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全反射X線表面波の解明と薄膜評価への応用

Research Project

Project/Area Number 10875006
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field 表面界面物性
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

堀内 俊寿  京都大学, 大学院・工学研究科, 助手 (10238785)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 林 好一  京都大学, 大学院・工学研究科, 助手 (20283632)
松重 和美  京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (80091362)
Project Period (FY) 1998 – 1999
Project Status Completed (Fiscal Year 1999)
Budget Amount *help
¥600,000 (Direct Cost: ¥600,000)
Fiscal Year 1999: ¥600,000 (Direct Cost: ¥600,000)
Keywords全反射X線 / X線屈折波 / X線表面伝搬波 / X線表面散乱 / X線異常分散 / 米田効果 / X線非対称散乱 / X線表面波 / 異常散乱反射 / 原子散乱因子
Research Abstract

白色X線を微少角で滑らかな物質表面に入射すると、臨界エネルギーを持つ表面近傍を伝搬(表面散乱波)の発見を基に、本研究期間(2年)で表面波の基礎研究と応用研究を実施し新しい知見、成果を得た。
1.白色X線をエネルギー分析(エネルギー分散法)し、表面波ピークから極表面の電子密度が求められることが明らかになった。
2.単色X線を用いる角度分散法でも臨界角で表面波が検出され、高精度で極表面の電子密度が求められることが明らかになった。
3.観測される表面波は屈折波と表面散乱波(米田ピーク)との間(遷移領域)に存在していることが確認され、非対称散乱と関係することが示唆された。
4.応用研究として銅蒸着膜の紫外線照射下、酸雰囲気下でのその場電子密度測定を行い、酸化雰囲気下でのシーリング効果を確認し、表面での化学反応、触媒反応過程の観測に有用であることが証明され、新しい極表面電子密度評価法としての発展が期待される。
5.化合物半導体(砒化ガリウム)ウエハの吸収端を横切るX線分散表面波を測定することにより、原子散乱因子の異常分散項の直接測定の可能性が示唆され、学問上、応用上興味ある知見が得られた。

Report

(2 results)
  • 1999 Annual Research Report
  • 1998 Annual Research Report
  • Research Products

    (8 results)

All Other

All Publications (8 results)

  • [Publications] K.Hayashi: "Refracted X-rays propagating near the surface under grazing incidence condition"SPETOCHIMICA ACTA. B54. 227-230 (1999)

    • Related Report
      1999 Annual Research Report
  • [Publications] T.Horiuchi: "Energy dispersve grazing incidence X-ray spectrometry"Rigaku Journal. 30(1). 11-17 (1999)

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      1999 Annual Research Report
  • [Publications] T.Horiuchi: "In-situ observation of oxidization process at the most upper surfaces by x-ray surface propargation waves"Proceeding in MRS(fall meeting). (in press). (2000)

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      1999 Annual Research Report
  • [Publications] 林 好一,: "エネルギー分散型X線反射率測定による鋼フタロシアニン超薄膜の初期成長過程の解明" X線分析の進歩. 29. 71-84 (1998)

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      1998 Annual Research Report
  • [Publications] 石田 謙司,: "Newly Developed Energy Dispersive X-ray Diffraction System新規エネルギー分散型X線回析法を用いたエピタキシャル有機薄膜の3次元逆格子空間構造解析" Journal of the Surface Science Society of Japan. 19. 39-44 (1998)

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      1998 Annual Research Report
  • [Publications] 堀内 俊寿,: "X線表面伝搬波による有機薄膜の評価 Evaluation of Organic Ultra-Thin Films by X-ray Surface Propagation Wave" 信学技報. 26. 13-16 (1998)

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  • [Publications] 石田 謙司,: "エネルギー分散型斜入射X線分光法によるエピ成長強誘電性有機薄膜の構造評価" 信学技報. 27. 17-24 (1998)

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  • [Publications] 石田 謙司,: "全反射X線回析法によるエピ膜構造・配向のその場計測" Molecular Electronics and Bioelectronics,. 9. 124-127 (1998)

    • Related Report
      1998 Annual Research Report

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Published: 1999-04-01   Modified: 2016-04-21  

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