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次世代強誘電体メモリ用強誘電体材料の電気的及び物理的特性

Research Project

Project/Area Number 09F09816
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section外国
Research Field Inorganic materials/Physical properties
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

舟窪 浩  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 准教授

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) CHENTIR M.-T.  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 外国人特別研究員
Project Period (FY) 2009 – 2011
Project Status Completed (Fiscal Year 2011)
Budget Amount *help
¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Fiscal Year 2011: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2010: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2009: ¥400,000 (Direct Cost: ¥400,000)
Keywords強誘電体メモリ / モデル実験 / 新物質探索 / 基礎特性 / 温度依存 / 温度依存性
Research Abstract

強誘電体メモリ(FeRAM)は、現在コンピュータのメインメモリとして使用されているDRAM並みの高速動作と、電源を切っても情報が保持される不揮発性を併せ持つ"究極のメモリ"として開発された。FeRAMは日本のメーカーが世界に先駆けて商品化し、JRのスイカ等に幅広く使われている。しかし、FeRAMを高密度化し、コンピュータのメインメモリとするためには、優れた強誘電性をもつ新物質の探索と、その物質の信頼性確保が不可欠である。本研究は、エピタキシャルのモデルサンプルを用いることで、新物質の探索とその信頼性確保を行おうとする野心的な研究である。
3年目の今年度は、環境に配慮した非鉛の材料探索として、BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3のエピタキシャル膜をパルスレーザー堆積法を用いて(100)SrRuO_3//(100)SrTiO_3基板上に作製した。
その結果、以下の結論を得た。
1)Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3は高圧合成相であるが、単相の膜の合成に成功した。
2)BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3系は、すべての組成範囲内について、単相の膜を作製可能であった。
3)Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3が20%以上では、残留分極値は、Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3含有量の増加に伴って単純に増加した。
4)強誘電体ヒステリシスの角型もBi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3が20%以上では、残留分極値は、Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3含有量の増加に伴って単純に増加した。
5)FeRAmの信頼性を損なう可能性のある圧電性は、従来のPb(Zr,Ti)O_3の約半分であった。
5)しかし抗電界の値も同様に増加してしまい、低電圧での駆動には不向きであった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

PbTiO_3とPb(Zr,Ti)O_3では、固溶体を作製した場合に物性挙動に大きな差があることが、明らかになり、PbTiO_3以外の新規材料系の探索が必要になった。しかし当初予定になかった非鉛圧電体の研究に取り組み、新規なBaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3系を見出した。

Strategy for Future Research Activity

今後本研究の成果を踏まえて、現行の鉛系材料を凌駕するFeRAM用新規非鉛圧電体材料の開発を行っていく予定である。

Report

(3 results)
  • 2011 Annual Research Report
  • 2010 Annual Research Report
  • 2009 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2011 2010 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (5 results) Book (1 results) Remarks (3 results)

  • [Journal Article] Intrinsic Characteristics of Bi(Zn_<1/2>Ti_<1/2>)O_3-substituted Pb(Zr_<0.4>Ti_<0.6>)O_3 Thin Films2011

    • Author(s)
      M.T.Chentir, Yoshitaka Ehara, Y.Sugiyama, Y.Tasaki, H.Ishiwara, H.Funakubo
    • Journal Title

      Materials Science and Engineering

      Volume: 18 Issue: 9 Pages: 092008-092008

    • DOI

      10.1088/1757-899x/18/9/092008

    • Related Report
      2011 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Relaxed PbTiO_3 Films Epitaxially Grown on CaF2 Substrates with a Wide Range of Thicknesses by Metal Organic Chemical Vapor Deposition2011

    • Author(s)
      Mohamed-Tahar Chentir, Satoru Utsugi, Takashi Fujisawa, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Mutsuo Ishikawa, Masaaki Matsushima, Hiroshi Funakubo, Hitoshi Morioka
    • Organizer
      12th European Meeting on Ferroelectricity (EMF 2011)
    • Place of Presentation
      Bordeaux University, Bordeaux, France
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Presentation] Dielectric Behavior of (111)-Oriented BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3 Epitaxial Thin Films Grown by PLD2011

    • Author(s)
      Mohamed-Tahar Chentir, Hidenori Tanaka, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Satoshi Wada, Keisuke Yamato, Hiroshi Funakubo
    • Organizer
      12th European Meeting on Ferroelectricity (EMF 2011)
    • Place of Presentation
      Bordeaux University, Bordeavix, France
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Presentation] Dielectric Properties of (111)-oriented Epitaxial BaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>, Ti_<1/2>)O_3 Films2011

    • Author(s)
      Mohamed-Tahar Chentir, Hidenori Tanaka, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Satoshi Wada, Keisuke Yamato, Hiroshi Funakubo
    • Organizer
      The 20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics and International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy & Nanoscale Phenomena in Polar Materials
    • Place of Presentation
      The Westin Bayshore Hotel, Vancouver, Canada
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Presentation] PLD法による(111)配向エピタキシャルBaTiO_3-Bi(Mg_<1/2>Ti_<1/2>)O_3薄膜の誘電挙動2011

    • Author(s)
      Mohamed-Tahar Chentir, Hidenori Tanaka, Yoshitaka Ehara, Tomoaki Yamada, Satoshi Wada, Keisuke Yamato, Hiroshi Funakubo
    • Organizer
      第72回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      山形大学白川キャンパス
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Presentation] Influence of BZT content on crystallographic and ferroelectric properties in PZT-BZT materials2010

    • Author(s)
      Mohamed-Tahar Chentir, Yoshihiro Sugiyama, Yuzo Tasaki, Hiroshi Ishiwara, Hiroshi Funakubo
    • Organizer
      3rd International Congress on Ceramics
    • Place of Presentation
      Osaka International Convention Center, Osaka, Japan
    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Book] Ferroelectrics, Characterization and Modeling2011

    • Author(s)
      Mohamed-Tahar Chentir, Hitoshi Morioka, Keisuke Saito, Yoshitaka Ehara, Shintaro Yokoyama, Takahiro Oikawa, Hiroshi Funakubo
    • Total Pages
      16
    • Publisher
      hange of Crystal Structure and Electrical Properties with Zr/(Zr+Ti) Ratio for Epitaxial Pb(Zr, Ti)O_3 films Grown on (100) cSrRuO_3//(100) SrTiO_3 Substrates by Metal Organic Chemical Vapor Deposition
    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm

    • Related Report
      2011 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm

    • Related Report
      2010 Annual Research Report
  • [Remarks]

    • URL

      http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm

    • Related Report
      2009 Annual Research Report

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Published: 2009-04-01   Modified: 2024-03-26  

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