大強度イオンビームを用いた材料作製のためのイオン源開発
| Project/Area Number |
09780430
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
プラズマ理工学
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
江 偉華 長岡技科大, 工学部, 講師 (90234682)
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| Project Period (FY) |
1997 – 1998
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1998)
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| Budget Amount *help |
¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
Fiscal Year 1998: ¥300,000 (Direct Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 1997: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
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| Keywords | プラズマ / パルスパワー / イオンビーム / イオン源 / 薄膜 / プラズマプロセス |
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| Research Abstract |
本研究の目的は、パルスイオンビームを用いた材料作製における動作安定、長寿命、高信頼性を持つイオン源を開発することである。その方法として、従来使用されるフラッシュオーバー方式イオン源の代わりにガスパフ方式イオン源を開発する。
平成9年度中での研究内容:
1)ガスパフ部及び駆動電源の作製と動作評価。
2)ガスパフより発生されたガスをパルス放電により電離・加速するプラズマガン及びその駆動電源の作製と動作評価。
以上の研究結果より得られた成果:
1)発光観測により、プラズマは均一に生成され、加速されていることを確認した。
2)プラズマガンの下流97mmの位置で、中性ガスの熱膨張速度(〜300m/s)に比べ十分大きなプラズマ進展速度(1Okm/s)を得た。このときのプラズマ電流密度100/Acm^2である。
3)窒素ガスを使用した場合、プラズマ中のイオンは主に窒素の1価と2価イオンである。
以上の成果より、イオン源のためのプラズマの生成が確認され、次の段階としてのイオンビーム引き出し実験へ進めるための準備ができた。
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Report
(1 results)
Research Products
(5 results)
