and Technology |
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Principal Investigator |
山形 豊 (財)神奈川科学技術アカデミー, 研究員 (70261203)
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| Project Period (FY) |
1994
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1994)
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| Budget Amount *help |
¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Fiscal Year 1994: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
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| Keywords | 圧電素子 / マイクロマシン / マイクロマニピュレータ |
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| Research Abstract |
平成6年度の研究実績は以下のとおりである。
(1)マイクロ化されたアクチュエーターの実験によるサイズ効果と移動特性の検証。
マイクロ化された圧電素子の急速変形による移動機構(アクチュエーター)を製作しその移動特性を詳細に調べることにより,アクチュエーターの小型化に伴うサイズ効果を知ることができた。マイクロ化されたアクチュエーター機構では一般に、固体摩擦力の影響が大きくなり慣性力の影響が小さくなるため移動機構の動作は困難になると考えられているが、さらに第3の要因として機構の共振周波数がサイズ効果により上昇することを考慮に入れ、高い周波数で駆動を行うことで通常のサイズのアクチュエーターと同等かそれ以上の高速な動きが可能であることが実験的に実証された。具体的には、10cmの大きさの移動機構の最高速度は約10mm/secであったが、7mmの大きさの移動機構では30mm/secの速度を得ることが可能であった。このことは、マイクロ化されたアクチュエーターの動作可能性を拡大するもので非常に有意義な結果と言える。
(2)マイクロ鉗子のための微小部品の作成と組立。
多機能自由度マイクロ鉗子を実現するにはアクチュエーターの構成、制御技術の他に1mm以下の超小型部品を製作する方法が不可欠である。超精密切削加工の技術を用いることで、直径700μmのマイクロ鉗子部品を製作する事に成功した。
総合的に見て、マイクロアクチュエータおよびマイクロパ-ツの作成という二つの大きな成果によって、多機能多自由度マイクロ鉗子の作成のための基礎技術を確かなものとする事ができた。
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Report
(1 results)
Research Products
(1 results)
