| Project/Area Number |
09750063
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Applied optics/Quantum optical engineering
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| Research Institution | Toyota Technological Institute |
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Principal Investigator |
大知 渉之 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, PD研究員 (70288554)
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| Project Period (FY) |
1997 – 1998
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1998)
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| Budget Amount *help |
¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Fiscal Year 1998: ¥500,000 (Direct Cost: ¥500,000)
Fiscal Year 1997: ¥1,700,000 (Direct Cost: ¥1,700,000)
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| Keywords | X線レーザー / マイクロXPS / シュヴァルツシルトミラー / マイクロビーム / Schwarzschildミラー / エッジ掃引法 |
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| Research Abstract |
本年度は、マイクロビームのビームサイズを幾何光学的に得られる理想的な大きさにするために、いくつかの対策を講じた。またその後、XPS装置を構築し装置の立ち上げを行った。
(1) マイクロビーム実験
対策として二つ行った。まず、ポンプの振動により生じるチェンバーの振動をおさえるために、除震用ゴムを使用したり、振動部分をしっかり固定した。また、測定時に用いるナイフエッジの刃先をより鋭いものに交換した。以上の対策を行った結果、幾何光学的に得られる大きさ約0.45μmに対して、共振器OFFの時は約0.42μm、共振器ONの時は約0.45μmとほぼ理想値の大きさを得ることができた。
(2) XPS装置の立ち上げ
この装置では、X線レーザの励起源であるYAGレーザーシステムとして、繰り返し運転(10Hz運転)可能なレーザーを用いることにした。それに伴い、ターゲットの形状を板状のものから、テープ状のものに代えた。このターゲットを用いて測定した結果、光電子を検出することできなかった。今回光電子の検出に至らなかった原因としては、励起源であるYAGレーザーシステムの出力不足にあると考えられる。そのために、X線レーザー線(波長15.47nm)の強度が小さかったものと思われる。このレーザーシステムの問題点としては、テープターゲット表面でのYAGレーザーの反射による波形の乱れと、繰り返し運転による出力低下、電磁ノイズによるS/Nの低下がある。初めの二つはYAGレーザーのロッドの状態、三つめは信号処理系が影響している。これらの問題点は現在対処中であり、具体的には繰り返し周波数を下げること、そしてノイズ発生源とノイズを取り込んでいる部分のシールドを行うことである。
これらのYAGレーザーシステムの改善を行うことにより、サブミクロン空間分解能を持った装置が動作できるものと考える。
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