X線励起電流測定による大気中での表面分析

• Project/Area Number: 06750834
• Research Category: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: 工業分析化学
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 早川 慎二郎 東京大学, 工学部, 助手 (80222222)
• Project Period (FY): 1994
• Project Status: Completed (Fiscal Year 1994)
• Budget Amount: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000); Fiscal Year 1994: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
• Keywords: X線励起電流 / 表面分析 / XAFS

Research Abstract

本研究では以下の3つの課題に取り組んだ。2)、3)は大気中におけるX線励起電流の機構を明らかにするためであり、実験結果を基に電流強度の理論的解釈、分析深さについての検討を行った。
1)X線励起電流測定用、試料ホルダーの作成
2)X線励起電流の気圧依存性測定
大気圧から0.1torr程度までの真空を実現できるチャンバー(既存)を利用して、X線励起電流の気圧依存性を測定した。
3)X線または印加電圧の変調によるキャリアの移動度評価
チョッパーによる入射X線の強度変調を行い、2位相ロックインアンプを用いてX線励起電流の応答を調べる。変調に対して電流が追従できなくなる周波数、位相遅れからキャリアの移動度、質量の評価を行った。
これらの結果をもとにSi表面に蒸着した金薄膜についてX線励起電流検出のXAFS測定を行い、その有用性を確認した。