| Project/Area Number |
06750691
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Inorganic materials/Physical properties
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
河合 晃 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (00251851)
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| Project Period (FY) |
1994
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1994)
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| Budget Amount *help |
¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 1994: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
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| Keywords | 誘電率 / 表面自由エネルギー / チタン酸バリウム / リソグラフィー / 表面粗さ / 半導体集積回路 / 薄膜 / スパッタリング |
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| Research Abstract |
本研究によって、以下の知見と成果を得た.
1.チタン酸バリウム薄膜の誘電特性は、下地となる電極材料の影響を受ける,特に表面自由エネルギー的な相互作用において、その極性成分の影響が極めて大きいことがわかった.
2.遷移金属薄膜の表面自由エネルギーは、金属のd軌道電子の影響を大きく受ける.表面自由エネルギーの分散成分はd軌道の電子充足度に依存し、極性成分はd軌道の電子の飽和/不飽和に大きく左右されることがわかった.
3.薄膜どうしの相互作用である接着力は、誘電現象の一種であるファンデルワールス力が主な要因である.接着挙動は薄膜の表面自由エネルギーを測定することにより、推定が可能である.
4.原子間力顕微鏡を用いて微細カンチレバ-と薄膜表面間に働く表面力(ファンデルワールス力)を実測し、接触角法で求められた値と比較を行った.両者には強い相関があり、非接触な手法で表面自由エネルギーを求めることが可能となった.
5.原子間力顕微鏡を用いて薄膜の表面力を測定することにより、任意の表面間の接着力を推定する手法を提案した.実際の接着試験結果とも良い対応がとれることを確認した.
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