| Project/Area Number |
08243227
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Research Institution | Nagoya University |
|---|
Principal Investigator |
坂 公恭 名古屋大学, 工学部, 教授 (90023267)
|
|---|
| Project Period (FY) |
1996
|
| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1996)
|
| Budget Amount *help |
¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Fiscal Year 1996: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
|
|---|
| Keywords | 電顕内その場加熱実験 / 高分解能観察 / Si / SiC |
|---|
| Research Abstract |
傾斜化プロセスの最適化のためには固体-固体、固体-液体、固体-気体間の反応の要素過程を理解することが必要である。本研究では最近開発した、1500℃という高温でも原子レベルでの高分解能その場観察が可能で、かつ元素分析が可能な電子顕微鏡内その場加熱ホルダーを用いて傾斜化過程の直接高分解能観察を試みた。
即ち、Siの粉末と黒鉛の粉末を同時に加熱フィラメント上に付着させ、1400〜1500℃に加熱し、Si+C*SiC反応によってSiCの合成を行った。加熱前後の電顕写真および回折図形の比較より、加熱前では単結晶Siの回折斑点と黒鉛のDebye ringが観察されるのに対して、加熱後には全く別の回折斑点が現れており、SiCが形成されたと結論した。一部では未反応のため黒鉛が残留しており、SiC/Cの傾斜化が達成されていた。これらの過程を高分解能観察し、傾斜化過程を原子レベルで明らかにした。
これらの成果は科学誌に論文として公表されるとともに、平成8年7月に開催された「第8回異相界面/粒界に関する国際会議」、および平成8年11月に開催されたMRSで発表した。また、平成9年1月にアリゾナ州立大学で開催された「界面の原子構造と化学に関するワークショップ」で招待講演を行った。
|
