超高感度表面水素3次元検出装置の開発

• Project/Area Number: 07555006
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 展開研究
• Research Field: 表面界面物性
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 山崎 泰規 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 教授 (30114903)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 東 俊行 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助手 (70212529) ; 小牧 研一郎 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 教授 (40012447)
• Project Period (FY): 1995 – 1997
• Project Status: Completed (Fiscal Year 1997)
• Budget Amount: ¥18,800,000 (Direct Cost: ¥18,800,000); Fiscal Year 1997: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000); Fiscal Year 1996: ¥6,200,000 (Direct Cost: ¥6,200,000); Fiscal Year 1995: ¥11,700,000 (Direct Cost: ¥11,700,000)
• Keywords: 多価イオン / 表面水素 / ポテンシャルスパッタリング / 水素検出

Research Abstract

低速多価イオンによる表面水素、表面不純物のポテンシャルスパッタリングイールド、及び、放出エネルギー・角度分布を時間敏感型2次元位置敏感検出器で測定した。以前のデータとのよい一致が確認された他,水素以外の2次イオンの放出エネルギーは1eV程度以下であるのに水素イオンは10eVにも達し、かつ、表面垂直方向から大きくずれて放出される事がはじめて確認された。これは我々の提唱しているポテンシャルスパッタリングモデルを支持する重要な知見であるとともに,今後の定量的表面水素分析の可能性をほぼ確実にした実験事実である。

Research Products

• [Publications] S.Ninomiya, Y.Yamazaki et al.: "Stabilized Hollow Atoms produced with Slow multiply charged Ions passed through metallic microcapillaries" Physica Scripta. T73. 316-317 (1997)
• [Publications] Y.Yamazaki: "Production of Hollow Atoms in HCI-surface collision" Physica Scripta. T73. 293-297 (1997)
• [Publications] T.Ito, Y.Yamazaki et al.: "Channeling with 290HeVlu C^<6+> ions in a Si crystal" Physica Scripta. T73. 345-346 (1997)
• [Publications] T.Azuma, Y.Yamazaki et al.: "Resonant Coherent Excitation of Relativistic Ar^<17+> Ions Channeled in a Si Crystal" Nucl.Instrum.Methods B. (to be published). (1998)
• [Publications] Y.Yamazaki,S.Ninomiya et al.: "Stabilized hollow atoms(ions)produced with multiply charged ions passed throuzh microcapillavies" Journal of Physical Society of Japan. 65. 1199-1202 (1996)
• [Publications] I.Yu.Tolstibhina,Y.Yamazaki,et al.: "Coster-Kronig electron spectra from the single and triplet IS^22pnl states of S^<12+>" physica scripta. 54. 188-196 (1996)
• [Publications] T.Azuma,K.Komaki,Y.Yamazaki,et al.: "Trajectory Dependent charge-state distribution of planar channeled heauy ions" Nucl.Instrum.Methods B. (to be published). (1997)
• [Publications] S.Ninomiya,Y.Yamazaki,et al.: "L x-ray emission from slow multiply charged Ar ions bombarding Be,C,and Al targets" Nucl.Instrum.Methods B. (to be published). (1997)
• [Publications] J.Burgdorfer and Y.Yamazaki: "Potential Sputlering of protons with slow multiply charged ions" Phys.Rev.A.(to be published). (1997)
• [Publications] N. Kalzutani,Y. Uamazaki et al.: "Strong Chavge State dependeuce of H^+ and H_2^+ sputtering induced by slow highly charged iors" Nucl. Instrum,Methods B. 96. 541-544 (1995)
• [Publications] N. Kalzutani,Y. Uamazaki et al.: "Potential Sputtering of H^+ from a surtace under slow nighly chansed ion bombardwent" Jpn. J. Appl. Phys.34. L580-L583 (1995)